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摘要 'S4)?Z +OaUP*\Dd 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _F(P*[[& c-1q2y
N3A<:%s cu9Qwm 建模任务 j]4,<ppWSH |i%2%V#
E#%}ZY 光栅特性与参数的严格分析 k[|~NLB8 m?CZQq, 不同光栅周期下的衍射效率 !7p}C-RZp l&(l$@t
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#JAL7 走进VirtualLab Fusion 9SQ4cv*2 q%YV$$c
H6TD@kL9Wr C(T;>if0NH VirtualLab Fusion中的工作流程 dP2irC%f8 RIn9(r
G[Lpe tB7}|jC •构造光栅结构 GwU?wIIj^ −通过使用界面来配置光栅结构 WCJxu}! [用例] {No L •分析光栅衍射效率 266oTER]v: −光栅级次分析器[用例] SGc8^%-` •使用参数运行搜索初始解决方案 \00DqL(Oj` −参数运行文档的使用[用例] 6.1)IQkO •通过参数优化找到最终设计 a,t``'c; aolN<u3G VirtualLab Fusion技术 {XurC}#\ ^D^JzEy'?C
^eYqll/U w~R`D 文件信息 -Y 9SngxM I`(l *U B?rSjdY4 (h-*_a}F4 BG&cQr `?(Bt|<> QQ:2987619807 $!@\
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