切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1028阅读
    • 0回复

    [分享]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6354
    光币
    25915
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-08
    摘要 +F; 2FD$  
    E3uu vQ#|  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 lMFR_g?r  
     A[Mke  
    ${ {4L ?7  
    建模任务 ,{_i{WV  
    W0gS>L_  
    U]3!"+Y1P  
    结果 9-42A7g^C  
    ,;g%/6X  
    T2e-RR  
    结果 yfG;OnkZ  
    u H[WlZ4  
    B.8B1MFm  
    结果 UQl?_ [G  
    7V"?o  
    A,~3oQV  
    文件信息 7Nq< o5  
    UleT9 [M  
    hfwJZ\_60  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表