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摘要 yZleots1 VeA@HC `?" 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Xoe|]@U`
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 6$`< Y? t 7Q$ 建模任务 +IdM|4$\1 }a]`"_i;[  PucNu8 光栅特性与参数的严格分析 x93@[ B*% .n 9.y8C 不同光栅周期下的衍射效率 ;d?BVe? PQH z tS"
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S?p)& 关于光栅周期选择的考虑 o|xf2k
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通过参数优化进行光栅设计 -laH^<jm5 z
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 \3vQXt\dM$ fRNj *bIV •构造光栅结构 TG=A]--_a
−通过使用界面来配置光栅结构 N[@~q~v
[用例] DY `0 `T
•分析光栅衍射效率 5bb#{?2i
−光栅级次分析器[用例] / `cy4<
•使用参数运行搜索初始解决方案 Z|K HF"
−参数运行文档的使用[用例] TTG=7x: 3
•通过参数优化找到最终设计 MJX
ny4n 'v '[_(pq VirtualLab Fusion技术 x& _Y( bHA WrP+n
 c :Czu WvU[9ME^) 文件信息 <.`i,|?MHS t %u0=V Q`i@['?p  + 1#;s!e Km x4bp4
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