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摘要 };bEU wGWf % 2/EaaR 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &yT qZ*Yuk
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 ]z;I _- `?qF$g9u~ 建模任务 4 Y9`IgQ /P3 <"?#k  qI9z;_,gNz 光栅特性与参数的严格分析 ufZDF=$7 nH'e?>x~e 不同光栅周期下的衍射效率 S_4?K)n # b:m88AG
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$}q2 3 关于光栅周期选择的考虑 \?ZB]*Fu
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 {n.PF8A5X k[YS8g-Q 通过参数优化进行光栅设计 NC`aP0S |?xN\O^#} 固定周期的2D参数优化 dNH08q8P $am$ EU?s
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 2\{M:\2o i$#;Kpb`^ •构造光栅结构 Pn1^NUMZJ
−通过使用界面来配置光栅结构 783,s_
[用例] 8MtGlW%Eh
•分析光栅衍射效率 ]p GL`ge5
−光栅级次分析器[用例] p%Vt#?q
•使用参数运行搜索初始解决方案 tw/dD +
−参数运行文档的使用[用例] iHf $
•通过参数优化找到最终设计 k%#EEMh n;_sG>N VirtualLab Fusion技术 ZvX*t)VjTz s^9Voi.y
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