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摘要 $ tf;\R H
<CsB 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 9xWC<i v-6"*EP
TJ(P TB; Hj
]$ 本用例展示了...... l,uYp"F,ps •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: L(!4e - 矩形光栅界面 _3$@s{k-TI - 过渡点列表界面 8+vZ9!7 - 锯齿光栅界面 )#-27Y - 正弦光栅界面 "sLdkd}dj •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 y7SOz'd h}xUZ: 光栅工具箱初始化 uY0V!W •初始化 fs4pAB #F - 开始 %VYQz)yW 光栅 *D`qcv 通用光栅光路图 E/cA6*E[.< •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ~^/zCPy[w 可直接选择特定的光路图。 Cpaeo0Oq H3{x;{.b
}_XW?^/8 A2' 光栅结构设置 \C.%S +u •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 tb,.f3;
g!n1]- 1 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 >JT{~SRB|Y •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 a?' 3 2{s ND
2rHw5Wn]~ Cw?AP6f% •例如,选择第一个界面上的堆栈。 iHjo3_g)n RAKQ+Y"nl 堆栈编辑器 A/N*Nc •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 dsDoPo0! •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 []Cvma1\
7'FDI`e[
"@B!5s0 z.16%@R 矩形光栅界面
N>`+{ >`*iM •一种可能的界面是矩形光栅界面。 G B!3`
A%& •此类界面适用于简单二元结构的配置。 @RotJl/> •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 c?)
pn9 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 =f@O~nGm •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 )ufHk ~C5iyXR
(Br$(XJoK} nzy =0Ox[ 矩形光栅界面 &n<jpMB •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 ]SrKe-*:U •所选界面在视图中以红色突出显示。 IcL3.(!]l
Td[w<m+p<P •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 9CJUOB>] •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 vVyO}Q` B0=:A •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 OdQ>h$ gZ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 7^sU/3z •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ,- ]2s_ "W6nW !N$4.slr<p xy mK|
B2d$!Any w GZ(bKyO 矩形光栅界面参数 lk.Q6saI1 •矩形光栅界面由以下参数定义 &4*&L.hPM^ - 狭缝宽度(绝对或相对) $pk3d+0B - 光栅周期 5YS`v#+ - 调制深度 n_Um)GI> •可以选择设置横向移位和旋转。 ^\N2
Iu>6 @mP@~
,_NO[+5U ;x^&@G8W` 高级选项和信息 "]c:V4S#`A •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 CyG @ •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 4L!{U@' •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ""pJO 6bI (evanescent orders)。 DP^{T/G •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 KXw
\N! •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 tB(Q-c tHoFnPd\| nr&G4t+%Hv czMLvPXRx •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 GsDSJz •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 zN5i}U=|r •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 !LIWoa[ F. •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 YY7:WQS )W 57n)] ULU
]k# I$f:K]|.m! 过渡点列表界面 GQF7]j/ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 :Hd?0eZ| •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 FC]? T •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 1pzU=!R?-O $Fr2oSTT) $ya#-pi`; 过渡点列表参数
^[zF_df •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 Eq.c;3 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 4D58cR} @.0jC=!l #{h4lte ]-* }-j` •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 ?Fi-,4 •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 yvH:U5% •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 {ReAl_Cm ORtl~V'
TP^.]IO- (^Nf;E 高级选项及信息 #v&&GuF •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 WO)K*c1F "sg$[)I3n
j,1,; Ro-Mex2 正弦光栅界面 PI{sO | •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 o.Cj+`0} 5 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 i6X/`XW' •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: /AMtT%91 - 脊的材料:基板的材料 l>=c] - 凹槽材料:光栅前面的材料 /u #9M { p^L6uM t#P)KcWOt Qy6Avw/$ 正弦光栅界面参数 ;Rnb^t6Z - 正弦光栅界面也由以下参数定义: e9%6+9Y •光栅周期 |Cen5s
W& •调制深度 sWX - 可以选择设置横向移位和旋转。 C62<pLJf - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 "V9!srIC ]AHUo;(f% }VFSF/\^ 2}}~\C}o+ 高级选项和信息 LG,RF: •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 g` h>:5] 55!9U :{
JGO>X|T
0\h2& 高级选项及信息 hVGakp9WE •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 <4O=[Q 5S =vK (-h -Z;:_"&9 锯齿光栅界面 W:) M}}&H •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 Ko%rB+d •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 [j![R •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: aoJ&< vl3 - 脊的材料:基板的材料 qy-BZ%3 - 凹槽材料:光栅前面的材料 +QHhAA$ ]7VK&YfN
x`lBG%Y[-v Mq7|37(N[ 锯齿光栅界面参数 9Q.j
< •锯齿光栅界面也由以下参数定义: P{qn@: - 光栅周期 &c\8`# 6 - 调制深度 D^TKv;%d •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 &1?Q]ZRp •可以选择设置横向移位和旋转。 v$mA7|(t! •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 pD>3c9J'^F zh4o<f:- 3;M!]9ms 8WyG49eic 高级选项和信息 4B> l|% •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 1/fvk S3=J1R, 探测器位置的注释 ,>g
6OU2~6 关于探测器位置的注释 *Z0}0<
D@Z •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 5$#<z1M.& •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 UG!&n@R •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 >N3{*W •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 u3<])}I' •可以避免这些干涉效应的不良影响。 {Ise (>V u(o @_6 stDn{x. 文件信息 )l"0:1I g -5qO}^i$a
y%GV9 2`},;i~[ y~d W=zO QQ:2987619807 Vnl~AQfk|
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