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摘要 [IQ|c?DxpL 8M@'A5] 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mr^3Y8 $s
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 n/+X3JJ &O&HczO •构造光栅结构 P[nc8z[
−通过使用界面来配置光栅结构 py*22Ua^
[用例] &S,D;uhF
•分析光栅衍射效率 Jz}nV1G(jz
−光栅级次分析器[用例] K}~$h ,n
•使用参数运行搜索初始解决方案 Ps!Mpd cL3
−参数运行文档的使用[用例] VY0.]t
•通过参数优化找到最终设计 I`kfe`_ "|SMRc VirtualLab Fusion技术 } ;/QK* O
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