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摘要 u5f9Jw} :^B1~p(?sK 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 9m~p0 ILh `&c kZiq
{[?(9u7R n]o<S+z 本用例展示了...... L>4"( •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 68WO~* - 矩形光栅界面 8NAON5.! - 过渡点列表界面 .jjG(L - 锯齿光栅界面 6zuTQ^pz - 正弦光栅界面 H*'IK'O •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 %2V? ,zY@ [j/9neaye 光栅工具箱初始化 hy"\RW •初始化 UJ')I`zuI - 开始 K/yxE|w< 光栅 :(*V?WI 通用光栅光路图 )cMh0SGcM1 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, _TQj~W< 可直接选择特定的光路图。 XYOC_.f1 68C%B9.b'
Ig0VW)@ z/2//mM 光栅结构设置 -ifFbT+x •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 ra
g Xn
mLLDE;7|} •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 8\A#CQ5b •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 `Cynj+PCe B!L{
!Pfr,a L2i_X@/ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 4yr'W8X_ F8,RXlGfA[ 堆栈编辑器 j[J-f@F \Y •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 #r~# I}U •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 (m(JK^ ">,|V-H
Zaf:fsj> ~[nSXnPO 矩形光栅界面 yEoF4bt LxSpctiNx •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ,Np0wg0 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 l'E*=Rn •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 W/bQd)Jvk •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 :zke %Yx •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 4-y:/8 aa/(N7
A>;bHf@ u$Jz~:=, 矩形光栅界面 }I6veagK •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 t:
;Pj9 •所选界面在视图中以红色突出显示。 Em
!/a$
BLf>_bUk •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 V]e 8a"/[{ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 Vl=l?A8 m6\E$;` •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 ND#Yenye •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 jTtu0Q| •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ;LPfXpR b)5uf'?- 0#s"e}@v aU "8{
IT7wT+ U!?_W=? 矩形光栅界面参数 iDz++VNV •矩形光栅界面由以下参数定义 %XoiVlT@: - 狭缝宽度(绝对或相对) {
Vf XsI - 光栅周期 H.|#c^I - 调制深度 }1c|gQ •可以选择设置横向移位和旋转。 0oZ=
yh +-U- D?-
8f)?{AX0 aFb==73aLw 高级选项和信息 ~"&|W'he[ •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 2Aazy'/ •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 #@9/g •可以设置总级次数或衰逝波级次数 M4oy (evanescent orders)。 Vvn2 Ep •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 vrhT<+q •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 y^,1a[U. oWim}Er= rq/yD,I, :bu/^mW[ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 7{)G_?Q& •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 2G67NC?+ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 %S@ZXf~: •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 ,]ma+(| 'EEJU/"u 5T_n %vz Ic"ybj` 过渡点列表界面 Ustv{:7v •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 Yq0| J •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ['X]R:3h •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 x=hiQ>BIO0 |mdVdD~go 'RQ+g}|Ba! 过渡点列表参数 VgG0VM
•过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 qPX~@^`9 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 L
O_k@3 \=?a/ c z#rb*b TluW-S •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 UqFO|r"M •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 h:b)Wr •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 KQaxvU)L xjuN-
xaq-.IQAM$ }{K)
4M 高级选项及信息 c@!_/0 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 Z58X5" {3>$[bT
Xy|So|/bKd IXMop7~ 正弦光栅界面 VuhGx:Xl •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 ?K$(817 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 =V,mtT •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: U2tV4_ e - 脊的材料:基板的材料 o lR?n(v - 凹槽材料:光栅前面的材料 iTBx\u%{ T6y\| !=*g@mgF o8V5w!+# 正弦光栅界面参数 xBThq?N? - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 0rQMLx •光栅周期 :KSV4>X[%a •调制深度 <$A - 可以选择设置横向移位和旋转。 !1jBC.G1 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 v+W&9> *.ll<p+(- lLX4Gq1 .KB^3pOpx 高级选项和信息 /kZebNf6H •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 XO>KZV7) e/KDw
2RVN\?s: 0#7>o^2 高级选项及信息 OZb-:!m* •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 .wEd"A&j uanhr)Ys !hA-_ 锯齿光栅界面 a=|K%ii+Y •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 1jmjg~W •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 -V*R\,> •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: x77*c._3v - 脊的材料:基板的材料 :(E@Gf - 凹槽材料:光栅前面的材料 ]g#: KAqz JinUV6cr
oM
X |0&IXOW"XF 锯齿光栅界面参数 E+j/Cu •锯齿光栅界面也由以下参数定义: ^rB8? kt - 光栅周期 6iry6wcHm - 调制深度 F#3Q_G^/ •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 =Pyj%4Rs •可以选择设置横向移位和旋转。 3<e=g)F •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 z{%<<pZ %e8@*~h@ vOH4# o@_q]/Mh 高级选项和信息 rP'me2
B •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 `Y0%cXi3 U"~>jZKk 探测器位置的注释 'NbHa! 关于探测器位置的注释 /m!BY}4W •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 .97])E[U •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 =bAx,,D# •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 vRTkgH#4l •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 3xy<tqfr •可以避免这些干涉效应的不良影响。 WSPI|#Xr% 3#n_?- xf'V{9* 文件信息 Ex.yU{|c m=1N>cq
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nd`1m[7MNu a)!o @ ./XYd"p QQ:2987619807 x[|}.Ew
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