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摘要 xFZq6si? P>|2~YxjU 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 s9iM hCu| iq$/6!t
z{\.3G /Ny&;Y 本用例展示了...... N;Bal/kd2 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: tANG ] - 矩形光栅界面 q@:&^CS - 过渡点列表界面 Bh?;\D'YC - 锯齿光栅界面 K@m^QioMj - 正弦光栅界面 tF|bxXsZ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 i7FEjjGtG 8T4J^6 光栅工具箱初始化 EeO{G*pq •初始化 Tx*m
p+q - 开始 `c(@WK4 光栅 (P ?9Jct 通用光栅光路图 Ju<D7 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, {/ta1&xyG 可直接选择特定的光路图。 %[J( ,rm y.zQ `
scdT/|(U$ r`2& o 光栅结构设置 \cG'3\GI •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 W4<}w-AoEp
+-hmITJv •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 _D~a4tgS •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 (rJvE* (k?OYz]c
VI?[8@*Z Dng^4VRd •例如,选择第一个界面上的堆栈。 T1E{NgK $IHa]9 { 堆栈编辑器 [#:k3aFz •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 `d8TA#|` •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 6XP>p$- zy|hf<V
J?&9ofj& 4:.M*Dz 矩形光栅界面 wQ5__"D $)U
RY~;i •一种可能的界面是矩形光栅界面。 5GKz@as8 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 |s:!LU&OL\ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 "P6MLf1 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 _#+i;$cO-X •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 FB@G.f {}z7N~
"k.<" pf PF.HYtZqK 矩形光栅界面 O'k"6sBb •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 KnuqU2<
{ •所选界面在视图中以红色突出显示。 (f)QEho7
B-RaAiE@ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 iY="M _kQ_ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 8:f(PN u%FA. •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 zIu1oF4[ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 fA8 ,wy|> •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 !59q@Mya[ /O9z-!Jz 8=d9*lm U-@\V1;C
J? C"be= d/MMPge3 矩形光栅界面参数 2n\EZ •矩形光栅界面由以下参数定义 O?@AnkOhn - 狭缝宽度(绝对或相对) j9%=^ZoQj - 光栅周期 139_\=5|U/ - 调制深度 WaYT\CG7y •可以选择设置横向移位和旋转。 }u
:sh >2 {J[0UZ6
*p"%cas 37VSE@Z+ 高级选项和信息 Z',pQ{rD •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 #soWX_> •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 +S$x}b'5q •可以设置总级次数或衰逝波级次数 TV} H (evanescent orders)。 r'&VH]m •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 T!8,R{V]4 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 ).\%a
h =cxjb,r @>:r'Fmu- =oBV.BST u •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 V[#jrwhA •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 YtFtU;{ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 KcHW>IBxdv •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 ct`89~" e7-U0rrE $aEL>,X {a(TT)d 过渡点列表界面 BV|LRB}G •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 GujmBb •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 rAgb<D@,H •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 5~v({R. k/>k&^? "5=Gu1 过渡点列表参数 NO QM:tBO> •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 F&^u1RYz •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 y6fYNB t\ ym4`" 1jDN=hIl :U=*@p4? •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 g/eE^o~; •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 A2..gs/ •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 `$05+UU RK< uAiU
umI@ej+D cJMp`DQzc 高级选项及信息 ;tlvf?0! •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 &=~Jw5WK /;
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Ch>r.OfP EjrK.|I0 正弦光栅界面 :wtK'ld •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 Dc2H<=]; •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 nH_M# •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: F P3{Rp - 脊的材料:基板的材料 XU_gvz - 凹槽材料:光栅前面的材料 h:xvnyaI kZ$2Uss I|(r1.[K Fsz;T; 正弦光栅界面参数 Qu|H_<8g - 正弦光栅界面也由以下参数定义: K|]/BjB/ •光栅周期 \8g'v@$wG •调制深度 u^, eHO - 可以选择设置横向移位和旋转。 :<hM@>eFn - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 FN\*x:g \ ,D>zF uVN2}3!)Y GCZx-zD~> 高级选项和信息 Ir#]p9:x •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 0~4Ww=# ^,}1^?*
7H.3.j(L 6+!$x?5|NP 高级选项及信息 u.;l=tzz •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 Ogv9_X8 {^8?fJ/L 5/8=Do]( 锯齿光栅界面 Z-:T')#Cf •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 MroN=%|t •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ]n}aePl}oU •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: AO,
o|,#4F - 脊的材料:基板的材料 f YSH]! - 凹槽材料:光栅前面的材料 F%P"T%| Uo?4o*}
z^vfha ox*1F+Xri 锯齿光栅界面参数 w p\-LO~ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: <p/zm}?') - 光栅周期 `J]e.K - 调制深度 \#4mPk_" •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 ,BUrZA2\U$ •可以选择设置横向移位和旋转。 't6l@_x •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 zzK<>@c e>6|# d E5!vw@, /yHjds 高级选项和信息 ":0u%E?s •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 d~ +(g! ^"<x4e9+j 探测器位置的注释 eAmI~oku 关于探测器位置的注释 auga`* •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 (n`]
sbx •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 ?VlGTMaS+ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 @R%*; )*F •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 URceq2_ •可以避免这些干涉效应的不良影响。 w?>f:2(=[ /poGhB1k >$7x]f 文件信息 XLC9B3Jt 8OKG@hc
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