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摘要 7NqV* #(4hX6?5AI 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 u)MA#p { @V u[Tg}J
lv&w p@ #Og_q$})f 建模任务 sB!A: NtL?cWct (o=iX,@'2 仿真干涉条纹 o#b9M4O ']Y:gmM" Ob+c*@KiW 走进VirtualLab Fusion qeGOSGc_ 9V!K._Cb
fE}}> zg"ZXZ VirtualLab Fusion中的工作流程 G;+0V0K [%q":Ig •设置输入场 a$A
S?`L −基本光源模型[教程视频] jqmP^ZS •使用导入的数据自定义表面轮廓 @)wXP@7 •定义元件的位置和方向 D=]P9XDvb. − LPD II:位置和方向[教程视频] LYv2ll`XP •正确设置通道以进行非序列追迹 b5C #xxIO −非序列追迹的通道设置[用例] A":x<9 •使用参数运行检查影响/变化 )63w& −参数运行文档的使用[用例] lPP7w`[PA (Zkt2[E` 4Qs#ws]) }=5(*Vg VirtualLab Fusion技术 WOoVVjMM <#i'3TUR 文件信息 I.x>mN-0 p};<l@ QQ:2987619807 ='azVw%_
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