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摘要 z X+i2, J_<6;# 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 O"X7 DgbC l%u8Lq
{EVy.F cUw$F{|W 建模任务 yr.sfPnJK R%9,.g< Y!ypG- 光栅特性与参数的严格分析 }:s.m8LC5n s|[qq7 不同光栅周期下的衍射效率 1bDXv,nD k O.iJcZg
*k?y+}E_f v@fy*T\3 关于光栅周期选择的考虑 |v#rSVx ra@CouR^c{
S*7 6V"") EAC I> 偏振相关的衍射特性 h>Z`& \nTV;@F
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/z}b1m+ 4`o<e)c3 通过参数优化进行光栅设计 wIWO?w2 d+
[2Sm(7 固定周期的2D参数优化 ?1LRR
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AW!A+?F6 2D参数优化–设计1 ?jvuTS 2 gC_KT,=H;
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& Yx12B\ `UqX`MFz 变化光栅周期的3D参数优化 [1z.JfC :S wAL}c(EHO
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vF[ 4kDHk C\dk}A VirtualLab Fusion中的工作流程 cz|?j {9^p3Q+:P
k;qWiYMV -YrMVoZl •构造光栅结构 Ea-U+7JC −通过使用界面来配置光栅结构 9^nRwo
[用例] t-<BRnxhE •分析光栅衍射效率 }WBHuVcZG −光栅级次分析器[用例] K5jeazasp •使用参数运行搜索初始解决方案 TgHUH>k −参数运行文档的使用[用例] $~%h4 •通过参数优化找到最终设计 L1y71+iqU "{Y6.)x VirtualLab Fusion技术 _c5*9')-) ,@Kn@%?$
qL[SwEc XGjFb4Tw7 文件信息 hr hj4 A(cR/$fn6 #l7v|)9v S_;r!. ^6LnB#C&
Ed2A\S6tl QQ:2987619807 h ^s8LE3
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