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摘要 hu}`,2 c'M#va 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 "FA&Qm0 M^^5JNY
'.Iz*%" i#Tm] ++ 光栅详细说明 cQ(zBf ;UuCSfs{
(A!+$}UR ~ [L4,q •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 xs+pCK | •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 2ghTAsUx9 ]WlE9z7:8 光栅阶次分析器设置 HKu? J ]7<}EG •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 B#RBR<MFC •可以指定各种输出选项。 }diB •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 K@av32{ %04N"^mT'~
fik*-$V` v4M1uJ8 常规设置 zN}1Qh <T] BSQk
QTZfe<m0 (
R2432R}J •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 /^_~NF# •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 5G5P#<Vv qKoD*cl)Za 单个阶次设置 .|>zQ(7YC dkTewT6'
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