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1. 摘要 9 eP @} C6 ^ H'|iju 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 b747 eR 7E &.d~
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@521zi 2. 建模任务 U!('`TYe KNV$9&Z
IuPwFf) k1X <jC]P 3. 干涉条纹的变化 3o6N&bQ b ~(}zp<e|
T\OLysc x;ujR< 4. 走进VirtualLab Fusion *F=wMWa zF{5!b
$L?stgU @L`t/OD 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 $AoN,B> k*M1m'1
C0'Tua' S53[K/dZo 6. VirtualLab Fusion 技术 Y]P]^3 ^}9Aq $R
N1_nBQF ) 7. 文件信息 1h|JKu0 9hcZbM]
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