一、电控柜的操作 w\!aKeP'
R!5j1hMN`
1. 开水泵、气源 N"Q-xK
!{jDZ?z{h
2. 开总电源 MqRpG5 .
T|[zk.8=E
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 %8s$l'Q;
q &#f #Ou
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 |bA\>%~
r Z%l?(
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 1$H*E~
rZEL7{
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 K_; '-B
X|++K;rtfE
1. 总电源 {FNmYneh?6
S}WQ~ e
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 6B'd]Fe
Fu].%`*xJ
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， D< % /:M
(=
#EJB1(
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 A%(t' z
/x\{cHAt8J
三、关机顺序 _9*3Mr)2N
g$+ $@~
1. 关高真空表头、关分子泵。 vr/*z euA
/{il;/Vj
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 h'%iY6!fA
7XrXx:*a5
3. 到50以下时，再关维持泵。 2" ~|k_
VEFUj&t;xW
<u`m4w
Npq K+GO
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 I 8M^]+c
*7 cc4 wGQ
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm w`ebZa/j
JlaT
-j
极限压力：5×10-4 Pa q.I
^I! u H1G
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
