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摘要 ayF+2(vch) 0C!f/EZK 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (~S=DFsP x -;tV=E}
9u[^9tL+D .cks){\ 建模任务 #BtJo: 9-:\ NH^; hp|.hN(kS] 光栅特性与参数的严格分析 kg&R f4'WT 不同光栅周期下的衍射效率 _c!$K#Yl{ _v6x3 Z
X,xCR]+5S [&(~{#}M: 关于光栅周期选择的考虑 )kMF~S|H iW%~>`tT
VW`SqUl ;_X2E~i[ 偏振相关的衍射特性 <uG6!P y5{Vx{V"Q
U9"(jl/o !S~0T!afF
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zm!M'|~@7 FG!2h&k 通过参数优化进行光栅设计 xyD2<?dGUb %?hvN 固定周期的2D参数优化 s_;o1 K0 B#DnU;=O#+
5) q_Aro 2D参数优化–设计1 9OYyR a]/KJn/B(
OO2uE ;( 3 4/ WKR3X 2D参数优化–设计2 \E=MV~:R OdbXna
[l/!&6 Lb?WhjqZ 制造公差分析–设计2 G?v!Uv8O Q=61.lP6
]Cs=EZr %:s+5*SKe 变化光栅周期的3D参数优化 8@[S,[ x2sKj"2?@
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L =&I ur.krsU 制造公差分析 r+d+gO. y/E:6w
hVz] wKP mlxtey6H3 走进VirtualLab Fusion ,5V6=pr$ +_L]d6
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W VirtualLab Fusion中的工作流程 &~Y%0&F,& :c|Om{;
HC=ZcK'W 0
*;i]owV •构造光栅结构 @ta:9wZ −通过使用界面来配置光栅结构 ,]@K,|pC) [用例] \FUMfo^ •分析光栅衍射效率 YKz#, −光栅级次分析器[用例] Ab]tLz|Z •使用参数运行搜索初始解决方案 suzK)rJ9i −参数运行文档的使用[用例] ?=LT
^Zp` •通过参数优化找到最终设计 5S8>y7knQ +;\w'dBi, VirtualLab Fusion技术 x|yJCs> 2WDe34
X0iy /@|iI<| 文件信息 +SF+$^T 8{=|< UOFb.FRP> bf@g*~h@ 1a/C(4_k =.7tS' QQ:2987619807 6}m `_d?
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