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摘要 \PD%=~ g\9&L/xDN 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 lD'^6 vTo+jQs^
h@]{j_$u l*(L"] 建模任务 WL|71?@C <>( v~a] 2kOaKH[(q 仿真干涉条纹 KYy oN I]HLWF o6RT 4` 走进VirtualLab Fusion *%\Xw*\0 %__ @G_M nTw:BU4jd M?Fv'YE VirtualLab Fusion中的工作流程 @=}NMoNH A6+qS
[ •设置输入场 }O+S}Hbwy −基本光源模型[教程视频] eY%Ep=J •使用导入的数据自定义表面轮廓 Lctp=X4 •定义元件的位置和方向 -7XaS&.4 − LPD II:位置和方向[教程视频] Unansk •正确设置通道以进行非序列追迹 C^LxJG{L5 −非序列追迹的通道设置[用例] aO}p"-' •使用参数运行检查影响/变化 e\O625 −参数运行文档的使用[用例] 9':Hh' `9k\~D=D~ B
qINU @+_pj.D VirtualLab Fusion技术 FI[]# ?v-!`J>EF# 文件信息 <Fv7JPN% Z"KrirZ QQ:2987619807 foBF]7Bz?
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