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摘要 6HEl1FK{@ 5Q^~Z}, 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 qItI):9U nU`;MW/^w
H37Z\xS bM!`C|,[s 本用例展示了...... |W::\yu6 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: !YoKKG~_0 - 矩形光栅界面 A+dY~@*a - 过渡点列表界面 GC{Ys|s - 锯齿光栅界面 ;Joo!CXHO - 正弦光栅界面 M,[ClQ 9 •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 nd?m+C&W Kzmgy14o 光栅工具箱初始化 ~7=,)Q •初始化 LD5'4,%- - 开始 6tzn% ? 光栅 Comuc 通用光栅光路图 |;].~7^ •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, fY `A 可直接选择特定的光路图。 Tu"yoF i0R=P[
/)G9w]|T EuAa 光栅结构设置 u|Ai<2b$ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。
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3) 7'dM •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 6-^+btl)# •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 4Pt0^;H&jn 6ZM<M7(V
{Cd*y6lI >!wwXhH( •例如,选择第一个界面上的堆栈。 +yTL 8=?I/9Xh 堆栈编辑器 ;CC[> •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 Qejzp/2 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 59)PJ0E aJfW75C
)PwDP "44X'G8N 矩形光栅界面 fu|I(^NV "kL5HD]TC •一种可能的界面是矩形光栅界面。 eC3ZK"oJ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 's9)\LS>p •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 m3,v&Z •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 4~
iKo •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 4u;W1=+Vn #\"5:.H Oz
d)
> if<o yNqrL?i 矩形光栅界面 S2Wxf>bt2 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 t#d~gBe?V •所选界面在视图中以红色突出显示。 #]C r
zLe
HID;~Ne •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 wWH5T}\ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 vm Hf$rq JU~l •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 8J>s|MZ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 oEfKL`]B •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 {5RM)J1 P ^D\znvc p{88v3b6 y0z}[hZ
z S^:Ng5 h>fY'r)DAx 矩形光栅界面参数 Xp%JPI { •矩形光栅界面由以下参数定义 @ Gl=1 - 狭缝宽度(绝对或相对) QupCr/Hs - 光栅周期 `~gyq>Ik2 - 调制深度 5I@< 6S&X •可以选择设置横向移位和旋转。 &'i>5Y SkS
vu}
XC~|{d 9CxU:;3 高级选项和信息 ;Q\Duj •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 QKe=/; •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 2x t
8F •可以设置总级次数或衰逝波级次数 1*#64Y5F (evanescent orders)。 ](B+ilr
•如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 (rvK@ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 MsfY|(/m va| 1N/& r
5:DIA! \&"gCv# •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 6"z:s-V •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 &pV'/ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 e'p'{]r<w •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 pm@Mlwg`1 FG:(H0 5v6*.e'p &KmVtj 过渡点列表界面 Jzo|$W •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 t*iKkV^aE •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 I ze+]( •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 4v_<<l %`?IY < Et}S*!IS 过渡点列表参数 `O5wM\Z •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 AAb3Jf`UW •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ]QlgVw, {Cd Q)| \!x~FVA ~=67#&(R •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 clV3x`z •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 W US[hx, •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 P{-j^'y o<cg9
Q8.=w E^qJ5pr_P 高级选项及信息 W8,4LxH •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 GJS3O;2* G9 v'a&
{%Cb0Zh o^+2%S`] 正弦光栅界面 >>bsr#aJ •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 :8h\x •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 &YpViC4K. •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: ( f]@lNmx - 脊的材料:基板的材料 08czP-)OZ - 凹槽材料:光栅前面的材料 Z uFk}R"x 7qsu0 .[d w.X MyHj Aqy y\G; 正弦光栅界面参数 ![3 /! - 正弦光栅界面也由以下参数定义: x%_VzqR` •光栅周期 X<8?># •调制深度 {#` O'F> - 可以选择设置横向移位和旋转。 (;!92ct[? - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 $|"Y|3&X (/gv
U80 $Z|HFV{ JkShtLEr 高级选项和信息 / <C{$Gu •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 f`<elWgc" z( \4{Y
o%yfR.M6$ HOaNhJ{7D 高级选项及信息 9epMw-)k •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 *O|_)G ^r=Wj@` J8'1 ~$6 锯齿光栅界面 oyT`AYa •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 @
D,]v: •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 Uiv4'vYg •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: gc\/A\F< - 脊的材料:基板的材料 S,Z~-j - 凹槽材料:光栅前面的材料 z+Guu8 1=Kt.tuf
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