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摘要 .+sIjd `PfC:L 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 ML-g"wv >E3OYa?G
(B5G?cB9 TzJN,]F!M 本用例展示了...... wW~2]*n •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: (X/JXu{ - 矩形光栅界面 t|%ul6{gz - 过渡点列表界面 |EunDb[Y - 锯齿光栅界面 R}FN6cH - 正弦光栅界面 3V]a "C
•如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 =8-e1R/ tEl_A"^e 光栅工具箱初始化 Zh*I0m •初始化 rcCMx"L= - 开始 vHmn)d1pl 光栅 LJ?7W,? 通用光栅光路图 hE${eJQ| U •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, \Uiw:
, 可直接选择特定的光路图。 Rd/!CJ@g S3w? X
+}]xuYzo qW*)]s)z 光栅结构设置 ?~"RCZ[;.f •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 u56cT/J1
K2JS2Y] •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 qmhHHFjQ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 \TjsXy=:) "Z
<1Msz
HUH=Y; P:G^@B3^ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 [LE_lATjU K7|BXGL8r8 堆栈编辑器 U<$ |ET' •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 @C#lA2(I4 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 Dcq^C LPY $|AxQQ%f
h1xYQF_`Z TeHR,GB 矩形光栅界面 bTJ7RqL NeYj[Q~xy •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ^c*'O0y[D •此类界面适用于简单二元结构的配置。 OvkY zI` •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 c(fwl`y!x •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 n=`UhC •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 ebf0;1! FKPI{l
Xh5
z8 }0:=)e 矩形光栅界面 j:g/[_0s •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 u?!p[y6 •所选界面在视图中以红色突出显示。 rLVS#M#&e>
^vUdf.n9 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Zi^&x6y^ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 yA~W|q(/V ZDlMkHJ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Vx'_fb?wap •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 Y`%:hvy~ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 Q!c*2hI I_Q '+d ^XV$J- nCt:n}+C7
RX'(
l l78zS' 矩形光栅界面参数 Y>r9"X|&H •矩形光栅界面由以下参数定义 dLLF#N - 狭缝宽度(绝对或相对) N/(&&\3 - 光栅周期 AkGCIn3 - 调制深度 E1=]m •可以选择设置横向移位和旋转。 M^a QH/=:" ~Os~pTo
2%QY~Ku~ +PjH2 高级选项和信息 K*>lq|iu •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 bEbnZ<kz* •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 S~hNSw(- •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ))<3+^S0V\ (evanescent orders)。 +`zM^'^$ •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 Pn0V{SJOJ% •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 ~u3E+w jvA]EN6$;~ D3$}S{Yw1 88G Q F •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 T0i_X(_ •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 kP3'BBd, •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 U]O7RH •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 s/8>(-H# y8VLFe; d
n3sh< L"9,K8 过渡点列表界面 {x
s{ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 Ry8@U9B6,t •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 QOMh"wC3 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 j"hfsA<_I h5>JBLawQP m
z) O 过渡点列表参数 /2 ')u| •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 1d,;e:=j •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 \^i/: a2/!~X9F $ba3dqbCW B/7c`V •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 %Sf%XNtu •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 A46Xei:Ow •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 jw]~g+x#$ ?*){%eE
=y.? =`" sz9C':`W 高级选项及信息 &N.D!7X •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 w-LMV>+6| |5^tp
9q(*'rAm -AWL :< 正弦光栅界面 LR|L P)I •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 :A9G>qg •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 hi^@969 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: d ]R&mp|' - 脊的材料:基板的材料 p'tB4V qT - 凹槽材料:光栅前面的材料 O0[.*xG hE@s~~JYd eD2u!OKW! 9)}Nx>K 正弦光栅界面参数 F l@%? - 正弦光栅界面也由以下参数定义: u czOSd •光栅周期 c0h:Vqk- •调制深度 [<CIh46S. - 可以选择设置横向移位和旋转。 s~V%eq("} - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 ziPE(B Q4i@y6z V/"P};n OiAP%7i9 高级选项和信息 5F&xU$$a- •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 ~?`V$G=?, 0<(F
8
IY jt*p5 KElzYZl8 高级选项及信息 V}_M\Y^^; •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 IWc?E M`{~AIqd( |:Q`9; 锯齿光栅界面 XpS].P9 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 `0'Bg2' •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 bLSXQStB •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: bruM#T@} - 脊的材料:基板的材料 NFxs4:]
RT - 凹槽材料:光栅前面的材料 ':Avh|q3N lM/)<I\8
_ljdo`j#N OZ2YflT 锯齿光栅界面参数 :56f •锯齿光栅界面也由以下参数定义: />FgDIO - 光栅周期 =GGt:3Kx- - 调制深度 j6@5"wx •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 afE`GG- •可以选择设置横向移位和旋转。 iPoh2 •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 vMT:j ii,/omn: Wg \`!T yhwwF
n\ 高级选项和信息 N i\*<:_ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 DSb/+8KT #*r u* 探测器位置的注释 e;_ cC7 关于探测器位置的注释 '(N -jk •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 <S/`-/=2 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 B-EVo&. •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 !>olD_ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 <Vu/6"DP •可以避免这些干涉效应的不良影响。 q].n1w[ _@-D/g Gn+3OI" 文件信息 5yC$G{yV 5 *w
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!+Ia#( 8+gti*C?\ N^u,C$zP9C QQ:2987619807 8`edskWrU
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