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摘要 DL2 e 9 %U V_
3 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ts}5Nk8%
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 Y xGIv8O] ^X)U^Q d 建模任务 7V 2% RVXRF_I  {S qY77 光栅特性与参数的严格分析 jQ%}e" fx99@%Ii 不同光栅周期下的衍射效率 8 W[QV 85w
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IW$&V` `v 关于光栅周期选择的考虑 QI0ARd S
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}x *d X.j#?? 偏振相关的衍射特性 v $+G_ @ ( J\D"4q
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 [|ky~sR r o:f=dBmoX 通过参数优化进行光栅设计 \^|ncu :T lY?TF 固定周期的2D参数优化 `vL R;D m- , '
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 T{?!sB3 J\m7U VirtualLab Fusion中的工作流程 #/ \FB'zC
zh*NRN
 FZj tQ{M G]QD6b9~ •构造光栅结构 KhXW5hS1
−通过使用界面来配置光栅结构 N<$ uAns
[用例] e)cmZ8~S
•分析光栅衍射效率 ?y ] 3kU
−光栅级次分析器[用例] DFE?H
•使用参数运行搜索初始解决方案 MbY a6jrF
−参数运行文档的使用[用例] FIC
2)
•通过参数优化找到最终设计 y])xP%q2 O }I05&/o.3p VirtualLab Fusion技术 Yw?%>L m"H9C-Y
 c9r2kc3cy{ lYQcQ*- 文件信息 ME0ivr*=: ]%>;R^HY 0BxO75m}o  %S$P+B? &S'' fxGL
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95<6* QQ：2987619807 @ B+
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