-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-09-04
- 在线时间1983小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 g2 mq?q(g D5].^*AbZ 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 / T_v8{D 9#~jlq(
BGOS( 1]A\@( 光栅详细说明 Zw%:mZN
i~M-V=Zg
%zDi|WZ fjuPGg~ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 vkM_a}%< •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 6{g&9~V wsc=6/#u 光栅阶次分析器设置 /5
OQ0{8p i1]}Q$ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 Z[,,(M •可以指定各种输出选项。 73{<;z}i •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 Gf9O\wrs *TCV}=V G
hQNUA|Q=% Wg8*;dvtM 常规设置 1}p:]/; ^%Ln@!P
_(8N*q*w yLl:G; •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 X76rme •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 %j{*`} * <?KOM 单个阶次设置 XB:E<I'q!3 }?O>.W,/
[<Mls@? 9o]!D,u8=5 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 }wJH@'0+ •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 qS
ggZ0* zY-?Bv_D 单个阶次设置 9OlJC[ (#qQ;ch b'ir$RL] c $`lGPi(Jc
wARd^Iw d*@K5?O. 探测器标签页中的输出 %.fwNS TIF =fQ
8hSw4S"$ KmWd$Qy, •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 li#ep?5h^ •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 y`7b3*P G1I<B 极坐标图中的输出 5 (q4o` _5OxESE Zl.,pcL S]4!uv^y •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 wawJZ+V •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 `+0P0(bn lcfs
1]. 极坐标图设置 B@' OUcUR ="AaC!E,W
5E}]U,$ !|mzu1S •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 {T0Au{88H •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 P"[{s^mb H#T& |