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摘要 u<HJFGLzI ^!SwY_> 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 lsVg'k/Z! }$:ha>
5(y Q-/6C+ l+?sR<e?! 建模任务 Qa1G0qMEIF x!UGLL]_M d^`n/"Ice 仿真干涉条纹 xic&m5j
m ;AT~?o`n ET|4a(x 走进VirtualLab Fusion 5
Praj )lVplAhZD !3o]mBH8 2X=*;r"{J VirtualLab Fusion中的工作流程 m_UzmWF 5I5#LQv0 •设置输入场 -yY]0 −基本光源模型[教程视频] ))uki*UNK •使用导入的数据自定义表面轮廓 1i
6>~ •定义元件的位置和方向 Mey=%Fv
− LPD II:位置和方向[教程视频] <:~'s]`zf •正确设置通道以进行非序列追迹 _\AT_Zmy −非序列追迹的通道设置[用例] {-s7_\|p( •使用参数运行检查影响/变化 Il!#] −参数运行文档的使用[用例] >orDw3xC ~Yl%{1 &P>a _({K6adb
VirtualLab Fusion技术 Fh ^Ax3P( T?8N$J 文件信息 Yn-;+ 4 K d~O)mJ
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