一、电控柜的操作 -X(%K6{
[X:mmM0gd
1. 开水泵、气源 0N.tPF}
<^VZ4$j
2. 开总电源 UD [S>{
'01H8er
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 yEt :g0Z \
lpkg( J#&
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 {O*<1v9<
<Ft6d
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 e47JL W&b
MP, l*wVd
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 Iw~3y{\
V Y8 p[`
1. 总电源 +]Of f^ s
z cItZP
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 b3e:F{n
^
Ltpd:c
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， ~,yHE3B\G
UwY <3ul
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 &9\z!r6 mc
J=>?D@K
三、关机顺序 QOIi/flK
Okca6=2"
1. 关高真空表头、关分子泵。 .EVy?-
vBsd.2t~
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 4 8M)A
Y- &r_s_~
3. 到50以下时，再关维持泵。 +NPk9jn
13G a #
cs`/^2Vf"#
rKq/=A vv
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 % *P59%
j~V@0z.
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm _lb ^
-yeQQ4b
极限压力：5×10-4 Pa R|H9AM
~E
* =0Wh@?0
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
