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摘要 <%xS{!'} wi9DhVvc 0 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 QO"oEgB`+Z /Q,{?';~
Gpm{m:$L *~m+Nc`D,N 本用例展示了...... &1+X\c+tb •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: &/Ro lIHF - 矩形光栅界面 Bo<>e~6P - 过渡点列表界面 D:Q
21Ch - 锯齿光栅界面 83;NIE; - 正弦光栅界面 I^oE4o •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 )c l5B{1P p>_;^&>& 光栅工具箱初始化 sAg Kg=) •初始化 sXd8rj:o - 开始 SP|<Tny 光栅 mxb06u_ 通用光栅光路图 spasB=E •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, M$0u1~K 可直接选择特定的光路图。 YeF1C/'hy 0IQ'3_
odg<q$34 Fg Lrb# 光栅结构设置 F:6SPY
y •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 0* /{4)r
',GS#~ •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 %,hV[[ @. •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 54rkC/B> !QDQ_
88c<:fK ICAH G7 , •例如,选择第一个界面上的堆栈。 4%1D}9hO6 l4TpH|k 堆栈编辑器 *>VVt8*Et •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 lV.F,3 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 %Th>C2\ SZJ$w-<z
%lg=YGLQB $.Q$`/dF 矩形光栅界面 \,J/ r! 8ssJ<LP •一种可能的界面是矩形光栅界面。 RxMH!^ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 >Z1q j> •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 P>9aI/d9 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 [!%![E •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 S$2b>#@UJ [frq
'c
(%O@r!{ *Z_C4Tj 矩形光栅界面 Q:ezifQ •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 P;pl,~ •所选界面在视图中以红色突出显示。 3=W!4
IF]lHB •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 yjJ5P`j] •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 g#]wLm# eHDef •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 p _d:eZ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 QMEcQV> •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 +nQw?'9Z BcD&sQ2F G|\^{5 -R{V-
nk3y"ne7 1".v6caW 矩形光栅界面参数 8BvonYt=8 •矩形光栅界面由以下参数定义 |AC1\)2tT - 狭缝宽度(绝对或相对) )G7=G+e; - 光栅周期 m~uOXb - 调制深度 f@co<iA •可以选择设置横向移位和旋转。 HNL42\Kz! MQKfJru7
kp\\"+,VC _{jjgQJ5 高级选项和信息 0| ;
.6\ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 ![f ![l •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 _w*}\~`=^ •可以设置总级次数或衰逝波级次数 pu,?<@0YK (evanescent orders)。 wW>)(&!F •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 g:0#u;j^7 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 US <'G~8tA%v `yF`x8 5[n(7;+gw •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 xJ2*LM- •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 $wYFEz •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 ^9-&o •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 .Yw'oYnS 2Hum!p:1 ,sGZ2=M}J ?uMQP NYs 过渡点列表界面 E\; ikX&1 •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 moVbw`T •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 w{k)XY40sW •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 &F}"Z(B<wK %6--}bY^ .@-$5Jw 过渡点列表参数 KsrjdJx, ' •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 jgS%1/& •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 KgN)JD> nADX0KI <)*2LBF@]
lWm' •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 LW:o8ES33 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 @E.k/G!~Nb •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 ~:km]?lz0 ,#W
JY!l!xH(6 U:F/iXz 高级选项及信息 #0 6-: •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 m*X[ Jtr .WQ<jZt>
:fk2]{KTL n41@iK2l 正弦光栅界面 6dAEM;$_Z •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 ?X?&~3iD% •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 d2s OYCKe •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: >u%]6_[ - 脊的材料:基板的材料 }IEbyb - 凹槽材料:光栅前面的材料 p$7#}s 3?E8\^N\n ;V<iL? \Ep0J $ #o 正弦光栅界面参数 7j7e61
Ax - 正弦光栅界面也由以下参数定义: /MQU
>& •光栅周期 kX:tc •调制深度 ;O 0+, - 可以选择设置横向移位和旋转。 Nx#4W1B[`H - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 ,7,g%?_P %7`f{|. drwgjLC+ ;d$qc<2uA 高级选项和信息 p
(FlR?= S •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 p1c3Q$>i FZiW|G
A~nf#(!^] Z['\61 高级选项及信息 gfU-"VpHE •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 gqib:q;r \RQ='/H* c^8o~K>w84 锯齿光栅界面 ydv3owN •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 {5*|C-WWtG •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ZV}X'qGaq •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: _B2V "p - 脊的材料:基板的材料 R6 XuA(5 - 凹槽材料:光栅前面的材料 z<gu00U7 TaJB4zB
9@$,oM= +&KQ28r 锯齿光栅界面参数 Q-rL$%~=' •锯齿光栅界面也由以下参数定义: BcA31% - 光栅周期 /W#O + - 调制深度 !e#xx]v3 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 hM@\RPsY •可以选择设置横向移位和旋转。 mxSKG>
O •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 !k$}Kj)I ngulc v O gmO&cE A{o 'z_zC 高级选项和信息 i54md$Q^ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 Ja]oGT=e *5%*|> 探测器位置的注释 VVWM9x 关于探测器位置的注释 P];JKE% •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 jn9 ShF •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 XM
Vq-8B0 •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 z/ & |