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摘要 ~vG~Z*F `N2zeFG 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 v@< "b U AY|8wf,LS
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R^Xn 建模任务 9KD2C>d< c_&iGQ L
+-B,466 仿真干涉条纹 3u-j`7 T4._S:~ 9%iqequ 走进VirtualLab Fusion a\^DthZ!;| tNfku Pp#!yMxBr _ ?=bW VirtualLab Fusion中的工作流程 1+Ja4`o,iS Y~bp:FkS
•设置输入场 ^yjc"r%B −基本光源模型[教程视频] Ewu 7tq Z •使用导入的数据自定义表面轮廓 Ow mI*` •定义元件的位置和方向 sd.:PE < − LPD II:位置和方向[教程视频] aCy2.Qn •正确设置通道以进行非序列追迹 A10/"Ec<u −非序列追迹的通道设置[用例] "5ah{,
•使用参数运行检查影响/变化 KZ;U6TBiB −参数运行文档的使用[用例] a)[t kjU 1rT}mm/e; X~%Wg*Hm r'k-*I VirtualLab Fusion技术 1% EIP-z 's!EAqCN 文件信息 pOGVD NCl$vc;, QQ:2987619807 !f]F'h8
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