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    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 (tYZq86`  
    hEHd$tH06  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 n~UI 47  
     Ah1 9#0  
    t,r]22I,`  
    建模任务 D^4nT,&8  
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    结果 G%sq;XT61  
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    结果 Go{,< gm  
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    结果 t8-P'3,Q$  
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    ?JZ$M  
    文件信息 ]L~NYe9  
    (T*$4KGV  
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    QQ：2987619807
     
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