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摘要 a & tl@y1 DsGtc <l% 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T3^(I~03
l\~F0Z/O
 Cb;4 9;q 1W LaJ%Fv 建模任务 N(L?F):fT X##hSGQM  A \~tr 光栅特性与参数的严格分析 0o-KjX?kP kV+O|9 不同光栅周期下的衍射效率 4$jb-Aw vrvOPLiQ
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x)^t5"F 关于光栅周期选择的考虑 8hm|9
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 / FA0(< -} p*" H&xA@ 偏振相关的衍射特性 H6]z9 8 S(h+,+289
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 X\'+);Z \v[?4 [ 通过参数优化进行光栅设计 A>W8^|l6+- s c
&S0K 固定周期的2D参数优化 ^K
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e41 S,~ DA3 变化光栅周期的3D参数优化 [<p7'n3x
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 ME%W,B.|"s iI(7{$y VirtualLab Fusion中的工作流程 t^zmv PDK
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 NWq>Z!x` 7$&3(#!N •构造光栅结构 | p"E0av
−通过使用界面来配置光栅结构 =Vm"2g,aA
[用例] W{!GL
•分析光栅衍射效率 %t:pG}A>:C
−光栅级次分析器[用例] ``p( )^zT
•使用参数运行搜索初始解决方案 UfUbo xT
−参数运行文档的使用[用例] &hb:~>
•通过参数优化找到最终设计 %8a886;2 {q-<1|xj/J VirtualLab Fusion技术 *6tr K`tx^ H=j&uv8
 <cn{S` 5 UQbd8 文件信息 0[qU k(=}[ ub0uxvz ~Yw`w 2  N5%z bfKM =
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h+r? QQ：2987619807 L -T3{I,3
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