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摘要 z;x$tO 6$lj$8\
,GA2K .:# S1.w^Ccy 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ]2+7?QL, jqhd<w 建模任务 ]4ya$%A d:|X|0#\uH
CD;C z*c i"p)%q~ z 由于组件倾斜引起的干涉条纹 qe8dpI; 06|+_
uhz:G~x! %(79;#2` 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Ph'*s{ %qfql
sk.<|-(o !ZPaU11 文件信息 Fc%@ Z_.Eale^
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