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摘要 ^rHG#^hA \wyn 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 Q9Y$x{R& IvW%n(a8^
eU[f6OGqC ,KM-DCwcG
光栅详细说明 E3p3DM0F$ %[l*:05
Lc0U-!{G }qqE2;{ND •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 zOkIPv52~ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 2+Y8b:: MS_@
Xe 光栅阶次分析器设置 `|t X[': 72YL
•定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 W(C\lSE0 •可以指定各种输出选项。 tHvc*D •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 p1-bq: )yHJc$OlMx
V_>)m3zsL stb)Tl^ 常规设置 gK`o;` ^ Usa
ftL>oOz[ |GDf<\ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 -T
s8y •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 (c'=jJX Sxj _gn 单个阶次设置 rO_|_nV[
IjK
v7V.,^6+ Mp8FYPjZ •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 FXAP]iqo •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 6I)1[tU mt0ZD}E 单个阶次设置 sRM3G]nUr oAMB}a; !<ae~#]3P K2W$I H:.
L>,j*a_[ 4\#!Gv- 探测器标签页中的输出 A7/
R5p C< :F<[H
LC!ZeW35 z3RlD"F1 •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 np>RxiB^ •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 Ar+<n 2;[ HjX!a29Wf 极坐标图中的输出 )2U#<v^ 2'R&K rm-6Az V ]h
Dy] •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 Y|s?9'z •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 a^9-9* 4z~%gt74O] 极坐标图设置 :+Pl~X"_ Ik9 2='Z
~-"<)XPe F$Cf\#{3 •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 @Ju!|G9z/p •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 -n C
5 xJ;DkPh 阶次汇集输出 *@M7J if
S)
< t Ly0U')D: •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 91Cg
•用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 0@ -3U{Q /K#t$O4 阶次汇集设置 F-^#EkEGe hb6UyN
O_PKS$sz{ ^:b%QO
8:BPXdiK UUxDW3K 阶次汇集设置 \XG18V& x*)@:W!
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5vQ •在属性浏览器的视图选项卡中,用户可以设置其他视图参数。 zH0{S.3k •对于自定义视图,最重要的是颜色设置。 ]"Do%< |