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摘要 |v,%!ps 2to~=/. 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 f</'=k xvo""R/g8 bO 8 >w9MF wf*G+&b d2 光栅详细说明 WcRTv"4& Nr~9] S akR+QZ,) r?cDyQE •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 KX8$j$yW •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 =VA5!-6<Uq vh+ '
W 光栅阶次分析器设置 { #?$p i[ Iv,Ub_Ll9 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 R=Qa54 •可以指定各种输出选项。 $z1W0 •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 O*qSc^ 9q ng,64(wOY $MW-c*5a Buxn!s 常规设置 dU4 h _6U=7<f kT7x
!7C tj ONN(K` •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 S"-q*!AhK •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 d}d1]@Y\ <]:X 单个阶次设置 lI,lR !u)>XS^E FE'|wf He&7(mQ0^ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 U2hPsF4f •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 4?eO1=a YJ6y]r
K2, 单个阶次设置 Z}X oWT2f <[*%d~92z f&=WgITa Kivr)cIG dWR-}> 3EY>XS 探测器标签页中的输出 G`;YB Wi;wu* Fa"/p_1 3y#U|&]{ •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 yW=I*f •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 !sTOo vk:k ~
极坐标图中的输出 CIt%7
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# •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 y3Z\ Y[ •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 6np L- '{ 极坐标图设置 _VjfjA<c8 R5"5Z?' hRU5CH/! r
9~Wh
$ •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 V/t/uNm •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 >b1#dEY ;q"Yz-3 阶次汇集输出 9Z[EzKd<~' %&Fsk]T%: w7#9t •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 ^ ,cwm:B@ •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 xs}3=&c( hvFXYq_[O 阶次汇集设置 LvPcH VG=mA4Dd 39yp1 [X&VxTxr IG(1h+5R( &i5MRw_]] 阶次汇集设置 /0_^Z2 id?B<OM Gi+ZI{) A &tMj |