切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 6.18京东红包优惠券快来领！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 864阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    5925
    光币
    23778
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 2`pg0ciX (  
    _)MbvF  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 tr<0NV62>  
     ; mwU>l,4  
    ~y>NJM>1  
    建模任务 ZDr&Alp)o  
    l {t! LTf;  
    ~ekV*,R"  
    结果 +K:hetv  
    /^':5"=o  
    .Lp\Jyegs  
    结果 :,Mg1Zf  
    `J-&Y2_/k  
    kmM- >v  
    结果 7i88iT  
    gUrXaD#  
    x%%OgO +>  
    文件信息 `:kI@TPI_C  
    Bn5$TiTcl  
    Pvz\zRq  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表