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摘要 i/+^C($'f Y3DqsZ@
:rQDA=Ps C/Tk`C& 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 iL);bv W [mu8V+8@d4 建模任务 JCnHEH Y4 z
@I?,!3`jS zPp22 由于组件倾斜引起的干涉条纹 s_/@`kd{ xOKJOl
iv_3R}IbX 9)v]jk 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 lf>d{zd5 !~9ASpqvPy
5@%Gq)z5 d9:I.SA)E 文件信息 $I*}AUp
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