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摘要 TR([u W2([vRT
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=BXV7\ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 c?1:='MC B,dHhwO*l 建模任务 ]p.eF YDh7 xK8R![x
_-.~>C wcI4Y0+J 由于组件倾斜引起的干涉条纹 \p&a c&] bk#t+tuk
/\B[lRn mp x/~`c 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ]CIZF, <(%cb.^c=N
W%k0_Y/5 [@_zsz,`L 文件信息 &3;yho8v@ ?-e'gC
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