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摘要 ZnDI
J&S d>@&[C!28 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 t~m > \(& !C>}j* 4
=jZ}@L/+ Z^w11} 建模任务 W]cJP v:0. |f+|OZY 光栅特性与参数的严格分析 W.b?MPy] Ng=XH"ce~ 不同光栅周期下的衍射效率 R5=2EwrGP ^b)8l
}& ;49k )!2$yD 关于光栅周期选择的考虑 2uw1R;zw nRq@hk
f4Aevh: OrN>4S 偏振相关的衍射特性 g_8Bhe"ik d%tF~|#A%
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*3 .+19Q [_W#8{ 通过参数优化进行光栅设计 3D<s# FJ]BB4
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p`Z/ •构造光栅结构 &OpGcbf1 −通过使用界面来配置光栅结构 RY8Ot2DWi [用例] VXr'Z •分析光栅衍射效率 Ln~Z_! −光栅级次分析器[用例] G's
>0 •使用参数运行搜索初始解决方案 !nX}\lw −参数运行文档的使用[用例] $:|z{p •通过参数优化找到最终设计 ]xJ5}/ >cVEr+r9t VirtualLab Fusion技术 +n#kpi'T V4c$V]7
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