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摘要 wvxqgXnB\ N!tNRMTi 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T gLr4Ex
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 F7=\*U E+ XR [p 建模任务 5ff 5M=M 9Ns%<FRO@  @.dM1DN) 光栅特性与参数的严格分析 ?}uvpB1} *y+K{ fM1 不同光栅周期下的衍射效率
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n(n7 "+B 关于光栅周期选择的考虑 n"~K",~P
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 sJ_3tjs) D6P/39}W VirtualLab Fusion中的工作流程 N VDvd6
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 O-+!KXHd[ 8ePzU c\# •构造光栅结构 NE@P8pQ>
−通过使用界面来配置光栅结构 7.
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[用例] ><)fK5x
•分析光栅衍射效率 l-'\E6grdH
−光栅级次分析器[用例] ]mi)x6 3^
•使用参数运行搜索初始解决方案 7{[i)
−参数运行文档的使用[用例] KeC&a=HL
•通过参数优化找到最终设计 ZZ].h2= K %bhFl,tL VirtualLab Fusion技术 W6yz/{Rf :XO7#P
 a S+i`A :a Z
Mf,3 文件信息 8WG_4e T(*A 0 #XAH`L\  y)`q% J& mgBxcmv
x=44ITe1n[ QQ：2987619807 i]zTY\gw8M
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