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摘要 ; F;"Uw )O~V3 a 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3bGJ?hpp
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 .-Xp]>f, 6_s_2cr 建模任务 HZH zjrx APC,p,"  covr0 N) 光栅特性与参数的严格分析 Z?#_3h$"T lhk[U!># 不同光栅周期下的衍射效率 [=
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.=nx5y z 关于光栅周期选择的考虑 SREe,
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 %L\buwjy$ BJdH2qREN 偏振相关的衍射特性 c)HHc0KD ;0R>D g
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 ; m;a"j5 qJQ!e 通过参数优化进行光栅设计 .!kO2/:6 x1$:u6YD22 固定周期的2D参数优化 \1AtB c& /lC&'h T
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 ~ {#$`o= 9(9+h]h+3 •构造光栅结构
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−通过使用界面来配置光栅结构 qfO=_z ES
[用例] l1_Tr2A}7/
•分析光栅衍射效率 MWsjkI`
−光栅级次分析器[用例] vZgV/? 'z
•使用参数运行搜索初始解决方案 i/&?e+ i
−参数运行文档的使用[用例] 5}4f[
•通过参数优化找到最终设计 LP{{PT.&X 6,Z fC<) VirtualLab Fusion技术 NZJ:@J=- j.3#rxq
 %uuh+@/&yz gaK m`# 文件信息 Y F+hN\ <Rs# y: KjrUTG 0oA  V~Zi #o 'IorjR@ 40
O8 ; `6r QQ：2987619807 F:PaVr3q
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