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摘要 ][.1b@)qV >Kxl+F 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 aw~OvnX E 8`+X6iZOQ
&]5<^?3 k,H4<")H 建模任务 3' ^ON 6;VlX,,j )]>9\( 光栅特性与参数的严格分析 iS{)Tll}& !R-UL#w9W' 不同光栅周期下的衍射效率 r`5;G4UI s;A]GJ
@9^kl$ `ul"D% 关于光栅周期选择的考虑 ]M_)f n_5g:`Y
PRs[:we~~ ;qvZ * 偏振相关的衍射特性 f+d{^- 371E S4
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NKd):>d% RgEUTpX 通过参数优化进行光栅设计 uH`ds+Hp kG%<5QH 固定周期的2D参数优化 m0:8thZN lp4sO#>`
bju0l[;= 2D参数优化–设计1 ]RxNSr0e ,u$$w
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Y~Zg^x2 e7<~[>g) 制造公差分析–设计2 :5;[Rg5
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2PRGwK/ Z$2mVRS`c 变化光栅周期的3D参数优化 SJw0y[IL6( MECR0S9
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lnTl"9F 9;.dNdg> 走进VirtualLab Fusion e;Q~P]x 0(teplo&P
594$X@!v 1298&C@ VirtualLab Fusion中的工作流程 )5&Wt@7Kj` W.>yIA%
<;M 6s~ AX[/S8|6 •构造光栅结构 a]75z)XR −通过使用界面来配置光栅结构 NH4EsV] [用例] b@nbXm]Z •分析光栅衍射效率 ?jy^WF` −光栅级次分析器[用例] l~!#<=. •使用参数运行搜索初始解决方案 0!xD+IA!8 −参数运行文档的使用[用例] 60-LpGhvy •通过参数优化找到最终设计 %N>@( . D,]m7yFT VirtualLab Fusion技术 'M YqCfIK ?zxKk(J
IiSO{ g`\Vy4w 文件信息 AQ@A$ N\mV+f3A@, SrU,-mA W {_PV~8u :Ruj;j &:w{[H$- QQ:2987619807 (,HAOs
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