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摘要 mp*?GeV?M _]L]_Bh 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $s"-r9@q
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 7ab'q&Y[ #6C<P!]V 建模任务 u>*qDr* d ONF x -U]  equi26jhr 光栅特性与参数的严格分析 jPn.w,=)27 <s$Jj> < 不同光栅周期下的衍射效率 ! iK{q0 _ .I58r
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G7r .Jm^q 关于光栅周期选择的考虑 $Xqc'4YOZ
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H|L1g ^ ~dC&!D 通过参数优化进行光栅设计 VH v L:z xE!b) @>S 固定周期的2D参数优化 -C* 6> $A L^K,YlNBR
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 c5pK%I }O d@zxgn7o VirtualLab Fusion中的工作流程 {\|XuCF#
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O •构造光栅结构 *z0 R f;
−通过使用界面来配置光栅结构 6z'0fi|EN
[用例] WcpH= "vm
•分析光栅衍射效率 Nz%pl !
−光栅级次分析器[用例] 'Zq t~5=5
•使用参数运行搜索初始解决方案 yN06` =
−参数运行文档的使用[用例] l_,6<wWp
•通过参数优化找到最终设计 CZ%KC$l.5 $-<yX<. VirtualLab Fusion技术 \g v-2., i~*6JB|
 dF|R`Pa2ML z80*Y lx 文件信息 $_e{Zv[ Ec }9R3 m P2U4,?_e  :`0,f ?cE yA7O<p+
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