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摘要 t?&|8SId 9Cp-qA%t 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 o ]_dJB
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55;8 Xp% v.M 建模任务 Rz/gtEP %y[h5 *y*  hJ? O],4J 光栅特性与参数的严格分析 XS{Qnx_# "ycJ:Xv49 不同光栅周期下的衍射效率 j#x6
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R nE 4<Cy 关于光栅周期选择的考虑 .bg~>T+<
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 Q&tG4f< lrE 5^;/s1 VirtualLab Fusion中的工作流程 )dw'BNz5hT
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 O 8r|8]o ^uc =f2=>, •构造光栅结构 R) h#Vc(
−通过使用界面来配置光栅结构 SKN`2[ahD
[用例] a dcE'fA<_
•分析光栅衍射效率 Wvh#:Z
−光栅级次分析器[用例] JXQO~zj
•使用参数运行搜索初始解决方案 Ll' t>)
−参数运行文档的使用[用例] ; DR$iH-F
•通过参数优化找到最终设计
8dA~\a $%d*@ 'c VirtualLab Fusion技术 oZgjQM$YP H%td hu\e
 PFjL1=7I 'H>^2C iM 文件信息 rs[T=C Q ? OM!+O .p[ ux vp
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