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摘要 {dpDQP +! "H`Be 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 ][?J8F a%b E}
5~IdWwG*w zN[&
iKf 本用例展示了...... _Q
I!UQdW •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: I%a-5f$0 - 矩形光栅界面 v]F4o1ckk - 过渡点列表界面 1Pw1TO"Z
- 锯齿光栅界面 zEW+1-=)+7 - 正弦光栅界面 !1=OaOT •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Q#H"Se ug2W{D 光栅工具箱初始化 breF,d$ •初始化 =%IyR - 开始 8^j~uH 光栅 GVnDN~[
通用光栅光路图 N=2T~M 1 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, /R=MX>JA; 可直接选择特定的光路图。 ,
%z HykP ztSQrDbbb4
=NC??e { !.mR]El{K 光栅结构设置 h`1<+1J9 •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 MAFdJ+n#
Wmcd{MOS •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 ]&Y^ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 Z8xB
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~d]v{<3 ?=&S?p)-< •例如,选择第一个界面上的堆栈。 Uz! 3){E <O'U-.
Gc 堆栈编辑器 IV. })8 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 3_XLx{["' •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 13#ff MukJ^h*V
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sUu <YFDS;b| 矩形光栅界面 4mo/MK&M: <F0^+Pf/ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ;i6~iLY •此类界面适用于简单二元结构的配置。 ?cRF;!o" •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 [ZSC]w^ •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 &F~d~;G"q •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 nI6ompTX xWzybuLp
iVZ}+Ct<" m#RJRuZ|2V 矩形光栅界面 Ju47} t%HB •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 \Yr*x7! •所选界面在视图中以红色突出显示。 aH_c84DS
T@yQOD7 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。
FJ~d&L\l •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 )x/#sW%) zT,@PIC( •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 BVb^ xL •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 \]Ah=` •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ekyCZ8iai *FC8=U2\X SQcic]Ep %[*-aA
$"/l*H\h =figat 矩形光栅界面参数 rueaP •矩形光栅界面由以下参数定义 'xqyG XI - 狭缝宽度(绝对或相对) x7zc3%T's - 光栅周期 (t@)`N{ - 调制深度 Y`ip.Nx •可以选择设置横向移位和旋转。 06.%9R{ [y`Gp#
c%doNY9Q n&;JW6VQS 高级选项和信息 W$hCI)m( •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 UDi(7c0. •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 9/0H,qZc •可以设置总级次数或衰逝波级次数 u?72]?SM (evanescent orders)。 nb/q!8 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 Wu$ryX •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 pE<a:2J &EV%g6 j? BL8E' ZNw|5u^N •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 fKY-@B[| •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 WMtFXkf6" •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 Gpxp8[ { •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 ,V9qiu=m
G)<B7-72; RG45S0Ygj EX{%CPp7} 过渡点列表界面 ck]I? •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 qWr=Oiu •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 qLLrR,: •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 5CK\Z'c~! OoA!N-Q b_ZvI\H 过渡点列表参数 0 j!<eN= •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 }~@/r5Zl •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ZUHW*U. W'vek uM }V]b4t n+=qT$w) •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 ?+hEs =Xs •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 Jp"29
)w •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 eWv:wNouk [ x{$f7CEh
i.6 b% MS""-zn< 高级选项及信息 x*z[(0g! •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 H1U$ApD ^O7sQ7V"f=
OlyW/hd aWTurnee^ 正弦光栅界面 Q(w; •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 &l2xh~L •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 G)s.~ T •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: _0Ea 3K - 脊的材料:基板的材料 9RlJf=Z#H - 凹槽材料:光栅前面的材料 6inAnC@I VCc=dME Ich^*z(F$ Zm*d)</> 正弦光栅界面参数 4$VDJ - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 5?H8?~&dz •光栅周期 }d}sC\>U •调制深度 ~ `}),aA - 可以选择设置横向移位和旋转。 )I*(yUj - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 _s@PL59, npzp/mcIe) (^iF)z tcoG;ir 高级选项和信息 fmK~? •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 15J"iN2"W fWJpy#/^*K
?0:]%t18 Z#@ 高级选项及信息 9Zd\6F, •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 A"pQOtrm\k dz+!yE\f$ g(i6Uj~) 锯齿光栅界面 ~.3v\Q •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 a6vej •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 G?@W;o) •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: U)f('zD - 脊的材料:基板的材料 F<{,W-my ` - 凹槽材料:光栅前面的材料 LTS{[(% Q(-&}cY
Z:^#9D{ IH=$
wc 锯齿光栅界面参数 +pG+ xI •锯齿光栅界面也由以下参数定义: V5$Gb6?K - 光栅周期 rP]|`*B - 调制深度 db,?b>,EE •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 )rP,+ B?W •可以选择设置横向移位和旋转。 ^BLO}9A{P •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 rzHBop-8 h(yFr/ V~*>/2+ #pPOQv:~ 高级选项和信息 "{vWdY|" •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 +&)/dHbL`] P\K#q%8 探测器位置的注释 =&08s(A 关于探测器位置的注释 VsSAb% •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 >k`qPpf& •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 4G I3|{ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 l4i51S" •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 !;8Y?c-D •可以避免这些干涉效应的不良影响。 tnUfi8\ob }Fu1Y@M% R.WB.FP 文件信息 |Q)mBvvN xltN-<n7
8/j|=Q,5 r
ezp7 b#N P*L& QQ:2987619807 :k?`gm$
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