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摘要 S9$* w!W !NNq( t
wX_s./#JJ w+P?JR!)+ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 w!0`JPu /5ngPHy& 建模任务 HbRDa !z
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[>IAS> H]LH~l 文件信息 ~bp^Q|
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