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1. 摘要 jCWu\Oe Z oTNm 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 s}b*5@8|tA pB'x_z ._BB+G Hz4uZ*7\| 2. 建模任务 f
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anZIB dt.-C_MO 3. 干涉条纹的变化 S1>Z6 <<BQYU)Ig
)%|r>{ Gt.*_E 4. 走进VirtualLab Fusion CI1m5g [P V9$-twhu
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B 5fxbA2\ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 .%hQJ{vf-^ &
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%~(~W>^A "11j$E9#\n 6. VirtualLab Fusion 技术 0XQ-
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tYI]=: 7. 文件信息 { ;' :h 1(F'~i|5
0eaUorm) Oylp:_<aT pgfu+K7?w QQ:2987619807 *%f3rvt7@)
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