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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 $xsd~L &  
    ZJoM?g~WFI  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 z{q`GwW  
    zLQx%Yg!  
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    建模任务 k$VlfQ'+  
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    仿真干涉条纹 y_)FA"IkE  
    kJU2C=m@e2  
    P}iE+Z 3  
    走进VirtualLab Fusion !WlH'y-I  
     *CMx-_  
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    i b m4fa  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 rv;3~'V  
    S:}7q2:  
    •设置输入场 4H/OBR  
    −基本光源模型[教程视频] _1^'(5f$  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ~DWl s.  
    •定义元件的位置和方向 *8q.YuZ  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] !D6]JPX  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 "@kaHIf[  
    −非序列追迹的通道设置[用例] KvS G;  
    •使用参数运行检查影响/变化 HW|IILFB  
    −参数运行文档的使用[用例] 'w/hw'F6  
     x-c"%Z|  
    M|-)GvR$J  
     _F{C\}  
    VirtualLab Fusion技术 #ob/p#k  
    [QTV9  
    文件信息 I fir ,8  
    s2?&!  
    QQ：2987619807 @HW*09TG  
     
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