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摘要 ;4ybkOD #^r-D[/m 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 wM4{\ f\ C3Q #[
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Z^2SG_pD 建模任务 4K'U}W D ka8[z7 P7b"(G% 光栅特性与参数的严格分析 K=HLMDs -&`_bf%M 不同光栅周期下的衍射效率 F<4:P= MKvmzLh$)
{q`8+$Z; bR)P-9rs 关于光栅周期选择的考虑 fo+s+Q|Y 2,q*8=?{6P
2F`#df c:Cw# 偏振相关的衍射特性 )W 5g-@ L=qhb;[L
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"Ot%{&:2 G gA:;f46 通过参数优化进行光栅设计 k^8;3#xG y>0 @. 固定周期的2D参数优化 o.NU"$\? ]:D&kTc
0.wF2!V. 2D参数优化–设计1 ?OF$J|h *Vq'%b9
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okRt^qe m`fdf>gWp 制造公差分析 !gRU;ZQU_ lshSRir
#UymD-yII ^0>^5l'n 走进VirtualLab Fusion n8!|}J /G7^ l>pa
hr.mzQd ^Ff fc@= VirtualLab Fusion中的工作流程 (AZneK
:* "~=}&
U= n 8q9^ •构造光栅结构 W3\+51P −通过使用界面来配置光栅结构 EB+4]MsD [用例] 9<CUm"%J •分析光栅衍射效率 hOLlZP+ −光栅级次分析器[用例] bupW*fD: •使用参数运行搜索初始解决方案 !K*3bY`# −参数运行文档的使用[用例] K
~\b+ •通过参数优化找到最终设计 K6B6@ !?i9fYu VirtualLab Fusion技术 ~8k`~t! 5ip ZdQ^
4xs>X7 %iIr %P? 文件信息 X%*BiI X
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