-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-05-11
- 在线时间1260小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 8 %j{4$
f_!`~`04 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 4nH91Z9= E`fssd~ 3Jm'q,TC 建模任务 mRH]'dlD7 .w_`d'} P\4tK<P| 结果 huJq#5? R.H\b! dB+GTq=6f 结果 *ZR@z80i S<3!oDBs Gd-.E7CH! 结果 lo UwRz 'UVv(- O^Vy"8Ji}y 文件信息 rz}l<t~H '[ g)v iW@Vw{|i I
QQ:2987619807
|