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摘要 jij<yM8$g MAqLIf<G 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 n,j$ D62[
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 2 Vk\L~K ;;Ds 建模任务 >xu [q \:" N8v'70  /qU>5; 光栅特性与参数的严格分析 |Ps% M|8~ $Z?\>K0i 不同光栅周期下的衍射效率 ar.AL' ]3B %8
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@ {#mpDX 关于光栅周期选择的考虑 W 0XF ~
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 :!a 2]- D} )u]9193 •构造光栅结构 9[c%J*r
−通过使用界面来配置光栅结构 P + " Y
[用例] b1XRC`Gy
•分析光栅衍射效率 7!y5
SX8C
−光栅级次分析器[用例] "P-lSF?T
•使用参数运行搜索初始解决方案 *=V7@o
−参数运行文档的使用[用例] S [h];eM
•通过参数优化找到最终设计 0$+fkDf A\_ |un% VirtualLab Fusion技术 vDl- "!G1 XdLCbY
 r0d35 l!}:|N Yh! 文件信息 # #Q/I| R" )bDy? 7@lS.w\#-  *KY=\
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