切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 959阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 k!&:(]  
    iecWa:('  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 <P- $RX  
      012Lwd  
    YV-j/U{&  
    建模任务 Y,'%7u  
    hqL+_| DW  
    ~Po<(A}`f  
    结果 guU=NQZ  
    M_Bu,<q^  
    )AI?x@  
    结果 RB [/q:  
    Apmw6cc  
    ?IILt=)<  
    结果 J smB^  
    T<P0T<  
    k=`$6(>Fz  
    文件信息 > VP5vkv=  
    6x/s|RWL1  
    L!,d"wuD  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表