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摘要 {UX"Epd);n A=v lC?&Z
hkmTpH1<M f H#F"^A 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 r/N[7*i :Bx+WW&P.i 建模任务 5(iSOsb bK_0NrXP
zx\.2<K dT0^-XSY 由于组件倾斜引起的干涉条纹 o ;[C(OS vCy.CN$
\yJZvhUk wE,=%?" 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 .KT 7le<Zm T =eT^?v
S 0R8'Y mC*W2#1pF 文件信息 q5:0&:m$4$ M(;y~|e
ql{^"8x ILkjz^ 4B:\ QQ:2987619807 -,K*~z.l
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