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摘要 P1 +"v* kL{;.WsB 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 $,1dQeE #Olg(:\
,-*iCs< _ P ,@ 建模任务 vM0_>1nN _&{%Wc5W~F o sdOw8 仿真干涉条纹 f|0lj !oSLl.fQd H9"= p 走进VirtualLab Fusion I/u9RmbU OS7RQw1 eO5ktEoJ vd~U@-C=R VirtualLab Fusion中的工作流程 3_ 2hC!u!K P15:,9D •设置输入场 W04av_u 5 −基本光源模型[教程视频] B#N7qoi •使用导入的数据自定义表面轮廓 (}H ,ng'4 •定义元件的位置和方向 744=3v − LPD II:位置和方向[教程视频] P[gO85 •正确设置通道以进行非序列追迹 k'13f,o} −非序列追迹的通道设置[用例] bAhZ7;T~ •使用参数运行检查影响/变化 ;x[pM_ −参数运行文档的使用[用例] [STje8+V ]S/G\z _x\m|SF_g q(9%^cV6 VirtualLab Fusion技术 '"O&J}s; ??xlA-E 文件信息 =:K@zlO: ZxSsR{ QQ:2987619807 Zw=G@4xoU
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