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摘要 N BHS
4lhoA 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |M]#D 0v
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 k~f3~- " eQ _dO]Q 建模任务 8}9|hT;
q}gj.@Q"  y57]q#k 光栅特性与参数的严格分析 [SGt ~bRJ V \Oe ] w 不同光栅周期下的衍射效率 # RAez:BI ~wG.'d]
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td!WgL,m 关于光栅周期选择的考虑 l9"4"+ ?j<
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 dYEF,\Z' .BN~9w 偏振相关的衍射特性 lg` Qi& &2IrST{d:V
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@ f>.A^? 通过参数优化进行光栅设计 '}\{4Qst k8fvg4 固定周期的2D参数优化 Q` mw2$zv !u~h.DrvZ
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V5 走进VirtualLab Fusion p x;X} Cd
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&aH O8 BxXa@5 VirtualLab Fusion中的工作流程 4^H(p
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 GCx1lm v~- z["=}! •构造光栅结构 Kj[X1X5
−通过使用界面来配置光栅结构 hpJ[VKe
[用例] C D#:*
•分析光栅衍射效率 }W &hPC
−光栅级次分析器[用例] U" eP>HHp
•使用参数运行搜索初始解决方案 hDc, #~!
−参数运行文档的使用[用例] `_{'qqRhe
•通过参数优化找到最终设计 /BC(O[P F 7+Gt
Ed VirtualLab Fusion技术 ,aI 6P- jJ%
*hDZ6t
 e 6s-; ]p3hq1u3& 文件信息 cy=,Dr9O $-""=O|" ;OW`(j C  2YvhzL[um #5HJW[9
$I(2}u?1+d QQ：2987619807 ]9z{
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