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摘要 Kf2Ob1 tz\7,yGT 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 t33/QW
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%B5.zs]Of i,=greA]" 建模任务 4:RL[; M/C7<?& xq+$Q:f 仿真干涉条纹 hG .>> 0|E!e Z(Fsk4, 走进VirtualLab Fusion /_}xTP"9 0l#gS; e0Cr> I5/e *jM~VTXwt VirtualLab Fusion中的工作流程 KoVy,@ mJe;BU"y] •设置输入场 Mk9' −基本光源模型[教程视频] Y+75}]B •使用导入的数据自定义表面轮廓 dmI,+hHtL •定义元件的位置和方向 ,6:ya8vB − LPD II:位置和方向[教程视频] N+%E=D> •正确设置通道以进行非序列追迹 ~?4'{Hc' −非序列追迹的通道设置[用例] (1p[K-J)r •使用参数运行检查影响/变化 &0Yv*,4] −参数运行文档的使用[用例] VZBT'N 58)`1p\c' ~Fp,nE-B Tn2nd VirtualLab Fusion技术 6!7LgM%4 1Y!"C 文件信息 ( P|Ph .^j 6 QQ:2987619807 u&Ts'j
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