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摘要 1O2h9I$bk <
mK 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 '}+X,Usm [k~+(.2I
.x!7 z3Y)- 本用例展示了...... B~;LBgpp •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: BgWz<k}5M - 矩形光栅界面 C6'*/wq - 过渡点列表界面 2 Z`$ - 锯齿光栅界面 6G<Hi"I - 正弦光栅界面 HS`bto0* •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 \8*,&ak% tM$0 >E 光栅工具箱初始化 :uwRuPI •初始化 SZ2q}[o`R - 开始 380-> 光栅 ;WS7. 通用光栅光路图 \ ~LU 'j •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, 5'kTe= 可直接选择特定的光路图。 @b!R2Yq :Q
r7:$S^
o;VkoYV {|5$1v 光栅结构设置 Wt+y-ES •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 ;V"yMWjc
*mQDS.'AB@ •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 ) qyx|D •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 A:.IBctsd {rb-DB-/5M
G{f`K^ :%uyy5AZ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 V"7<[u]K| ,dZ H$ 堆栈编辑器 }r~v,KDb •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 /G)KkBC •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。
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7BF+*T 6t_ 3%{
!k:zLjtp @7Rt4}g 矩形光栅界面 3%[)!zKv 5xMA~I 0c •一种可能的界面是矩形光栅界面。 T+K` ^xv_L •此类界面适用于简单二元结构的配置。 UU.mdSL •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 j$|j8? •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 -Ap2NpZ"t •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 Ho )t=qn 5DkK'tCI9Z
E?Qz/*'zv d^Zo35X 矩形光栅界面 Iuu<2#gb8" •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 ~jp!"f •所选界面在视图中以红色突出显示。 %UUp=I
3^02fy •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 5U-p'c9IC •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 *or2 yfM>8"h@ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。
ko=aa5c •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 LsJs Q
h •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 nc3ltT,R VQy9Y K2x6R 60hNCVq%
R<n8M"B 'w` SBYQ5 矩形光栅界面参数 VM-qVd- •矩形光栅界面由以下参数定义 m4Phn~>Gg - 狭缝宽度(绝对或相对) 6\,DnO - 光栅周期 ,zAK3d&hj - 调制深度 }zkL[qu; •可以选择设置横向移位和旋转。 >W`S(a Mn :"M9*XeHO
935-{h@k $i,6B9 高级选项和信息 jzl?e[qPA •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 pau*kMu^} •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 a&$Zpf!! •可以设置总级次数或衰逝波级次数 Smq r
q (evanescent orders)。 6Gs{nFw •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 Y%78>-2L •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 p!HPp Ef+# Rr o?q $Cz1C c=b+g+*xd •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 t[]['Iosd •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 2wB.S_4"-< •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 opm?':Qst •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 zW%>"y ?!bd!:(N FovE$Dj] 4=u+ozCG 过渡点列表界面 ;Ay>+M2O •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 hMNJ'i} •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 zWy
,Om8P •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 mSU@UD|' FWuw/b$ kcLj Kp 过渡点列表参数 fA"<MslKLK •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 7n\ ThfH{ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 dv"as4~% gO+\O }czsa_ @)o0GHNP •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 uzHT.iBn •此处,可以定义x方向和y方向的周期。
z'7#"D •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 n4^~gT%b5] Ee{ `Y0
D,c!#(v cK 9 0X?1 高级选项及信息 qOW#Q:T •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 5,S,\O9>X k) "ao2iXL
cb+l"FI7 Z+NF(d 正弦光栅界面 t2"@Ps&1| •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 EbCIIMbe" •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 8QT<M]N% •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: E [S?
b=^ - 脊的材料:基板的材料 ):3MYSqX - 凹槽材料:光栅前面的材料 B9YsA?hg 92ZWU2" w'A tf :d.1;st 正弦光栅界面参数 XcOA)'Py - 正弦光栅界面也由以下参数定义: BU!#z(vU •光栅周期 4avc=Y5 •调制深度 a>U6Ag< - 可以选择设置横向移位和旋转。 88
{1mA,v - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。
5Q`RTn% auRY|j ZT6V/MD7T. J7:9_/e0T 高级选项和信息 H#35@HF*o •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 N&"QKd l YJd8l>mz
k=?^){[We P'sfi>A 高级选项及信息 T'.[F •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 A#(`9 L x.jrF|& FqwIJ|ct 锯齿光栅界面 -^Xy% •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 .$Y?
W< •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 s O=4IBE •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ZZ("-#? - 脊的材料:基板的材料 i
E9\_MA - 凹槽材料:光栅前面的材料 jJia.#.Ze ?KB@Zm+#~
=p q:m b,Ke>.m 锯齿光栅界面参数 ox[ .)v •锯齿光栅界面也由以下参数定义: oSY7IIf%L - 光栅周期 y@3Q;~l, - 调制深度 Q4?EZ_O •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 d`Oe_< •可以选择设置横向移位和旋转。 !MoOKW •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 qBYg[K> mw4JQ\ *g_w I%l hsz^rZ 高级选项和信息 :H?f*aw •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 'w.}2( j0x5@1`6G 探测器位置的注释 & fu z2xv 关于探测器位置的注释 cKjRF6w •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 PO o%^'( •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 u]M\3V. •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 K(VW%hV1 •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 1`JB)9P •可以避免这些干涉效应的不良影响。 IP ,.+:i 1k[GuG%/K *~2cG;B"e 文件信息 jXp. qK\" Y5Z!og
;iU%Kt j (ygQ4T }G'XkoI& QQ:2987619807 m5*[t7@%
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