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1. 摘要 yMJY6$Ct zF%'~S0{ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ,wI$O8"!j 8 |@WuD >.tP7= POnI&y] 2. 建模任务 lbRm(W( N33{vx
y .+d3 #P)7b,3pe 3. 干涉条纹的变化 shjq4#9 ZPM,ZGlu:
zoj3w|G r_5k$u( 4. 走进VirtualLab Fusion -w0U}Te^ qrWeV8ur+
TAkM-iyH] QGWfF,q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 S$=e %c x[ sSM:
DgJG: D{ eH*u,/ 6. VirtualLab Fusion 技术 .g|D oX2J2O
}G:5P3f 7. 文件信息 qkM<t?uS -y@5% _-
yf2I%\p} JOR ?xCc <])w@QOA# QQ:2987619807 AADvk_R
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