切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 双11活动：领红包、购物券啦！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1466阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    7357
    光币
    30926
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 $ wGDk  
    `<IT LT  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 dzDh V{  
     $,ev <4I&  
    }B2H)dG^K  
    建模任务 8cn)ox|J[  
    Tj@}O:q7:  
    c^P8)g Pf  
    结果 xZjl_ b J  
    6GCwc1g  
    ,j wU\xo`C  
    结果 {<~0nLyJS  
    "sF&WuW|  
    >B$ZKE  
    结果 Saa# Mj`M  
    V^aX^;  
    9_'xq.uP  
    文件信息  mfOr+   
    xP 3_  
    r,=xI` XH  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表