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摘要 @K"$M>n$Z OLG)D#m(4/ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 qz`-?,pF L1kn="5
{QEvc L` [iI 建模任务 rCo}^M4Pb 9O- otAGM 3Dr\ O_`u 仿真干涉条纹 `Am|9LOT Yup#aeXY/ Bl>m`/\1i 走进VirtualLab Fusion T>'w]wi N1Y
uLG: CV[ 9i +P))*0(c_ VirtualLab Fusion中的工作流程 i6bUJtL %|4Kak]:Q •设置输入场 oyiG04H& −基本光源模型[教程视频] tO&n$$ •使用导入的数据自定义表面轮廓 >JNdtP8s/1 •定义元件的位置和方向 $\m:}\%p − LPD II:位置和方向[教程视频] blomB2vQ •正确设置通道以进行非序列追迹 SEnr"} −非序列追迹的通道设置[用例] HMD\)vMK6 •使用参数运行检查影响/变化 z}SJ~WY'[ −参数运行文档的使用[用例] wKJ|;o4;L zn/>t-Bc r5Q#GY> (<.\v@7HC VirtualLab Fusion技术 g\B ?
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