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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 <FI*A+I4\  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 YHMJ5IM@.  
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    走进VirtualLab Fusion 0WYu5|  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 P ?n k>  
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    •设置输入场 R0LWuE%eD  
    基本光源模型[教程视频] _*b`;{3  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ]cVDXLj$  
    •定义元件的位置和方向 E'5KJn;_7  
    LPD II:位置和方向[教程视频] `"<hO 'WU  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 md!!$+a%|  
    非序列追迹的通道设置[用例] e4tC[6;  
    •使用参数运行检查影响/变化 sLXM$SMBh  
    参数运行文档的使用[用例] )=MK&72r  
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    VirtualLab Fusion技术 GIn%yB'  
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