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摘要 ,?s:s&4 Le}-F{~`^ 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 NeY,Of| 04R-}
u\|Ys >zB0+l 光栅详细说明 {siIRl2& t~FOaSt
e5fzV.' 5 n7K\\|X •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 XRR`GBI •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 < 5#}EiT5 &(HIBF'O 光栅阶次分析器设置 `?:X-dh_ bn<} •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 %q
7gl;' •可以指定各种输出选项。 NI?YUhg> •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 !RwOUCk
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{F+iL&e) ' fP`ET5 常规设置 :i:M7 }r j
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^{Y9!R*9U* *^P$^lm?S •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 2s:$4]K D •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 5A=FEg Qape DU; 单个阶次设置 Acib<Mi2!- Vy[ m%sEP
I<ta2<h iSxuor^; •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 Rck k •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 ThSB\ _-/< |