切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 808阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5797
    光币
    23137
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 g|rbkK%SoE  
    Fl0 :Z  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 78-D/WY/X  
     ;ro%Wjg`}  
    A~MIFr/8  
    建模任务 X6<%SJC  
    XpU%09K  
    )7}f .  
    结果 1^_V8dm)  
    =9y&j-F  
    1O@ D  
    结果 z}&JapJ  
    }SZU'lYHoM  
    }6!*H!  
    结果 oZSPdk  
    7ajkp+E6  
    J2d 3&6  
    文件信息 %RX}sS  
    \GEf,%U<K  
    S @[B?sNj  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表