一、电控柜的操作 :x\[ aG9
t_3j_`
1. 开水泵、气源 .*zS2 z
JnBUW"
2. 开总电源 &R72$H9C8i
[MTd<@
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 |RiJ>/ MK\
QO'Hyf t
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 i?6& 4
uDDa >Ka#+
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 Y_'ERqQ
7=6:ZSI
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 {[o NUzcd
g<:Lcg"u
1. 总电源 _
>O P
RPz[3y
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 \HeJc:^
d/7fJ8y8
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， p&<Ssc
+vh|m5"7I7
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 S> yi D`v
n$/| r
三、关机顺序 &K9;GZS?
v"bWVc~H
1. 关高真空表头、关分子泵。 7* 5 B
jdxHWkQ
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 iE~!?N|a3
rQjk
3. 到50以下时，再关维持泵。 <>] DcA
E`IXBI
; p(h!4E
<|Td0|x
_q
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 pi"H?EHk
zKQ<Zr
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm !vSI"$xd
;,4*uU'vq
极限压力：5×10-4 Pa 7d: ]o>
:5t4KcQ
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
