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摘要 +dRTHz ;Lx5r=<Hx 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 JaEyVe WqAP'x 1
HU'}c*d] 6|9fcIh]B 建模任务 ;|c, $!t! = @<+(40`* 光栅特性与参数的严格分析 va)\uXW.N #cA}B
L!3 不同光栅周期下的衍射效率 %pdfGM9g rB\UNXy
k58lmuU f7L |Jc 关于光栅周期选择的考虑 /<5/gV 1Q @/~41\=e
>13= 4S -$*YN{D+ 偏振相关的衍射特性 v^pE=f*/ _\"?:~rUN
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Jyn>:Yq( b`IC)xN$ 通过参数优化进行光栅设计 dM)fr uE>}>6)b 固定周期的2D参数优化 nBQG.3 ~ohW9Z1
BZE19! 2D参数优化–设计1 SFuzH)+VO 3Vhm$y%Td
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a VirtualLab Fusion中的工作流程 1Azigd0% Pb!kl #
B4I|"5G2y x3]es"4Q •构造光栅结构 #Ez>]`]TB −通过使用界面来配置光栅结构 FFPO?y$ [用例] kz+P?mopm •分析光栅衍射效率 '9-8_; −光栅级次分析器[用例] .HMO7n6)8l •使用参数运行搜索初始解决方案 =6/0=a[ −参数运行文档的使用[用例] i_V~SC` •通过参数优化找到最终设计 <s
$~h c8#A^q} VirtualLab Fusion技术 "GgK,d}% }9jy)gF*e
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