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1. 摘要 _B7?C:8Q- xKLcd+hCZ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 _E<O+leWf ="w8U' +JAfHQm- aco}pXz 2. 建模任务 lyH X#] }Oh'YX#[
u3i|}` ,-IF++q 3. 干涉条纹的变化 ><
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@uM3iO7& 7- 3N 4. 走进VirtualLab Fusion ny_ kr`$42 OG?j6qhpl
a2=uM}Hsp vb. Y8[ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 L!b0y7yR {{[jC"4AY
MV;Y?%> -G<2R"Q#N 6. VirtualLab Fusion 技术 sHPwW5j/o' cM<hG:4%wX
MHr0CYyb. 7. 文件信息
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6=g]Y!o$ T.w}6?2 E
^SM` QQ:2987619807 fF9oYOh|
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