切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1003阅读
    • 0回复

    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-25
    摘要 y( 22m+B  
    x7^VU5w#  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 O;V^Fk(  
    ^z{Xd|{"  
    .>[l@x"  
    概述 xr@;w8X`^  
    7G;1n0m-T  
    I0Allw[  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 >eo[)Y  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 bx{njo1Mr  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 >@cBDS<6R  
    bc~WJ+  
    }Rh%bf7,  
    CMbID1M3  
    衍射级次的效率和偏振
    1,$"'lKwt  
    [_3&  
    nsXG@CS:  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 8rlf9m  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 DCLu^:|C"  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 4VeT]`C^h  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 OvwoU=u  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 +$VDV4l  
    J?dz>3Rhx9  
    -~xQ@+./  
    光栅结构参数 )eZ}Kt+  
    hWFOed4C  
    n/*" 2  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 <*^|Aj|#  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 v5pkP  
    •因此,选择以下光栅参数: GhcH"D%-  
    - 光栅周期:250 nm <o3I<ci6  
    - 填充系数:0.5 g{sp<w0  
    - 光栅高度:200 nm [:(O`#  
    - 材料n1:熔融石英 sUmpf4/  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) `W_&^>yl  
    we!w5./Xm  
    rr(kFQ"  
    XY9%aT*  
    偏振状态分析 %uV,p!| )  
    eNi#% ?=WB  
    Eul3 {+]  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 Y?0x/2<  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 6|n3Q$p  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 6(htpT%J  
    R)$]r>YZF  
    ;w]1H&mc*A  
    m8F \ESL  
    产生的极化状态 v^Fu/Y  
    }QQl.'  
    *sB'D+-/  
    a_ [+id  
    bf1$:09  
    其他例子 ?z-nY,'^uq  
    vR5X  
    {&D$U'ye  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 *KiY+_8>  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 :@E^oNKa0  
    :2NV;7Wke6  
    %" mki>  
    U1/ww-!Z  
    光栅结构参数 'x? |tKzd  
    fU%Ys9:wU  
    Gf.xr%mUZr  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 jVGAgR=[G  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 %RF$Y=c'C  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 ;QCGl$8A  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 47*2QL^zj  
    vZS/? pU~~  
    ?/hS1yD;  
    光栅#1 uX{g4#eG  
    Yh"9,Z&wiR  
    =x(k)RTDu  
    )w&|VvM )L  
    (M{wkQTO  
    •仅考虑此光栅。 m432,8 K3r  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 *M:p[.=1  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 g}hNsU=$5~  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 + >:}   
    i88`W&tI{  
    ND=JpVkvZ?  
    假设光栅参数: iny/K/5bf  
    •光栅周期:250 nm ~=HPqe8  
    •光栅高度:660 nm _Fv6S}~Q  
    •填充系数:0.75(底部) .ty2! .  
    •侧壁角度:±6° (8o;Cm  
    •n1:1.46 J?Q@f  
    •n2:2.08 /J!hKK^k  
    }waZGJLN  
    光栅#1结果 `2V{]F  
    ErsJWp  
    tId,Q>zH  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 g?}h*~<b  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 &,l7wK  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    " ~6&rt  
    ix?Z:pIS0  
    &lzCRRnvt  
    UN;U+5,t  
    光栅#2 ^n4aoj  
    hmb=_W  
    ;r]! qv:  
    +[S<"}ls7  
    l#+@!2z  
    •同样,只考虑此光栅。 KiC,O7&<  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 L-q)48+^k  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 Z.aeE*Hs$  
    假设光栅参数: v6x jLP;O  
    •光栅周期:250 nm NP~3!b  
    •光栅高度:490 nm ,L>{(Q)  
    •填充因子:0.5 b1=! "Y@  
    •n1:1.46 *8%uXkMm  
    •n2:2.08
    NJoHrhC='  
    l}g_<  
    光栅#2结果 a~-k} G5  
    )B~{G\jS  
    q="ymx~  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 >%t5j?p  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 y=SpIbn{  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 7vGAuTfi/@  
    =G'J@[d{d  
    6Ol)SQE,  
    文件信息 j \ #y  
    n4+ ^f~Y  
    i5*/ZA_  
    LR"7e  
    Gh%dVP9B@P  
    QQ:2987619807 [Mv'*.7  
     
    分享到