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摘要 WZ
,t~TN .u;'eVH)a} 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 62>/0_m5 L%f$ &
KI5099 _/ +/Vzw 本用例展示了...... Z
DnAzAR •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: TK#-;p_ - 矩形光栅界面 CfHPJ:Qo[ - 过渡点列表界面 T`) uR*$ - 锯齿光栅界面 P/8z - 正弦光栅界面 eRIdN(pP •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 Bzr}+J 3$kElq[ 光栅工具箱初始化 Ijs=4f •初始化 Jry643K>:; - 开始 9S)A6] 光栅 _2Fa.gi 通用光栅光路图 90+Hv:wF •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, %l)~C%T 可直接选择特定的光路图。 z';h5GNd>z Ji:0J},m
Z/I`XPmk ^s?i&K,! 光栅结构设置 c]:@y"W5$ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 3hNb
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r7N%onx •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 >Y&o2zJy •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 SP5t=#M6 8R.`*
JPS<e*5 zy[|4Q(? •例如,选择第一个界面上的堆栈。 +@K8:}lOW 1z=}`,?> 堆栈编辑器 DZ0\pp?S •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 }F
(lffb •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 m{sch`bP 0qD.OF)8
'#x<Fo~hT ak;S Ie 矩形光栅界面 }#U3vMx( gc{5/U9H* •一种可能的界面是矩形光栅界面。 G3t
4$3| •此类界面适用于简单二元结构的配置。 \{`*`WQF •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Nh\y@\F> •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 =;HmU.Uek% •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 7S9Q{ u+uu?.bM
YiPp#0T[Gx p=J9N-EM 矩形光栅界面 8rsv8OO •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 sOW,hpNW •所选界面在视图中以红色突出显示。 6u v'{
y2Z1B2E%f •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ]j?Kn$nv*S •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 #n}n
% mPo] .z •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 f^X\ N/ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 MOW {g\{\ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 9CTvG zkw \:wLUGFl5 |qsY0zx K1>(Fs$
yw)Ztg) Y^f12% 矩形光栅界面参数 Y_<(~eN` •矩形光栅界面由以下参数定义 =Z(#j5TGvH - 狭缝宽度(绝对或相对) OHha5n - 光栅周期 >qI|g={M - 调制深度 mg^\"GC*8 •可以选择设置横向移位和旋转。 S+YbsLf 2nPU $\du
"A?_)=zZ >zDnJb&"& 高级选项和信息 vXM``| •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 (&u)FB* •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 +(<}`!9M* •可以设置总级次数或衰逝波级次数 zdUi1 b (evanescent orders)。 @*c) s_ •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 F-n1J?4b •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
I"=XM
oos35xV. h&6x.ps@ cAc i2e •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 4q<:%
0M| •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 $0zH2W •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 XDJQO /qN •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 cNG6 A4 PF(P"f.?D prY9SQd f(E 'i> 过渡点列表界面 /vB%gqJvX •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 Do|`wpR •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ? I}T[j •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ?Y~>H2 Pz"!8b-MN jjm-%W@ 过渡点列表参数 -j9R%+YW< •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 S-h1p` •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ca_8S8lv y*6r&989 4>^ %_Xj[ @]HV:7<q •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 yREO;m|o •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 sh?Dxodp9 •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 WDiF:@^K ls6ywLP{
8X]j;Rb I=^%l7 高级选项及信息 f(?`PD[ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 GKPqBi[rO \o@b5z]e
s/Wg^(&M D@Fa~O$75 正弦光栅界面 =k`(!r2"# •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 N1(}3O •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 v.v3HB8p •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: cuquA ~ - 脊的材料:基板的材料 (s{%XB:K - 凹槽材料:光栅前面的材料 fp4 d?3G 4aB`wA^x rsP-?oD8) K"b vUH 正弦光栅界面参数 qTyU1RU$9^ - 正弦光栅界面也由以下参数定义: Qq]UEI `Go •光栅周期 N
&p=4 •调制深度 Z/uRz]Hi - 可以选择设置横向移位和旋转。 5
|C;]pq - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 =OO_TPEZ _zm<[0( 8N-~ .p ,bmTBZV 高级选项和信息 *vsOL4I% •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 ^"+cJ) 4b3p,$BWS
w6Tb<ja o<l4}~a 高级选项及信息 -07(#> •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 ",8h>eEWK )vGRfFjw_ <)n
锯齿光栅界面 n7<<}wcV •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 'A8T.BU •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 NK#Dq&W+& •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: sQihyq6U; - 脊的材料:基板的材料 1<59)RiO> - 凹槽材料:光栅前面的材料 Bdbw!zRR$ cS ];?tqrA
"?qu(}| p6}jCGJ 锯齿光栅界面参数 29Q5s$YD@ •锯齿光栅界面也由以下参数定义: KI>7h.t - 光栅周期 PL+fLCk,I - 调制深度 J;T_9 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 c@nl;u)n •可以选择设置横向移位和旋转。 )If[pw@j •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 Va*Uwy?x/) (vj2XiO^+ 6gR=e+ bh7 1Zu 高级选项和信息 /CA)R26G •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 {&h &: @Qc['V) 探测器位置的注释 b$Uwj<v 关于探测器位置的注释 06Hn:IT18 •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 *iC
t4J •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 Yaa
M-o •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 am"/Anml| •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 <&L;9fr •可以避免这些干涉效应的不良影响。 hU=J^Gi0 WVNQ}KY nev*TYY?A 文件信息 v\MH;DW^Z |[{;*wtv
;D^)^~7dh dl":?D4H
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