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摘要 ^ " Wjf,AjL\ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 LN!e_b
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 eG &3E`[ SAQ|1I#"/ 建模任务 3$TU2-x;g 3_5]0:?]-  KO!.VxG]_ 光栅特性与参数的严格分析 Of@ LEEh6 39!$x [ 不同光栅周期下的衍射效率 Ekl cnM|6 8gI f
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 #!> QXiyR 87p tab@ •构造光栅结构 9:4m@dguh-
−通过使用界面来配置光栅结构 a i$s
[用例] ? \p,s-CR:
•分析光栅衍射效率 9 .3?$(
−光栅级次分析器[用例] hx$b Y
•使用参数运行搜索初始解决方案 /$=<RUE
−参数运行文档的使用[用例] m+ =L}[
•通过参数优化找到最终设计 ^$x1~ }D |Ca
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 K4vOy_wT r=cm(AHF 文件信息 l<8+>W `_ Z k<Y+! d]I3zS IC  _(J4 \}EJtux q
SpA-E/el QQ：2987619807 J_}Rsp ED
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