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摘要 !Nl.Vb $dh4T"; 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 (s$u_aq77 0w(T^GhZ
pq[X)]z| -9>LvLU 光栅详细说明 g(1B W#$ yvd
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QhXC>)PW ^@`e •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 %7 v@n+Q •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 6L,lq; 9Ue7
~"= 光栅阶次分析器设置 Cb{A:\>Q{ }\f(qw •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ^{*f3m/ •可以指定各种输出选项。 xshArJ&A •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 }#OqU#
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2:iYYRrg _+\:OB[Y 常规设置 ~llMrl7 t1w2u.]
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j, j&dx[4|m:h •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 UXwB$@8 •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 p:JRQT"A p,w|=@= 单个阶次设置 hqs $yb
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,](v?v.[4 @P_C%}(< •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 <mZrR3v'D •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 *H5PT t=Z& |