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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 4KkjBPV  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 P9\!JH!  
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    建模任务 GomTec9.  
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    仿真干涉条纹 wQ4IQ!  
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    走进VirtualLab Fusion }[[  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 }|k_sx:  
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    •设置输入场 ~4YLPMGKl  
    基本光源模型[教程视频] UogkQ& B  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 b;N[_2  
    •定义元件的位置和方向 6a+w/IO3OU  
    LPD II:位置和方向[教程视频] U%Kv}s/(F{  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 PJ=N.x f}  
    非序列追迹的通道设置[用例] PP{CK4  
    •使用参数运行检查影响/变化 /-#1ys#F=  
    参数运行文档的使用[用例] +B 4&$z  
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    GwOn&EpY!  
    VirtualLab Fusion技术 fQ\nK H~  
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    文件信息 "Ih>>|r  
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    QQ:2987619807 fZ9EE3  
     
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