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1. 摘要 S `m-5 =4M.QA@lI! 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 TA@tRGP> x,w`OMQ}c eA*Jfb +.gf]| 2. 建模任务 8W1K3[Jj< %+7T9>+
LE0J ;|1 Fyh?4!/. 3. 干涉条纹的变化 =~W0 ~lxX AK~`pq[.
SN[L4}{ {sna)v$; 4. 走进VirtualLab Fusion GEe 0@q#YA O'!r]0Q
_86*.3fQG LpiHoavv 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 IB#iJ#, x'=3&vc4
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hv L)R[)$2(g 6. VirtualLab Fusion 技术 +C'TW^ StdS$XW
4(Cd 7. 文件信息
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;Txv-lfS )O2Nlk~l& j*eUF-J1 QQ:2987619807 =$)4:
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