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1. 摘要 ! 9e>J :1iw_GhJf 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 [qz6_WOo z(ajR*\# $2.DZ nF-FoO98 2. 建模任务 D7@10;F}[ YANEdH`d
cA*%K[9 }MX`WW0\]Z 3. 干涉条纹的变化 ~^eAS; Pzqgg43Xf
X}ZOjX! gR+Z"] 4. 走进VirtualLab Fusion lbPxZ'YO# _I9TG.AA.
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RV8 WJ6 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 sw&Qks?V y|aWUX/a
%F7aFvl* fkYQ3d,` 6. VirtualLab Fusion 技术 %guot~S| @.0,ka,X
l20q(lb 7. 文件信息 4eKJ\Q=nX5 97g\nq<
5Ql6?UHD yF:fxdpw L/ZZe5I QQ:2987619807 DFiexOb
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