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摘要 > <WR]`G K-VNU 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Jq1 Zb m09
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E'\ 光栅特性与参数的严格分析 Bor _Kib W2Y%PD9a 不同光栅周期下的衍射效率 /M>8ad c!@g<<}[(
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3 A2X1V" 2D参数优化–设计1 d*ch.((- XiE
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VirtualLab Fusion中的工作流程 UD6D![e 42mi 7%f
&!uw;|% ]O2ku^yM •构造光栅结构 .RocENO0 −通过使用界面来配置光栅结构 S\2QZ[u
[用例] sr%tEKba) •分析光栅衍射效率 ],vUW#6$N −光栅级次分析器[用例] p@`rBzGp •使用参数运行搜索初始解决方案 !<\"XxK+l −参数运行文档的使用[用例] SiJ0r
@ •通过参数优化找到最终设计 ncS.~F ]nE_(*w VirtualLab Fusion技术 = Ly7H7Q2 O<nJbsl_w
O8#}2 .`4N#EjP 文件信息 F?=(4Pyvu /5M@>A^?' Z'c{4b`N t/z]KdK P ?d`?Ss;v W70J2 QQ:2987619807 JJJlgr]#
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