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摘要 ,iQRf@#W_b e{<r<]/j
!&k}YF ^lp#j;Df 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 YgN:$+g5 {M.OOEcIp 建模任务 \UF/_'=K _+vE(:T
jM'kY|<g; `<z"BGQ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 mT7B#^H Hlr[x
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e ])sIQ{P 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 g{_wMf 'fqX^v5n
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