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摘要 IxY!.d_s|~ ZS@R ? 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 c:s[vghH^# 2d<`dQY{l3
O<XNI(@ F$9+WS`c 建模任务 RhE|0N= 0 4oMgH>Vd eO{2rV45O 仿真干涉条纹 En0hjXa 6U]r 3
Rr Ju.T.)H 走进VirtualLab Fusion 59?$9}ob *O-m:M!eA j3>&Su>H4 V~t;
J VirtualLab Fusion中的工作流程 4=|oOIhgb /8P7L'Rb •设置输入场 vQ{mEaH −基本光源模型[教程视频] cOP%R_ak? •使用导入的数据自定义表面轮廓 1\5po^Oioy •定义元件的位置和方向 \r&(l1R − LPD II:位置和方向[教程视频] t<+gyAW •正确设置通道以进行非序列追迹 zZ8:>2Ps( −非序列追迹的通道设置[用例] >~T2MlRux •使用参数运行检查影响/变化 a%wa3N=v −参数运行文档的使用[用例] T lB+
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VirtualLab Fusion技术 IZxr;\dq6
=AeOkie 文件信息 RNX>I,2sh h9 +76 QQ:2987619807 Qs_]U
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