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摘要 E6Q91Wz9f cf&C|U 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 oVreP
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 2D_6 b<\G I 7 建模任务 oE 5;|x3 PbQE{&D#  *V<)p%l. 光栅特性与参数的严格分析 <L%HG P;>!wU~ * 不同光栅周期下的衍射效率 /rOnm=P+Q +> ^[W~[2
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 "X\q%%P=? B ASO$?jf4 •构造光栅结构 M|5^ ':Y
−通过使用界面来配置光栅结构 "#[o?_GaJ
[用例] 4X<Oux*
•分析光栅衍射效率 }Ox2olUX
−光栅级次分析器[用例] /^nP_ID
•使用参数运行搜索初始解决方案 0%v ixR52
−参数运行文档的使用[用例] ZKVp[A
•通过参数优化找到最终设计 {9y9Kr|(P: CR} > VirtualLab Fusion技术 r9U[-CX:" C6Um6 X9/i
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