[转载]ZZSX-800 真空镀膜机使用方法 [复制链接]

一、电控柜的操作 mE'y$5ZxY  
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1.      开水泵、气源 @X4Ur+d  
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2.      开总电源 6!dbJ5x1  
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3.      开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 u~[HC)4(0  
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4.      开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 ig<Eyr  
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5.      观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 :i_818h!?[  
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二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 qYR $
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1.      总电源 dU1w)Y  
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2.      同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 {*,~,iq  
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3.      开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， F-[zuYGp  
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灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 '?=SnjMX  
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三、关机顺序 Yv k Qh{  
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1.      关高真空表头、关分子泵。 K]ob>wPf  
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2.      待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 /_<`#?5T(
 
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3.      到50以下时，再关维持泵。 DX GClH  
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ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 U/F<r3.`#  
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镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm cKuU#&FaV  
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极限压力：5×10-4 Pa q9cmtZrm  
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抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min

感谢分享

是蒸度还是溅射镀？

是啊，有段时间不操作就要忘！

太麻烦了！开惯了进口机，真怕有一天遇到国产机可能会不会开。

曾经用过真空镀膜机

谢谢我曾经用过真空镀膜机 lB!`,>"c  
操作基本一样！

自己先给自己顶起来~~希望对大家有所帮助