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摘要 "6FZX~]s! 69p>?zn 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;mjk`6p %8DU}}Rj
}[ld=9p( 9NBFG~)|l[ 建模任务 7:)= ^"(CZvq P>9F(#u_(F 光栅特性与参数的严格分析 hV)D,oN3 v1oq[+ 不同光栅周期下的衍射效率 b>er 'U .-awl1 W
.!/DM-C wzwEYZN(q 关于光栅周期选择的考虑 =e$<[" zgI!S6q
Y[R veF wa\Yc,R 偏振相关的衍射特性 #.'0DWT\- ;}@.E@s%'
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4>-'w MW") ~! ;*C 通过参数优化进行光栅设计 Tty_P, X ^8@T 固定周期的2D参数优化 sC1Mwx PV$)k>H-
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17P5Dr& -:cBVu-m 制造公差分析 cq+G 0F+H u_H=Xm)9
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'F2g2W` ^Gi9&fS, •构造光栅结构 bUvVt3cm −通过使用界面来配置光栅结构 J([Y4Em5 [用例] ,5V w^@F •分析光栅衍射效率 *.%z −光栅级次分析器[用例] b'q ru~i •使用参数运行搜索初始解决方案 4g4[n7 −参数运行文档的使用[用例] E? lK(C •通过参数优化找到最终设计 H=lzW_( de=){.7Y VirtualLab Fusion技术 ^^,cnDlm d?:KEi-<7
`PY=B$?{4 :1asY:)vNP 文件信息 =hRo#]{(K S)LvYOOB@ =csh=V@s ^?M# |> (aC~0
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