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摘要 4KkjBPV &%ZiI@O- 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 P9\!JH! 45u\v2,C3 BJdH2qREN P a{)@xT 建模任务 GomTec9. 0x-58i0 *f? z$46 仿真干涉条纹 wQ4IQ! &7{/ x~S{ KVvzVQ1 走进VirtualLab Fusion }[[ PMdvBOtS` T JB)]d< #9{9T"ed VirtualLab Fusion中的工作流程 }|k_sx: vBMuV pzO •设置输入场 ~4YLPMGKl −基本光源模型[教程视频] UogkQ& B •使用导入的数据自定义表面轮廓 b;N[_2 •定义元件的位置和方向 6a+w/IO3OU − LPD II:位置和方向[教程视频] U%Kv}s/(F{ •正确设置通道以进行非序列追迹 PJ=N.xf} −非序列追迹的通道设置[用例] PP{CK4 •使用参数运行检查影响/变化 /-#1ys#F= −参数运行文档的使用[用例] +B
4&$z uN:|4/;{& U5 `h GwOn&EpY! VirtualLab Fusion技术 fQ\nK H~ n~1'M/wh 文件信息 "Ih>>|r YWV"I|Z QQ:2987619807 fZ9EE3
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