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1. 摘要 9Sx<tj_4P{ AhbT/ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 <FcPxZ 66^1&D" "W_jdE6v .WL\:{G8; 2. 建模任务 =E{{/%u{{S BDRYip[Sa
|g?/~%7 VQNYQqu`[ 3. 干涉条纹的变化 +2;#9aa
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@@ 4. 走进VirtualLab Fusion :]u}xDv3 K+h9bI/Sf
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B| 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Kbz7 z~}StCH(
c5=v`hv Cdt,//xrz 6. VirtualLab Fusion 技术 T4H oSei VJ6>3
9aF.. 7. 文件信息 uhw5O9 +]S;U&vQ
-hG 9 (AM,4)lW, m m J)m QQ:2987619807 SVg@xu+
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