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摘要 ?2<V./2F ?hOvY) 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 lbj_if; 4CK$W`V
av>Ff6w)Y Dq<!wtFG[ 建模任务 | E\ u 2Xqa?ay0> \Z^Tk 仿真干涉条纹 .|/VD'xV" Q[&CtM
yaK4% k 走进VirtualLab Fusion {S"! c. t $u. %TDY &@i= I^?hVH VirtualLab Fusion中的工作流程 )E}eK-Yu ,h},jkY4 •设置输入场 roNs~]6 −基本光源模型[教程视频] @ 5V3I^ •使用导入的数据自定义表面轮廓 XSktbk •定义元件的位置和方向 |D~#9 − LPD II:位置和方向[教程视频] p sAr>:\3 •正确设置通道以进行非序列追迹 '&F
PkT:5 −非序列追迹的通道设置[用例] Eikt, •使用参数运行检查影响/变化 <xwaFZ −参数运行文档的使用[用例] -f=4\3y3p $c];&)7q nzl3<Ar 4=ZN4=(_[ VirtualLab Fusion技术 ,Ad{k x-HR [{C 文件信息 uE&2M>2 _MzdbUb5, QQ:2987619807 Vee;&
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