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摘要 R;j!}D!4 LbkF
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 }b-g*dn]5 JhLgCnm
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!xT 建模任务 2* 2wY = FAj)OTI2S pim!.=vN/U 仿真干涉条纹 7:2WgLo \Rp-;.I@6 x= 5N3[5 走进VirtualLab Fusion NB8/g0:=n& lGOgN!?i k@'#@
t @WVcY:1t# VirtualLab Fusion中的工作流程 m_)FC-/pSl {$wjO7Glp •设置输入场 o:_Xv.HRZo −基本光源模型[教程视频] @9lUSk^9 •使用导入的数据自定义表面轮廓 N9v1[~ bv_ •定义元件的位置和方向 BDjn
!3 − LPD II:位置和方向[教程视频] z&fwE$Nm •正确设置通道以进行非序列追迹 =,UWX3`f −非序列追迹的通道设置[用例] 9;B0Mq
py •使用参数运行检查影响/变化 [_Qa9e −参数运行文档的使用[用例] vuoQz\ J{k79v ;oy-#p>N% *^:N.&] VirtualLab Fusion技术 Mw;sLsu BBtzs^C| 文件信息 '7iSp= yc?a=6q'm QQ:2987619807 lp(8E6
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