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    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-05-25
    摘要 N,v4SIC@  
    G"!YV#"~  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 SPKen}g  
     |F5^mpU  
    W}B 4^l  
    概述 <}'hkEh{d=  
    tV2SX7N  
    0 [6llcuj  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 cyUNJw  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 {m5tgVi&  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 f M 8kS  
    ^Q8m) 0DP  
    !ZP1?l30  
    4/D ~H+k  
    衍射级次的效率和偏振
    .XM3oIaW  
    L^PZ\OC  
    ?#]K54?  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 1xK'T_[  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 wqo2iRql  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 N>i1TM2  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 ,-u | l  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 Bv"Fx* {W  
    SxXh N  
    #r 1 $=GY  
    光栅结构参数 : 4$Ex2  
    S8j;oJ2 d  
    .UbmU^y|  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 Ne/jvWWN  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 ><iEVrpN  
    •因此,选择以下光栅参数: X?$Eb  
    - 光栅周期:250 nm }|f\'S   
    - 填充系数:0.5 xD#PM |I  
    - 光栅高度:200 nm 'T[=Uuj"  
    - 材料n1:熔融石英 %kD WUJZ  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) KmV#% d  
    Y>!9P\Xe  
    W#'c6Hq2c  
    j-$aa;  
    偏振状态分析 G1B~?i2$ ?  
    q p|T,D%  
    ;}K1c+m!5V  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ] d| -r:4  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 y5?T`ts,#  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 mh44  
    n);2b\&  
    s9'g'O5  
    @FkNT~OZ  
    产生的极化状态 {d(PH7R  
    IgEg  
    H_;Dq*  
    F']Vg31c  
    Ndi'b_Sh\  
    其他例子 fh$U"  
    ^w2n  
    wd*T"V3  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 SiojOH  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 pvy;L[c  
    M; zRf3S  
    R2Tvo?xI7  
    3D\.S j%  
    光栅结构参数 ~2@U85"o  
    T'XAcH  
    f]T1:N*t  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 G+[>or}  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 R ;5w*e}?5  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 KtEM H  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 DJ} xD&G  
    ScGmft3A  
    !nVX .m9  
    光栅#1 { KwLcSn  
    nS?HH6H  
    3}g?d/^E3  
    ?0[%+AD hM  
    LDV{#5J  
    •仅考虑此光栅。 >jl"Yr#  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 ieBW 0eMi  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 (~Zg\(5#  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 Q k-y 0  
    }WI24|`zM  
    oE)c8rE  
    假设光栅参数: jn}6yXB  
    •光栅周期:250 nm *kyy''r  
    •光栅高度:660 nm |w~zh6~  
    •填充系数:0.75(底部) 5 @[%P=  
    •侧壁角度:±6° W\~ZmA.  
    •n1:1.46 SVq7qc9K?  
    •n2:2.08 3%EwA\V(  
    =j;o, J:(  
    光栅#1结果 -m'a%aog  
    ;k/0N~  
    SmR*b2U  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 ixKQh};5/  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 (OG@]|-  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    >^InNJd  
    |?8CV\D!  
    eHnC^W}|s  
    T}!7LNE  
    光栅#2 3J,/bgL5  
    STOE=TC>  
    ae!_u \$  
    :He:Bdk  
    GtGToI  
    •同样,只考虑此光栅。 A{+ZXu}  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 P{>T?-Hj  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 R2J3R5 S=[  
    假设光栅参数: ~Q%QA._R?  
    •光栅周期:250 nm q0c)pxD%`  
    •光栅高度:490 nm X4/r#<Da  
    •填充因子:0.5 1}ToR=  
    •n1:1.46 A1'IK.  
    •n2:2.08
    ^9{ 2  
    }<Me%`x"  
    光栅#2结果 wK\SeX  
    H+ M ~|Ju7  
    M]_vb,=1  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 15s?QSKj  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 9QX{b+}"e  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 A23Z)`  
    0>?mF]M  
    n&V(c&C  
    文件信息 \@F{Q-  
    rvfl~<G*  
    fsmH];"GD  
    jyT(LDsS  
    1)Ag|4  
    QQ:2987619807 c`jTdVD  
     
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