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摘要 :OCuxSc%5 X:lPWz!7{
rf->mk{ -kbm$~P 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 (0W}e(D8
pm]DxJ@ 建模任务 JtpY][}"~3 7Zt\G-QV
Z=@) 5L}>+js2 由于组件倾斜引起的干涉条纹 |xZcT4 SDHc[66'
R: <@+z^A[ xn@0pL3B~ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 z,FTsR$x 6 1W/BU7O
VONAw3k7! T:dm0i au 文件信息 cmhN(== j yRSEk$
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