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摘要 wfU&{7yt oF 1W}DtA 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .O@q5G
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 YiY&; )w mTI\,x%<OC 建模任务 Sm*Jysy` auyKLT3C  /:
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 o"ah\"#el )`+@j.75 VirtualLab Fusion中的工作流程 8$<AxNR
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 7U[L\1z S h3d\MYO)B •构造光栅结构 _l{ 5 'm
−通过使用界面来配置光栅结构 K%TKQ<R|
[用例] #L IsL
•分析光栅衍射效率 =Z>V}`n
−光栅级次分析器[用例] !{ESeBSCG
•使用参数运行搜索初始解决方案 3G d&= IJ
−参数运行文档的使用[用例] 0-~6}
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•通过参数优化找到最终设计 ATmqq)\s 97))'gC VirtualLab Fusion技术 5fx,rtY2sQ M+R)P +
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#HuA(``[d QQ：2987619807 B?ob{K@
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