[转载]ZZSX-800 真空镀膜机使用方法 [复制链接]

一、电控柜的操作 M?[~_0_J  
Z4VNm1qs  
1.      开水泵、气源 ;:Kd?Tz$  
.=`r?#0  
2.      开总电源 CO5>Q o  
P,RdYM06  
3.      开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 a Byetc88/  
}}s.0Q  
4.      开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 **KkPjAO?  
\A%s" O/  
5.      观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 6C@W6DR3N  
zt3y5'Nk  
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 $C.;GUEQ  
qvHRP@  
1.      总电源 '.$va<  
+!6dsnr8  
2.      同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 S!oG|%VuB#  
?7|6jTIs  
3.      开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， b~Q8&z2  
$>*TO1gb+  
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 P\k5%  
5,~Ju>y*  
三、关机顺序 UB9n7L(@c  
Y(U+s\X  
1.      关高真空表头、关分子泵。
kD?lMA__  
aePLP  
2.      待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 TQ`4dVaf  
k.@OFkX.  
3.      到50以下时，再关维持泵。 K
.l7yBm  
}]BH
 "  
c7~>uNgJ  
/&jh10}H  
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 9\J6G8b>|I  
OF_g0Zu  
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm xhTiOt6l  
7FBaN7l  
极限压力：5×10-4 Pa E9]\ I>v  
|f}1bJE+  
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min

感谢分享

是蒸度还是溅射镀？

是啊，有段时间不操作就要忘！

太麻烦了！开惯了进口机，真怕有一天遇到国产机可能会不会开。

曾经用过真空镀膜机

谢谢我曾经用过真空镀膜机 , aJC7'(  
操作基本一样！

自己先给自己顶起来~~希望对大家有所帮助