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摘要 -G,^1AL> `MP|Ovns:H 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 kX:tc v}^5Rp&m
htY=w}> f`>/
H!<2 光栅详细说明 w<9>Q1( }6 5s'JB
qC!&x,}3 U}Hwto`R •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 k#bu#YZk •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 (J"T]-[ A|}l)!% 光栅阶次分析器设置 9t@:4O \8OO)98' •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ~8|t*@D •可以指定各种输出选项。 B~'MBBD" •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 #<( = }? iA_8(Yo
-oz`"&% e7u^mJ 常规设置 +D#Z n!P >*twTlb{
8
6QE/M f^e6<5gdf •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 t"j|nz{m •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 N^VD=<#T *s}|Hy 单个阶次设置 ea=83 Zj CLKov\U\
+a=
0\lpOy q^rl) •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 }2)DPP:ic •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 $3=:E36K ~`Qko-a& 单个阶次设置 v;y0jD#b
(kTXP_ +w|9x.&W &Y@#g9G
(\puf+ RaSz>-3d 探测器标签页中的输出 #iSFf jn9 ShF
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