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摘要 v {HF}L v0 :n:q
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@<$ChZw `Ze$Bd\ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ig.Z,R3@r cK]n"6N[ 建模任务 vkGF_aenk 7MrHu2rZ=
Fn`Zw:vp6 ,S`n?.&& 7 由于组件倾斜引起的干涉条纹 BI)C\D3[ 4lX_2QT]E
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