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摘要 *TI?tD "dDrw ]P; 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 0WSZhzNyY /Yg&:@L
5U+4vV/* yf8kBT:&S 建模任务 SA=>9L,2 [2Nux0g 7:b.c 仿真干涉条纹 Xxd]j] 0%}*Zo(e+ %OO}0OW 走进VirtualLab Fusion _!,
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l&9AY R)\^*tkz7 :E~rve' VirtualLab Fusion中的工作流程 x{<l8vL=-c .PR+_a-X •设置输入场 j4#uj[A −基本光源模型[教程视频] 'U`;4AN •使用导入的数据自定义表面轮廓 6j6;lNUc •定义元件的位置和方向 yzzJKucVU: − LPD II:位置和方向[教程视频] Pgy[\t 2K •正确设置通道以进行非序列追迹 iQ2j ejd3( −非序列追迹的通道设置[用例] $YcB=l •使用参数运行检查影响/变化 '/@wk#, −参数运行文档的使用[用例] fHH ?7LvJ8 Q3&q%n|<
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