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摘要 +"PME1 cEEnR1 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 /B5rWJ2AS r,wC5%&Za 5[H1nC
@C 概述 py9`q7F HVNX"`]" gflO0$i •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 h BzZJ/jn •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 QMwV6cA •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 {N@tJ,Fh{ -9$.&D|
Bx0=D:j #x(3>} 衍射级次的效率和偏振 ^1X
6DH` hu:x,;`9H oC(.u ? •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 C40W@*6S2 •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 m<|fdS'@ •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 {$v>3FG •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 Y2(,E e2 •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 i[PksT#p
|/!RN[< v|2+7N:[; 光栅结构参数 EKzYL#(i /(Ryh6M `5Em : 8 M •此处探讨的是矩形光栅结构。 5>rjL; •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 S|T*-?| •因此,选择以下光栅参数: BU=Ta$#BZ - 光栅周期:250 nm -m Sf`1l0 - 填充系数:0.5 6KKQ)DNu_ - 光栅高度:200 nm +}NQ|y V - 材料n1:熔融石英 DK(8Ml:k - 材料n2:TiO2(来自目录) BV]$=
e' 42wZy|oqp y_{v&AGmgm .$ 5*v 偏振状态分析 `+GiSj8'G A7TV-eWG p.!p6ve){ •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 zc!q a"4yM •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 rqhRrG{L|& •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 '
y_2" }K9Ji]tOK:
Q=#!wWVP Lq{/r+tt/ 产生的极化状态 dt(Lp_&v wyv%c/WlS
q8Rep _kQOax{c/ YG>6;g)Zm 其他例子 2G}@s.iE .
"`f~s\G G3de<?K.[V •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 >TS=tK •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。
ex)U'.^ $TavvO%# );fPir?+ j4Y] 8 光栅结构参数 .KF(_
92 qim|= )|<g\>/ •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ]H=P(Z- •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 SW=%>XKkh •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 'jBtBFzP- •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 _H$Z}2g<z
ph@2[rUp UymhBh 光栅#1 {fu[&@XV 09Y:(2Qri
eEg>EI_U r8[Ywn<u >I9|N}I
•仅考虑此光栅。 jQ5FvuNOy •假设侧壁表现出线性斜率。 *AA78G| •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 +(vL~ •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 zM<yd#`yt8 &A~(9IV & |