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摘要 WgqSw%:$H U3Z=X TB 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -Ep#q&\ U||GeEd
;o9ixmT<-o ]%FAJ\ 建模任务 qz{9ND|) ir/uHN@ {(!JYz~P 光栅特性与参数的严格分析 ^'0N%`bY! pCA`OP);= 不同光栅周期下的衍射效率 bWAa:
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f?51sr 关于光栅周期选择的考虑 [&PF ;)i Dzf\m>H[
}#7rg_O]> 66,(yxg 偏振相关的衍射特性 UaF~[toX Z|%h-~
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^`'\eEa %DYh<U4N 通过参数优化进行光栅设计 }!oEjcX' ~x\uZ^: 固定周期的2D参数优化 Syy{ ^Ae} O5 73AA
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tr[}F7n9 R+Hu?Dv&F 制造公差分析 S
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eV|N@ Lc{arhN 走进VirtualLab Fusion ES&u*X: J 7R(X
k8+J7(_c LBCH7@V1yR VirtualLab Fusion中的工作流程 (yqe4 5lG\Z?
|NZi2Bu g2|Myz) •构造光栅结构 n9+33^ PT −通过使用界面来配置光栅结构 SWV*w[X<X [用例] FpRYffT 9u •分析光栅衍射效率 O D}RnKL −光栅级次分析器[用例] iH }- •使用参数运行搜索初始解决方案 &<BBPn@\ −参数运行文档的使用[用例] *#XZ*Ga •通过参数优化找到最终设计 x950,`zy ^el+ej/= VirtualLab Fusion技术 e.n(NW wc;n=
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6e+'Y"v #uhUZq 文件信息 9;e!r DW,# (4+P7Z,Nc XGx[Ny_A2 :snO*Zg (SBhU:^h nnv|GnQST QQ:2987619807 &W@2n&U.q
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