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摘要 dVGbe07 )z J=PF 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 abWl ut
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 ")M;+<c"l aZgNPw 建模任务 9}
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9^zx8MRXd 关于光栅周期选择的考虑 *Nlu5(z
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 R&!]Rl9hf ^j iE9k) VirtualLab Fusion中的工作流程
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 I61%H9 ; $_bZA;EMQ •构造光栅结构 :<UtHf<=k
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−光栅级次分析器[用例] *;X-\6
•使用参数运行搜索初始解决方案 LYNZP4(R
−参数运行文档的使用[用例] s7M}NA 0
•通过参数优化找到最终设计 \!4|tBKVY sMX$Q45e VirtualLab Fusion技术 ]b )!YP o [D hEh@
 _XWnS9 f?5A"-NS 文件信息 m0C{SBn-M i*z0Jf [" p }BG w:=  %r P ! _'lmCj8L
\*J.\f QQ：2987619807 9.]kOs_
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