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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 6KhHS@Z  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 =KNg "|  
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    建模任务 `a:@[0r0U  
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    仿真干涉条纹 $$ {ebt  
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    走进VirtualLab Fusion -O~WHi5}  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 jb)z[!FbM  
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    •设置输入场 3-32q)8  
    −基本光源模型[教程视频] rf;R"Uc  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 |kV,B_qz  
    •定义元件的位置和方向 e@k ti@ZJ  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] %Iv+Y$'3B  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 n5S$Dl  
    −非序列追迹的通道设置[用例] !i_5Xc H  
    •使用参数运行检查影响/变化 Ew4DumI  
    −参数运行文档的使用[用例] ,Q(n(m'  
     D8`,PXtV  
    Podm 3b  
    XPUH\I=  
    VirtualLab Fusion技术 0plRsZ}  
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    文件信息 a<!g*UVL0M  
    `ZV;Le '  
    QQ：2987619807 ),bdj+wr78  
     
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