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摘要 S ;DqM;Q \tf \fa 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 EVc
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 c>+l3&` ;ru=z@ 建模任务 llVm[7 *,g|I8?%VD  R$( FrbC 光栅特性与参数的严格分析 {qO[93yg)/ _@I< H\^ 不同光栅周期下的衍射效率 6XyhOs %/ II$B"-
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p/jC}[$v 关于光栅周期选择的考虑 Pg[XIfBva
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 /wplP+w2 8,\toT7 通过参数优化进行光栅设计 r}k2n s9 ??& Q"6Oe 固定周期的2D参数优化 eSvS<\p wZ7Opm<nt
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 x-0O3IIE fpd 4 v|( •构造光栅结构 ?K5S{qG'O
−通过使用界面来配置光栅结构 D^]g`V*N
[用例] p'SclH[
•分析光栅衍射效率 9j'(T:Zs
−光栅级次分析器[用例] b +b].,
•使用参数运行搜索初始解决方案 6 ZvGD}/
−参数运行文档的使用[用例] W(~7e?fO
•通过参数优化找到最终设计 6uNWL `v bF_SD\/ VirtualLab Fusion技术 pZeJ$3@vk [S Jx\O s
 JDbRv'F:( ~w
Ekbq= 文件信息 4MM /i} Fa ]|Y pNt,RRoR  yRd [ $p sVT:1 kI
"pRi1Y5)l QQ：2987619807 =}F}XSvXH
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