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摘要 558V_y: {]!mrAjD 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8 >EWKI9
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 f*% D$Mqg lv<*7BCp 建模任务 %XDc,AR[ /t57!&  D/ xbF` 光栅特性与参数的严格分析 b5I I/Y VA> 3 5w 不同光栅周期下的衍射效率
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 m@2QnA[ 4 '(f* 2eE: •构造光栅结构 ,+DG2u
−通过使用界面来配置光栅结构 O7m(o:t x3
[用例] U0y% u
•分析光栅衍射效率 QL&Z jSN
−光栅级次分析器[用例] -` kW&I0
•使用参数运行搜索初始解决方案 X ::JV7hu
−参数运行文档的使用[用例] wr/"yQA]
•通过参数优化找到最终设计 HZC"nb}r4 ]Kt6^|S$a VirtualLab Fusion技术 P6-s0]-g ghG**3xr
 rNWw?_H-H( zm5 ]J 文件信息 |O\s|H '4+
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