切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1088阅读
    • 0回复

    [分享]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    6511
    光币
    26700
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-19
    摘要 DksSD  
    %wn|H>  
    高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 [hSE^ m  
    a@$U?=\e  
    7K>FC T  
    Y0fX\6=h  
    建模任务 AD^9?Z  
    Z(Fsk4,  
    e@"1W  
    概观 kKFmTo   
    mk.:V64 >;  
    aRPgo0,W1  
    光线追迹仿真 WW82=2rJ9  
    /{Ksi+q  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 pt.0%3  
    DP**pf%j  
    •点击Go! n=!]!'h\:  
    •获得3D光线追迹结果。 NPy{ =#k4  
    l&2A]5C  
    (~}IoQp>  
    }UNRe]ft$  
    光线追迹仿真 . #`lW7  
    F!OVx<  
    5m{!Rrb  
    •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 aTF~rAne<  
    •单击Go! c+chwU0W  
    •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
    n:d]Z2b  
    9,wd,,ta  
    ovJ#2_  
    |:Gz9u+  
    场追迹仿真 rKEi1b  
    '0)a|1,  
    {E`[ `Kf  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ?n<b:oO  
    •单击Go!
    d7s? c  
    p.^glz>B  
    mpfc2>6Il.  
    C%#=@HC  
    场追迹结果(摄像机探测器) t"Ok-!c|  
    ^*(*tS|M  
    17g\XC@ Cl  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 cr Hd$~q,  
    •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 [mX/]31  
    Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 .v;$sst5y  
    $/^DY&  
    d\&{Ev9v  
    %&m/e?@%I  
    场追迹结果(电磁场探测器) ZYDLl8  
    nI4Kuz`dF  
    @b[{.m U  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
    )N h67P3X"  
    :ad  
    W FVx7  
    文件信息 |>o]+V  
    :L gFd  
    .y'iF>QQ\  
    X+zFRL%  
    5|S|S))_Q  
    QQ:2987619807 iq'hel  
     
    分享到