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1. 摘要 E,JDO d} 4NUCLr7Y 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 7qt<CLJ Z7"8dlb 2w)0>Y(_ "\Jq2vM 2. 建模任务 64z9Yr@ wxB?}
Qf0$Z.- SE)_5|k* 3. 干涉条纹的变化 T5)Xl 'Q {H#1wu^]O$
2/sD#vC ?`_US7.@ 4. 走进VirtualLab Fusion ~;_]U[eOL - y{*U1[
<.CO{L\e cEnkt= 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 YN_#x 6_=qpP-?
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'n! n9]^v-]K 6. VirtualLab Fusion 技术
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!I-+wc{ss 7. 文件信息 =xQ7:TB KGxF3xS*7
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