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摘要 ^<'5 V) r]sv50Fy 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #Sr_PEo
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 ]vMr@JM-G U,yU-8z/ 建模任务 -~~"}u Q9H~B`\nQ  YgNt>4K 光栅特性与参数的严格分析 UJ 1iXV[h" >c*}Do{lG 不同光栅周期下的衍射效率 Cb7f-Eag zdrCr0Rx,
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Dj'aWyW' 关于光栅周期选择的考虑 WLd{+y5#
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 0tv"tA; 1P:r=Rt/ 通过参数优化进行光栅设计 i[/g&fx 97lM*7h; 固定周期的2D参数优化 9bR lSb@ oMawIND a
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 ifTMoC% i_Dv+^&zV 变化光栅周期的3D参数优化 bwR_ uF
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 23 j{bK 7p%W)=v 制造公差分析 ^-?5 =\`5
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 i1k(3:ay< WBD e` •构造光栅结构 ^j&'2n@ 9a
−通过使用界面来配置光栅结构 ?tS=rqc8oW
[用例] =!u9]3)
•分析光栅衍射效率 Y^80@ MJ
−光栅级次分析器[用例] } #}IR5`=E
•使用参数运行搜索初始解决方案 SQ!wq
−参数运行文档的使用[用例] [ fvip_Pt
•通过参数优化找到最终设计 VP[ -BK[ ,_;+H*H>" VirtualLab Fusion技术 'zCJK~x`x "D0:Y(\
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