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摘要 F/IXqj g
VplBF7{ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 C%9;~S %l(qyH)*
u`O
xY Om,+59ua* 本用例展示了...... odD^xg"L •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: =rMT1 - 矩形光栅界面 a4Qr\"Qm - 过渡点列表界面 Lo5itW - 锯齿光栅界面 -1;BwlL - 正弦光栅界面 Az8>^|@ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 @7e h/|Y, s{4|eYR 光栅工具箱初始化 N0,wT6. •初始化 [#.E=s+& - 开始 *Fi`o_d9[` 光栅 %QCh#v=ks 通用光栅光路图 >7[.
{Y •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ^2rNty,nH 可直接选择特定的光路图。 S!j=hj@qW wC+_S*M-K
L}T:Y). 1JMEniB+9 光栅结构设置 *7u~` •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 c=p`5sN)
Soy!)c] •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 ACxOC 2\n •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 SSEK9UX DK;p6_tT
UE3(L
^ >~8;H x].d •例如,选择第一个界面上的堆栈。 z-$ bce9* DN3#W w2[r 堆栈编辑器 :L*"OT7(6 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 aw&:$twbM •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 %5Hsd 9JYrP6I!_
>77N5>]e Cgq/#2BM 矩形光栅界面 (99P9\[p azF|L"-RP •一种可能的界面是矩形光栅界面。 t{Ck"4Cg •此类界面适用于简单二元结构的配置。 A{3Aw| ; •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 #}*w &y •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 /T1zz2l~ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 |:BKexjHL lO3W:,3_a
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soKe <+I^K 7
矩形光栅界面 *5?a%p •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 INtt0Cm9" •所选界面在视图中以红色突出显示。 ~b;l08 <
d*Q:[RUf, •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 8s(?zK\ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 feU]a5%XZ [!1z;
/ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 #2l6'gWE0 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 &9X`tCnL •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 f'P}]_3( AT Dm$ * '?7th>pC =.NZ{G
8fA9yQ8 &Uq++f6 矩形光栅界面参数 O92a*) •矩形光栅界面由以下参数定义 'NCxVbyYD - 狭缝宽度(绝对或相对) Q M7z
. - 光栅周期 W _j`'WN/ - 调制深度 C/V{&/5w •可以选择设置横向移位和旋转。 ?g9mDe;k LoZ8;VU
hDaI@_86 $Gt1T[:QUX 高级选项和信息 nn><
k" •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 ZfalB •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 \|^fG9M~ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 7
+A-S9P) (evanescent orders)。 Zkl:^!* •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 $jMU|{ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 'A@[a_ KQ'fp:5|/@ Ch-56
c*MSd •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 F jdh&9Zc •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 DCS$d1 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 5<Mht6"H •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 $tvGS6p> XgY( Vv Q)N$h07R FkJa+ZA 过渡点列表界面
/;LteBoY •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 XP'Mv_!Z •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ^pz3L'4n •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。
2{naSiaq 5MY+O\ A6w/X`([O 过渡点列表参数 Ht^MY •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 B@!a@0,,_ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 _i [.5 $s2Ty1 *UVjN_na5 t6
:;0[j •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 *8k`m)h26 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 JtYc'%OF •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 6_/oVvd $$YLAgO4
!fdni}f) c)Ft#vzg&e 高级选项及信息 B.fLgQK0 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 PHRc*G{ =y >P>&sI
Gjuc"JR7 $hB;r 正弦光栅界面 e
#l/jFJU •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 J{72%S •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 qg#WDx / •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: R`=IYnoOA - 脊的材料:基板的材料 jeb<qi> - 凹槽材料:光栅前面的材料 AEkgm^t.{ JA7HO| 9[5NnRv$P fX G+88:2 正弦光栅界面参数 G[u_Uu=> - 正弦光栅界面也由以下参数定义: z.23i^Q •光栅周期 GV)#>PL •调制深度 #FF5xe - 可以选择设置横向移位和旋转。 :0ND0A{K: - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 :j$K.3n AF
D/
J oMda)5 & jM
J[6qj 高级选项和信息 a AYO(;3 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 P,AS`=z FsZM_0>/s
L.(T"`-i ] d| -r:4 高级选项及信息 `(aU_r= •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 GSV, eG# (9 Kbx (^f12 锯齿光栅界面 # l~d •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 dv4)fG]W;_ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 mquna"}N •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: lsW.j#yE! - 脊的材料:基板的材料 =Z/'|;Vd_x - 凹槽材料:光栅前面的材料 @&+h3dV.V `6j?2plZ
4M(w<f\5F h0n0Dc{4 锯齿光栅界面参数 3]'=s>UO>^ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: f&`v-kiAn= - 光栅周期 {114
[ - 调制深度 w ;H •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 UE7P =B •可以选择设置横向移位和旋转。 %H<w.]> •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 K1O/>dN_\O 9 )B >|#\ (#c5Q& |