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摘要 rnRWL4 Y3bZ&G) 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 U?A3> oD=+
^c?$$Tq lt& c/xi_ 本用例展示了...... C~R,, •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: d /lV+yZ - 矩形光栅界面 >;+q,U} - 过渡点列表界面 V?-SvQIk1 - 锯齿光栅界面 PE<(eIr - 正弦光栅界面 E^? 3P'%^ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 X1o=rT =O>E>Q 光栅工具箱初始化 RKb ( •初始化 nTCwLnX(O - 开始 ~'0W(~Q8 光栅 4q*mEV 通用光栅光路图 jf=\\*64r4 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, 9YY*)5eyD 可直接选择特定的光路图。 ASUleOI79( A>%mJ3M
`u$lSGl cBQ+`DXn5c 光栅结构设置 MS;^@>|wj •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 ;TulRx]EA
SHRn$< •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 fr<V]) •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 (lt{$0 5G l:jRu
,D2nUk pMzlpmW;P •例如,选择第一个界面上的堆栈。 B}^l'p_u K[l5=)G0L 堆栈编辑器 3]h*6V1$ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 F&a)mpFv3c •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 GuKiNYI_ ?[2>x{5Z
;nAI;Qw L @.} @K 矩形光栅界面 'm k_s4J l`."rei%) •一种可能的界面是矩形光栅界面。 mZ~f?{ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 f47dB_{5f. •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 @0-vf>e3- •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 [" sm7yQ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 9*2^2GR^; .qs5xGg#9
hkx (r5o Lm*PHG 矩形光栅界面 +!$]a^3l •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 5=/j •所选界面在视图中以红色突出显示。 <aQ5chf7
1t} •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 *vOk21z77d •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 f7:}t+d gl 27&'?E* •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 ^xQPj6P} •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 J$i.^|hE/ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ^/~C\
( z@v2t>@3k Yb4%W-5 d fSj= 4
OM81$Xo= v\D.j4%ij 矩形光栅界面参数 }z5u^_-m •矩形光栅界面由以下参数定义 =s&ycc;-5} - 狭缝宽度(绝对或相对) 7sU,<Z/D - 光栅周期 +h8`8k'}-2 - 调制深度 jmF)iDvjuZ •可以选择设置横向移位和旋转。 #wp~lW9!s9 Rp0^Gwa
+!)_[ zo Y(=A HmR 高级选项和信息 [F
24xC+ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 6N[X:F
3`, •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 -Eoq#ULvR •可以设置总级次数或衰逝波级次数 WWT1_&0 (evanescent orders)。 !o\e/HGc! •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 *z&hXYm •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 yw >Frb5p 6pbtE] 8khIy-9-' eVj7%9 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 KPA.5,ai •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 a#a n+JY3 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 $hy0U_}6 •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 u}89v1._Jn Fz' s\ i5gNk)D a}X.ewg 过渡点列表界面 &]pY~zVc •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 a|z@5r% •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 OR}+)n{ •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 8`_tnARIX -t: U4r( q@1xYz:J 过渡点列表参数 !C ZFbz~: •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 :QC |N@C •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 xNjWo*y v Re*_Dt=r I3u)y|Y= }s[`T •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 Z1.v%"/( •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 }b]eiPWN •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 `1uGU[{x /0Mt-8[
&@=W+A=c~ @M"(
r"ab 高级选项及信息 ,c&gw tdl •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ^0-e.@ R2JPLvs
$W%-Mm <h~=d("j 正弦光栅界面 sG\K$GP! •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 C[5dhFZ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 T3I{D@+0 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: !j}L-1*{ l - 脊的材料:基板的材料 E6z&pM8<8 - 凹槽材料:光栅前面的材料 =.w~qL >`p?
CE /fdrf <W+9h0c 正弦光栅界面参数 HiBI0)N} - 正弦光栅界面也由以下参数定义: XlnSh<e •光栅周期 v7\rW{~Jd& •调制深度 VfUHqdg- - 可以选择设置横向移位和旋转。 7C R6ew~ - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 JKy~'>Q 6OoOkNWF Pm,.[5uc k SgE_W) 高级选项和信息 *eX/ZCn •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 7O:g;UI# wJ7^)tTRF
c=zSq%e
/nn~&OU 高级选项及信息 \+=`o .2 •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 \>G}DGz
"YWZ&_n** \BN$WV 锯齿光栅界面 H8g%h}6h •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 jw`05rw: •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 a=`]
L`|N •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: w)B?j - 脊的材料:基板的材料 zWH)\>X59 - 凹槽材料:光栅前面的材料 -m@PqJF^ WIuYSt)h
7?{y&sf %V+"i_{m 锯齿光栅界面参数 SN]g4}K- •锯齿光栅界面也由以下参数定义: ('AAHq/ - 光栅周期 }2iR=$2 - 调制深度 Js vdC]+ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 !Q*w] •可以选择设置横向移位和旋转。 ?5/7
@V •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 3
^K#\*P g7a446QR\K Q J-|zS.W \P")Eh =d 高级选项和信息 U| VL+9#hd •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 *HUXvX|-% 6B|i-b$~ 探测器位置的注释 0{vH .b
@ 关于探测器位置的注释 |xg_z&dX •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 l#%7BGwzY •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 g6;smtu_T •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 aKWxL e •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 <oV[[wl •可以避免这些干涉效应的不良影响。 [0aC]XQZ 8>Cf}TvErx wDGb h= 文件信息 gPT_}#_GxM =&,T@5&-=
7 4MxU DBL@Mp[< |w54!f6w_ QQ:2987619807 ~J&-~<%P}
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