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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 %,Ap7X3:QT  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 hi0R.V&  
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    仿真干涉条纹 7oq[38zB  
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    走进VirtualLab Fusion IdXZoY  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 wlEdt1G  
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    •设置输入场 I('Un@hS  
    −基本光源模型[教程视频] *Mw_0Y  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 "R3d+p  
    •定义元件的位置和方向 CE"JS-S?  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] Ma+$g1$  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 4E+hRKuo,  
    −非序列追迹的通道设置[用例] 40|,*wi  
    •使用参数运行检查影响/变化 +3&z N(  
    −参数运行文档的使用[用例] Q4*fc^?u  
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    VirtualLab Fusion技术 A0Zt8>w  
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    文件信息  OX"j#  
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    QQ：2987619807 :OW ;?{ ~j  
     
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