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摘要 -P5M(Rt 7<ZCeM2x 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 E5y\t_H KASw3!.W
c8
xZT gU^2;C 本用例展示了...... 8aSH0dX •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: VP<_~OLc - 矩形光栅界面 |GQFNrNx - 过渡点列表界面 iKu~o.yy - 锯齿光栅界面 zw yK \j - 正弦光栅界面 V9"?}cR/W; •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Ef2#}%> xN a Dzu" 光栅工具箱初始化 [sT}hYh+ •初始化 D\H)uV` - 开始 V u`O%[Q/ 光栅 cI Byv I- 通用光栅光路图 l"-F<^
U •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, IO4 8sV } 可直接选择特定的光路图。 ct3^V M&/ zU7/P|Dw+
N){/#3 sP+ZE>7 光栅结构设置 3;h%mkKQ+ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 A]FjV~PB
~e)`D nJ •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 gZ^NdDBO •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 sBo|e]m# v_zVhEtY
Cy~Pfty F5#P{zk| •例如,选择第一个界面上的堆栈。 JlF$|y,gV, u{-J?t&` 堆栈编辑器 h xCt[G@ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 #!WD1a?L •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 a_pNFe !M[a/7x,p
5V^+;eO PJCRvs|X 矩形光栅界面 f[bx|6 7:h8b/9 •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ;DkX"X+ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 ftqi >^i •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 LJ+fZ
N •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 j0LA •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 2JV,AZf uH 6QK\
k365.nc 16p$>a<6 矩形光栅界面 d4h,
+OU •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 {M5[gr% •所选界面在视图中以红色突出显示。 whzV7RT
BAq@ H8*B •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 22|a~"Z •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 FTihxC?.L `;@#yyj:_ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 YB}p`b42L •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 ;JK!dzi} •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 wuv2bd )+ er0hf2N] {hr+ENgV d `z),A=
hY?x14m$3
{ws:g![ 矩形光栅界面参数 drJ<&1O •矩形光栅界面由以下参数定义 0V5 RZ`. - 狭缝宽度(绝对或相对) gUoL8~ - 光栅周期 BJM_kKH - 调制深度 +=5Dt7/| •可以选择设置横向移位和旋转。 H!D?;X eQ}o;vJN
<fJ*{$[p S}=euY'i 高级选项和信息 JVzU'd;1! •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 {jOCz1J •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 /A U&
X •可以设置总级次数或衰逝波级次数 Y6|8;2E (evanescent orders)。 l%aiG+z%6} •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 ^_5Nh^ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 .@Z-<P" ;xnJ+$//U -NG`mfu Lh%>>
Ht{ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 Z2yZz:.' •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 0 ttM_]#q •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 PXZZPW/ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 1k5o?'3& *Ge2P3 VQr)VU=jb tFvc~zz9 过渡点列表界面 pq"3)+3: •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 Z /-!- •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 8+Y+\XZG •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 rUX1Iu7 !<wM?Q: H!y%Fa Ti 过渡点列表参数 R"S,& •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 $J>J@4 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 Nw`}iR0i ;:JTb2xbb ,[To)x5o \}0J%F1 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 E6iUa' •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 niZ/yW{w •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 4s?x 8oAy "y_A xOH
MtYi8"+<e. QGtKu:c.81 高级选项及信息 C3Mr) •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 X\?e=rUfn #x"dWi(
[p%@ pV r Bv 正弦光栅界面 6vVx>hFJ47 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 }MKm>N •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 T{1Z(M+ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 6{rH|Z - 脊的材料:基板的材料 Sri,sZv - 凹槽材料:光栅前面的材料 :NL.#!>/ CD\k. ?UAB}CjY PTfy# 正弦光栅界面参数 ;dt&*]wA - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 0*66m:C2 •光栅周期
WH F>J •调制深度 $:I~y|
!1 - 可以选择设置横向移位和旋转。 mOj6
4}_`" - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 gkdd#Nrk ,nqG*
o "]}+QK_ $42C4I*E 高级选项和信息 w(kN0HD •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 JO:40V?op OO..
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a9=,P ;H5H7ezV 高级选项及信息 _ukKzY •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 >W,1s Ds|/\cI$%a &P>wIbE 锯齿光栅界面 @q9uU9c •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 L1"y5HJ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 .d:sQ\k~= •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: )--v>*,V - 脊的材料:基板的材料 %C*oy$. - 凹槽材料:光栅前面的材料 y0vo-)E]-] >#z*gCO5,
wy5vn?T@ 0Zkb}F2- 锯齿光栅界面参数 Ug=8:a(U. •锯齿光栅界面也由以下参数定义: k~WX6rEJ - 光栅周期 5?),6o); - 调制深度 )>q.!"B •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 6 flc •可以选择设置横向移位和旋转。 (KaP=t} •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 *
";A~XNx f/G
YDat *9}2Bmojv 7MreBs(M 高级选项和信息 iivuH2/~?[ •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 T_CYSS|fX ]qCAog 探测器位置的注释 :(EU\yCzK 关于探测器位置的注释 kQXtO) •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 Hw8`/'M=%5 •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 7-81,ADv( •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 o
>bf7+D •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 k WYjqv •可以避免这些干涉效应的不良影响。 n0#HPI" 9,y*kC Hk%m`|Z 文件信息 /C29^ P GkjTE2I3
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