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摘要 7&2xUcsz) ofsua?lSe 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 hD
sFsG :[!rj
gmt`_Dpm$ :Z,zWk1| 光栅详细说明 >[NNu Y~ y "gYv
hCM+=]z" h%Bp%Y9 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 fAXF_wj •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 Ymx/N+Jl (|<}q-wO 光栅阶次分析器设置 rcAx3AK. pf[bOjtR •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 t '* L, •可以指定各种输出选项。 `N;JM3 ck •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 j%0D:jOY] (zte 'F4
7iT#dpF/A 4;y*y tY* 常规设置 SK#;/fav6 uK1DC i
y@e/G3 OUQySac •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 C,&r7 •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 fn;`V it# K<6)SL4 单个阶次设置 7;5SK:X%dm ]9F$/M#
s&TPG0W m?0caLw< •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 "KSzn •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 h:[%' htz |L,_QXA2 单个阶次设置 .7_<0&kW |