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摘要 $Rf)i W;h Y
i`wj^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Hni?r!8r
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 !sh>`AF kD_616 建模任务 7\EY&KI"0 G "F:68  _F tI2G9 光栅特性与参数的严格分析 NFBhnNH+ o=I.i>c 不同光栅周期下的衍射效率 !2]'S=Y 5>S)+p
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 w 8(z\G_0 g I@I.=y 偏振相关的衍射特性 p JM&R<i: ]"VxEpqhM
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 p MLTXqL eR>|1s%^ VirtualLab Fusion中的工作流程 ND\M
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 /uJ(W ]jgMN7 •构造光栅结构 M992XXd
−通过使用界面来配置光栅结构 D /b F
[用例] PHx No)
•分析光栅衍射效率 ^~JF 7u
−光栅级次分析器[用例] qw6i|JM%
•使用参数运行搜索初始解决方案 x|GkXD3
−参数运行文档的使用[用例] OZ6:u^OS]
•通过参数优化找到最终设计 fHiS'R ,j e VirtualLab Fusion技术 L W!>_~g- 1w'W)x
 *1g3,NMA kV@?Oj.&I, 文件信息 XWag+ K V2 >+s
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