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摘要 }Yc5U,A; wuM'M<J@ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 +r&:c[ }0iHf'~DH*
i1'G_bo4F7 oxdX2"WwU 建模任务 GRaU]Z]ck ?Iq{6O>D. uBxoMxWm 仿真干涉条纹 V^rL {R_ <m$ lD-2 5~YV 走进VirtualLab Fusion .Lu3LVS N
Hn#c3o `6;$Z)=. Kr;=4xg= VirtualLab Fusion中的工作流程 9hh~u
-8L w'E?L`c •设置输入场 ,eWLig
−基本光源模型[教程视频] X*:,| •使用导入的数据自定义表面轮廓 i0J`{PbI •定义元件的位置和方向 B^/k`h6J − LPD II:位置和方向[教程视频] *aFY+.;U` •正确设置通道以进行非序列追迹 U3`?Z`i( −非序列追迹的通道设置[用例] `uZMln @ •使用参数运行检查影响/变化 <]X6%LX −参数运行文档的使用[用例] L
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UyD[| adAdX;@e` 文件信息 7[UD;&\k &`m$Zzl;
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