一、电控柜的操作 :Pv*, qHE
V14B[|YM<
1. 开水泵、气源 o,P.& m{?
W
mm4hkf
2. 开总电源 5j-]EJb
> B>CB3 U
3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 1NcCy! +
U. @*`Fg
4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 IO/4.m-aN#
@e '5E^
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 E(i[o?
0V!l,pg
二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 Q 3y;$ "
M5trNSL&u
1. 总电源 "jaJr5Wv=y
2m~V{mUT!
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 w ` DW(hXJ
>G 'SbQ8
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， W.w)H@]7m
@l0|*lo%
灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 8Mbeg
,P
E[ ^ {w
三、关机顺序 gp-T"l
ZoB {x*IH
1. 关高真空表头、关分子泵。 oY =q4 D
.WQ+AE8Q
2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 :(_+7N[KA
x[Wwq =~
3. 到50以下时，再关维持泵。 1c@} C+F+
e hA;i.n
g5q$A9.Jl
$:of=WTY(
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 MJ\ eh>v&
$.:mai
镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm v-! u\
zY|klX})
极限压力：5×10-4 Pa M+!x}$ &v
!(t,FYeH
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
