一、电控柜的操作 j CY %|
ni<(K
0~
1. 开水泵、气源 DH=hH&[e(d
vI?, 47Hj+
2. 开总电源 0_/[k*Re
yu|>t4#GT
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 JT?h1v<H]
0]L"H<W
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 maZ)cW?
y7{?Ip4[
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 0J|3kY-n>
6Zo}(^Ovz
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 _aphkeqd
~Ei<Z`3}7"
1. 总电源 5G# n"}T
4| f*eO
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 <aw[ XFg
#Z #-Ht
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， #mT"gs
A,] h),b
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 hP h-+Hb
9sP0D
三、关机顺序 Pn Tu
=I<R! ZSN
1. 关高真空表头、关分子泵。 SM '|+ d
G*m 0\
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 965 jtn
|)&%A%m
3. 到50以下时，再关维持泵。 4*L_)z&4;
l}
/F *
H\
% 7%
J ,hCvm
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 ' QG?nu
M}a6 Vu9
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm {ax:RUQxy
!1k_PY5)
极限压力：5×10-4 Pa w]H->B29C
H|*m$| $,
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
