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摘要 U
GA_^?4 {1 VHz])I 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 @vsgmz *QKxrg
?]*WVjskE u/wWP4'$J@ 建模任务 9((BOq tcDWx:Q }BF!!* 仿真干涉条纹 ew13qpt)<L 1M1|Wp l ga%U~ 走进VirtualLab Fusion vbt0 G-%Z r 6.`9 JD`IPQb~E qPI\Y3ZU VirtualLab Fusion中的工作流程 d#-scv}s5 {Ad4H[]|] •设置输入场 sj9j47y −基本光源模型[教程视频] l*r8.qp •使用导入的数据自定义表面轮廓 s ;3k#-w •定义元件的位置和方向 lN(|EI − LPD II:位置和方向[教程视频] 7aF'E1e'3 •正确设置通道以进行非序列追迹 Tu!2lHK; −非序列追迹的通道设置[用例] jHPkfwfAF •使用参数运行检查影响/变化 BlLK6"gJT −参数运行文档的使用[用例] ,9A1p06 'CQ~ZV5 B$ =oU m|')
A VirtualLab Fusion技术 WGmXq. @AB}r1E2 文件信息 #EG
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