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摘要 ohtT
O]\ H%F M 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 an Lbl#UV
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d nz>K{( 建模任务 (yfXMp ,x Vfb<o"BQk  +9TV: T 光栅特性与参数的严格分析 v< Ty|(gd #ii wD| 不同光栅周期下的衍射效率 8*vFdoE_oO O
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)TM!m s+K 关于光栅周期选择的考虑 D_Guc8*
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 v~f'K3fLp EDtCNqBS~2 VirtualLab Fusion中的工作流程 4
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 /7x\;&bc b9DR%hO: •构造光栅结构 nGns}\!7'
−通过使用界面来配置光栅结构 /h7.oD8CU
[用例] .$P|^Zx,
•分析光栅衍射效率 =},{8fZ4
−光栅级次分析器[用例] 5N1}N s
•使用参数运行搜索初始解决方案 l=xt;c!
−参数运行文档的使用[用例] *<x rp*O
•通过参数优化找到最终设计 o)p[
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