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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 ~*kK4]lP  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 9F)W19i.  
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    仿真干涉条纹 'rh\CA/}D  
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    走进VirtualLab Fusion U-ULQ|6U  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 {~"Em'}J  
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    •设置输入场 6<+8}`@B>G  
    −基本光源模型[教程视频] ?qIGQ/af&  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ',%5mF3j  
    •定义元件的位置和方向 >["Kd.ye  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] Jb 6&  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 E~qK&7+  
    −非序列追迹的通道设置[用例] ]svw CPu C  
    •使用参数运行检查影响/变化 gi '^qi2  
    −参数运行文档的使用[用例] #W.bZ]&WA  
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    |B,dEx/uU  
    VirtualLab Fusion技术 JfR kp  
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    文件信息 k:W=5{[  
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    QQ：2987619807 9.jG\i  
     
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