一、电控柜的操作 Gg:W%&#
CPY|rV
1. 开水泵、气源 p_fsEY
P8 w56
2. 开总电源 :; La V
.%\||1F<
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 DGz}d,ie
Lm0q/d2|\X
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 s%m?Yh3
63t '|9^5
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 <K/iX%b?
NID2 $ p
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 5twG2p8
Iu;VFa
1. 总电源 62[_u]<Yub
$z5C+K@
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 MQy,[y7I
b=L|GV@$
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， /"R{1
=~dXP
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 ?fpI,WFu
,ob)6P^rw
三、关机顺序 9IacZ
? fM _Y
1. 关高真空表头、关分子泵。 :0o ]#7
78]( ZYJV
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 C6D
Eq>v
<c
[X^8
3. 到50以下时，再关维持泵。 0Yr-Q;O<f
)G#O# Yy
6Q*zZ]kg
ytfr' sr/
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 Xupwh5G2
=feVT2*
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm <bywi2]z
&iJ vkt
极限压力：5×10-4 Pa mP_c-qD
|
i*+N[#yp
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
