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摘要 I\y=uC ZC!GKW P2 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5H{dLZ],
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 l)P~#G+C WVMkLMg8d 建模任务 Nn:>c< [ { = Y3[  Shag4-*@hi 光栅特性与参数的严格分析 I_aS C 4 <\6< -x(H5 不同光栅周期下的衍射效率 Jx-dWfe &pk&8_=f
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 *ke9/hO1i 8-.jf •构造光栅结构 Xpp%j
−通过使用界面来配置光栅结构 //O9} -
[用例] 7sglqf>
•分析光栅衍射效率 y'#i'0eeL
−光栅级次分析器[用例] M"l<::z
•使用参数运行搜索初始解决方案 +@5@`"Jry
−参数运行文档的使用[用例] h F 4gz*Q
•通过参数优化找到最终设计 ?K9zTas@ |(Q !$ VirtualLab Fusion技术 \'[C_+;X c'Mi9,q
 L32 [IL| 1nAAs;`' 文件信息 ;:l >Kac S1& Df%Ra l< "Z? z  /tqQA vj ?$Tp|<tx#
b xFDB^ QQ：2987619807 @9ndr$t
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