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摘要 _0naqa!JyH NlhC7 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 h{HpI
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 X5tV Xd s, #$o3 VirtualLab Fusion中的工作流程 Oh}@c~7;
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 Z\?!& & p7*7V.>X •构造光栅结构 {5fq4A A6
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[用例] ?GZ ?HK|
•分析光栅衍射效率 KA` )dMWL
−光栅级次分析器[用例] .=
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•使用参数运行搜索初始解决方案 fG7 -0 7
−参数运行文档的使用[用例] F<6{$YI
•通过参数优化找到最终设计 i)ibDrX!I n;d Wb$: VirtualLab Fusion技术 R?*-ZI[>w B7'2@+(
 HOP sp I|mxyyf 文件信息 `\-MpNw y2C/DyuAY| RQn3y-N]  %cMayCaI!@ m )<N:|
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