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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 Ns(L1'9=  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 BC0c c[x  
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    仿真干涉条纹 +K?N:w  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 Sph"w08  
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    •设置输入场 gW pT:tX-  
    −基本光源模型[教程视频] dK(%u9v  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 `6/Yf@b  
    •定义元件的位置和方向 +(P 43XO08  
    − LPD II:位置和方向[教程视频] (>5VS  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 0<]!G|;|  
    −非序列追迹的通道设置[用例] G mUs U{  
    •使用参数运行检查影响/变化 f;XsShxr  
    −参数运行文档的使用[用例] ?OYwM?Uf  
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    VirtualLab Fusion技术 {S: 3 FI  
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