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摘要 gk%n F |OH*c3~r 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 c R Lw)"|
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 ,1sbY!&ekL g0B] ;Y>( 建模任务 46>rvy.r #
e? B  Nny*C`uDF 光栅特性与参数的严格分析 tbS hSbj ${Un#]g 不同光栅周期下的衍射效率 @_ %RQO_X TKB8%/_p
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/~NX<Ye& 关于光栅周期选择的考虑 cp`J ep<T
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 -E}X`?WhD B{/og*xd*1 •构造光栅结构 )c11_1;
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[用例] U`6| K$@
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−光栅级次分析器[用例] i:YX_ +n
•使用参数运行搜索初始解决方案 c0o]O[
−参数运行文档的使用[用例] ]Za[]E8MD
•通过参数优化找到最终设计 rO#w(] {Z c8 ,jm VirtualLab Fusion技术 y]Nk^ga:U6 JMB#KzvN[
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