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摘要 '*^9'= 5 9i2*<k 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9FPqd8(]*V
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 #qv!1$}2 Uyxn+j 5 建模任务 >< VUly ')/w +|F  2*a9mi 光栅特性与参数的严格分析 We vd6)\ .&I!2F 不同光栅周期下的衍射效率 #^(Yw|/K >pe!T
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'p@m`)Z 关于光栅周期选择的考虑
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 a>9_#_hI {u9n?Z% VirtualLab Fusion中的工作流程 G) c+GoK
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 5wha _Yet ,-8Xb+!8I •构造光栅结构 Y6 . Bi
−通过使用界面来配置光栅结构 t0kZFU
[用例] !VsdKG)
•分析光栅衍射效率 TTbJ9O<43
−光栅级次分析器[用例] U2tgBF?)A
•使用参数运行搜索初始解决方案 7/_|/4&
−参数运行文档的使用[用例] >j*0fb!:]
•通过参数优化找到最终设计 }_}
L/,g D.h^ VirtualLab Fusion技术 A f!`7l- #<U@SMv
 TU6YS< #$L/pRC 文件信息 z@?y(E 'HCR i Z< qm'@o -[  m7Ry FnR2 cKOXsdH?SL
6}0_o[23 QQ：2987619807 vb]uO ' l
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