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摘要 ^'m\D; ?n)Xw)] 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7=} 6H3|&
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建模任务 {}V$` L8 4w 'lu"U  F "!agc2! 光栅特性与参数的严格分析 YPu9Q ful#Px6m 不同光栅周期下的衍射效率 G 0hYFc u t5xb"F
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}i(qt&U; 关于光栅周期选择的考虑 *R BV'b
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 R~)ybf{ N#4N?BBP" 通过参数优化进行光栅设计 GD!-
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 0}]SUe^ RF?DtNuq •构造光栅结构 o_f-GO
−通过使用界面来配置光栅结构 5dl,co{q
[用例] ?,)"~c$hZ
•分析光栅衍射效率 9pL g+6O
−光栅级次分析器[用例] 71"+<C .
•使用参数运行搜索初始解决方案 w2dcH4&
−参数运行文档的使用[用例] A_R!uRD8-
•通过参数优化找到最终设计 (RE2I iidT~l VirtualLab Fusion技术 ;h Hi@Z 9 'c %S!$P
 XN;&qR^j wvN `R 文件信息 I[d]!YI}F Q M'X@ X(Qu{HhI  eKG2*CV pK}=*y~$
@MbVWiv QQ：2987619807 MsOs{2
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