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摘要 neu<zSS 5yt= ~ 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 Eg1TF oIWl QaLaw-lx
O9N!SQs80 'eBD/w5U 本用例展示了...... q1xSylE •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: }ACg#;>/+ - 矩形光栅界面 -cU bIbW - 过渡点列表界面 T\.~!Q - 锯齿光栅界面 \3ydNgl - 正弦光栅界面 g4q{
] •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 ;g8v7>p *\#<2 QAe 光栅工具箱初始化 [L-wAk:Fb •初始化 ^7>~y( - 开始 A?04,l]y 光栅 4P?`<K' 通用光栅光路图 f%n ;Z}= •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, eXsp0!v 可直接选择特定的光路图。 -}4CY\d6' HABUf^~-
P%&|?e~D^ T]Q4=xsv 光栅结构设置 =#4>c8MM •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 aC' 6
eK(k;$4\^Y •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 v B~VJKD •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 ZYY~A_C wKdWE`|y
%VB4/~ " +fM8 •例如,选择第一个界面上的堆栈。 7Oe$Ou }s?w-u+(c6 堆栈编辑器 VDv.N@)7 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 *GYLj[ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 o3Yb2Nw _~tF2`,Y_p
5{+>3J -4Dz98du 矩形光栅界面 =3% GLj qYVeFSS •一种可能的界面是矩形光栅界面。 2s,cyCw& •此类界面适用于简单二元结构的配置。 z@ZI$.w •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 vq9O|E3 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 s^6,"C •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 uj\&-9gEi {4SaSv^/
};}N1[D Iw?f1] 矩形光栅界面 sRBfLN2C •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 WoNJF6=? •所选界面在视图中以红色突出显示。 6b2h\+AP
1NZpd'$c •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 IDF0nx] •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 90F.9rh =n=!s{A:t •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 bUy!hS;s •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 SR.xI:}4 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 H/ e jO_{ S{F\_'% K&{ _s $L|+Z>x
v5 p`=Z@% ldU ><xc2 矩形光栅界面参数 3HR)H-@6@7 •矩形光栅界面由以下参数定义 Fsq)co - 狭缝宽度(绝对或相对) opn6 C ) - 光栅周期 (6H7?nv - 调制深度 8?'=Aeo •可以选择设置横向移位和旋转。
!jEV75 bM_fuy55Op
o[JZ>nm N|"q6M!ZL 高级选项和信息 vd^Z^cpip •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 X-bM`7'H •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 o,_F;ZhE •可以设置总级次数或衰逝波级次数 <WmjjD (evanescent orders)。 bx6=LK •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 e{4e<hd •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 UWqX}T[^ WHjJR .2rpQa/h pnuwjU- •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 Rm,>6bQx •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 p}I\H
^"8+ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 Q>\DM'{:4 •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 FW3E UC)P 6_rgRo& e8_EB/)_Z F!?f|z,/ 过渡点列表界面 |z@AvS[ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 y fuH •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 v3n
T@ra' •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ]<%NX
$9\ j+lcj&V# /{[tU-}qJ 过渡点列表参数 F$|d#ny •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 )"tM[~e` •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 3T 0'zJ2f wLfH/J V!@6Nv h<CRW- •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 DV({! [EP •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 hSps9*y •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 K-c>J
uv&, z^/9YzA!6
gCL}Ba U:
< 高级选项及信息 DbR!s1ux •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 UH(w, R` RA+M.
gHXvmR" 0E3;f;'X 正弦光栅界面 8{&.[SC7 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 vQoZk, •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 p]s)Xys •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: i}|jHlv - 脊的材料:基板的材料 pma=* - 凹槽材料:光栅前面的材料 PCH$)F4^ = 'e_9b\K ]-+l.gVFW ka`}lR 正弦光栅界面参数 I&&;a. - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 04Uyr;y •光栅周期 N
/;Vg^Wx •调制深度 XVKRT7U - 可以选择设置横向移位和旋转。 VhnIr#L+ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 5@W63!N f&Sovuuh 0d0ga^O &g8 |