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摘要 ;}.jRmnJ U1 1rj,7 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 !CPv{c`|qg
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 a_x$I? , TN7kt]a2 建模任务 ~Xh(JK] "h2;65@  'gI58#v 光栅特性与参数的严格分析 [|ky~sR r >| .jG_s 不同光栅周期下的衍射效率 C/<f R:`c qAivsYN*
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关于光栅周期选择的考虑 tE(x8>5A:
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 JfKl=vg 1ub03$pL; •构造光栅结构 M ;\K+,
−通过使用界面来配置光栅结构 qI8{JcFx:
[用例] ]E[Mv}
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•分析光栅衍射效率 h %MPppCEa
−光栅级次分析器[用例] 42Kzdo|}
•使用参数运行搜索初始解决方案 -qid.
−参数运行文档的使用[用例] s7a\L=#p(
•通过参数优化找到最终设计 9R'rFI pZjyzH{~ VirtualLab Fusion技术 <Ni]\-* cN&b$ 8O=%
 ?B@iBOcu[ M FE~bU(h 文件信息 I#uJdV|x ``>WFLWTn ymr-kB  R6{%o:{ - b Fz
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g/z\kX QQ：2987619807 EG< K[t
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