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摘要 >FtW~J"X &{ B-a 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 T';<;6J** BoZG^
8+^?<FKa y w"Tw 建模任务 k;V4%O _Q<wb8+/ f'/@h Na3 仿真干涉条纹 bS
'a ) N*t91 X yQwj[ 走进VirtualLab Fusion (]'Q!MjGa 4}{S8fGk% dZ!Wj7K) z-G|EAON"/ VirtualLab Fusion中的工作流程 T!6H5>zA 8kZ~ •设置输入场 &fBLPF% 6 −基本光源模型[教程视频] 2A3;#v •使用导入的数据自定义表面轮廓 O[RmQ8ll •定义元件的位置和方向 a!"81*&4# − LPD II:位置和方向[教程视频] l ' ]d& •正确设置通道以进行非序列追迹 7^k`:Z −非序列追迹的通道设置[用例] Oq{&hH/'} •使用参数运行检查影响/变化 A.9,p −参数运行文档的使用[用例] OwIW;8Z 2,Y8ML< x&3!z[m@@ db"FC3/H VirtualLab Fusion技术
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