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摘要 }E
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N=2BrKb)o w$5~'Cbi 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 z-9@K<`H F4P=Wz] 建模任务 4}i2j 8(AI|"A"-
g(X-]/C{ r'TxYM-R 由于组件倾斜引起的干涉条纹 3HtLD5%Q T/[8w
)7X+T'?% Kmk}Yz 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 C-wwQbdG/ -|1H-[Y(
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