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摘要 g}\U, ( CnM+HN30o 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 5<'n U[K0{PbY
:Vu7,o *[XN.sb8E 光栅详细说明 +&&MUT{
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HV#?6,U} SSSDl$}'t •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 X}n&`y{/ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 awj} K LAu+{'O\ 光栅阶次分析器设置 nR=2eBNf +An![1N, •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 gxBl1 •可以指定各种输出选项。 =B3!jir •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 Res"0Q 9RCB$Ka6X
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