切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1087阅读
    • 0回复

    [分享]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6511
    光币
    26700
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-19
    摘要 u#8J`%g  
    D<rO:Er?*a  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 H<M ggs-  
    'oZ/fUl|7  
    O?8^I<  
    8 oHyNo  
    建模任务 \8uPHf_  
    ];waK 2'2  
    L%8>deE>;D  
    概观 gY], (*v  
    5#zwd oQ  
    n% w36_  
    光线追迹仿真 `0rEV _$  
    rO% |PRP  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 ?-,v0#  
    ,.` ";='o  
    •点击Go！ "HW~|M7>(  
    •获得3D光线追迹结果。 &0O1tM*v  
    `zHtfox!  
     5=g{%X  
    "Hmo`EB0  
    光线追迹仿真 yV :DR  
    t_ &FK A  
    rUkiwqr~E  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 .J3lo:  
    •单击Go！ ZD1UMB0$4  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     !!ZNemXct$  
    +/q%29-k  
    hq/k}Y  
    65RWaz;|  
    场追迹仿真 -IJt( X|  
    HoGrvt<:.P  
    z2og&|uT  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 8^;[c  
    •单击Go！     .:c^G[CQ^9  
    1i9}mzy%  
    G*e/Ft.wf8  
    6}2vn5 E//  
    场追迹结果（摄像机探测器） cS,(HLO91  
     y}ez js  
    Y_S^B)y  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 yowvq4e  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 M cE$=Vv  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 UNq!|  
    `!5 ZF@Q>e  
    L #p-AK  
     G@h6>O  
    场追迹结果（电磁场探测器） -G]\"ZGi  
    ofl3G {u  
    -O3^q.   
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     +Tde#T&[  
    \?h +  
    M[D`)7=b  
    文件信息 JAen= %2b  
    |vA3+kG  
     83:m 7;  
    '@RlKMnN  
     <WtX> \]l(  
    QQ：2987619807 x$I~y D  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表