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摘要 N,v4SIC@ G"!YV#"~ 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 SPKen}g |F5^mpU W}B4^l 概述 <}'hkEh{d= tV2SX7N 0[6llcuj •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 cyUNJw •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 {m5tgVi& •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 fM8kS ^Q8m)0DP
!ZP1?l30 4/D~H+k 衍射级次的效率和偏振 .XM3oIaW L^PZ\OC ?#]K54? •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 1xK'T_[ •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 wqo2iRql •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 N>i1TM2 •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 ,-u | l •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 Bv"Fx*{W
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N #r 1
$=GY 光栅结构参数 :4$Ex2 S8j;oJ2d .UbmU^y| •此处探讨的是矩形光栅结构。 Ne/jvWWN •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 ><iE VrpN •因此,选择以下光栅参数: X?$Eb - 光栅周期:250 nm }|f\'S - 填充系数:0.5 xD#PM |I - 光栅高度:200 nm 'T[=Uuj" - 材料n1:熔融石英 %kD WUJZ - 材料n2:TiO2(来自目录) KmV#%
d Y>!9P\Xe W#'c6Hq2c j-$aa; 偏振状态分析 G1B~?i2$ ? q p|T,D% ;}K1c+m!5V •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 ] d| -r:4 •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 y5?T`ts,# •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 mh44 n);2b\&
s9'g'O5 @FkNT~OZ 产生的极化状态 {d(PH7R IgEg
H_;Dq* F']Vg31c Ndi'b_Sh\ 其他例子 fh$U" ^w2n wd*T"V3 •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 SiojOH •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 pvy;L[c M;zRf3S R2Tvo?xI7 3D\.Sj% 光栅结构参数 ~2@U85"o T'XAcH f]T1:N*t •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 G+[>or} •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 R ;5w*e}?5 •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 KtEMH •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 DJ}xD&G
Sc Gmft3A !nVX .m9 光栅#1 {KwLcSn nS?HH6H
3}g?d/^E3 ?0[%+AD hM LDV{#5J •仅考虑此光栅。 >jl"Yr# •假设侧壁表现出线性斜率。 ieBW 0eMi •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 (~Zg\(5#
•为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 Qk-y0 }WI24|`zM oE)c8rE 假设光栅参数: jn}6yXB •光栅周期:250 nm *kyy''r •光栅高度:660 nm |w~zh6~ •填充系数:0.75(底部) 5@[%P= •侧壁角度:±6° W\~ZmA. •n1:1.46 SVq7qc9K? •n2:2.08 3%EwA\V( =j;o,
J:( 光栅#1结果 -m'a%aog ;k/0N~ SmR*b2U •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 ixKQh};5/ •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 (OG@]|- •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 >^InNJd |?8CV\D! eHnC^W}|s T}!7LNE 光栅#2 3J,/bgL5 STOE=TC>
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\$ :He:Bdk GtGToI •同样,只考虑此光栅。 A{+ZXu} •假设光栅有一个矩形的形状。 P{>T?-Hj •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 R2J3R5S=[ 假设光栅参数: ~Q%QA._R? •光栅周期:250 nm q0c)pxD%` •光栅高度:490 nm X 4/r#<Da •填充因子:0.5 1}ToR= •n1:1.46 A1'IK. •n2:2.08 ^9{ 2 }<Me%`x" 光栅#2结果 wK\SeX H+ M~|Ju7 M]_vb,=1 •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 15s?QSKj •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 9QX{b+}"e •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 A23 Z)` 0>?mF]M
n&V(c&C 文件信息 \@F{Q- rvfl~<G*
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