一、电控柜的操作 j?T>S]xOX
qrjSG%i~J7
1. 开水泵、气源 <%W&xk
f:y:: z
2. 开总电源
m5a'Vs
;8f)p9vE
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 +uj;00 D
XiV
K4sD8
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 :7X{s4AU 6
8|$g"? CU
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 YXmy-o >
\zBZ$5 rE
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 KY0<N 9{
XMykUr e |
1. 总电源 nv7)X2jja
m6H+4@Z-;(
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 ! ,{N>{I
(CtRU
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， k^cnNx
}6 u)wF5
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 k2 _y84;D
;% i-:<ac
三、关机顺序 a+CJ J3T-
p2fzbBt
1. 关高真空表头、关分子泵。 {zc*yV\
x9 t %
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 T-lP=KF =
=Lb(N61
3. 到50以下时，再关维持泵。 bE=[P}E
[#SO} '1n
0S
}\ML
+afkpvj8
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 }5 z!FXB
7|bBC+;(
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm u[4h|*'"|
NXz/1ut%
极限压力：5×10-4 Pa uINEq{yo
8/y8tMm]
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
