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摘要 [)[?FG9
TxkvHiq2 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 '+^XL6$L =`(\]t"I
VJgf,
5 (N nM$-L.dG 本用例展示了...... CS"k0V44} •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: +x:VIi - 矩形光栅界面 3@;24X - 过渡点列表界面 :e_yOT}} - 锯齿光栅界面 a 6fH *2E - 正弦光栅界面 <&M5#:u •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 9fSX=PVRmQ *i7-_pT 光栅工具箱初始化 .W-=V zWX •初始化 c$hoqi |tD - 开始 {\!@k\__ 光栅 x4_FG{AIu 通用光栅光路图 | qf8y •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, \HJ t } 可直接选择特定的光路图。 }<P%W~ LTD;
{-5b[m( );F
/P0P 光栅结构设置 ZcN%F)htm •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 f%d
=X>_
1\,wV, •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 w\.z-6G •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 @2$iFZq~ j7&0ckN&G
KI<Vvcm 2ld0w=?+eu •例如,选择第一个界面上的堆栈。 5HbPS%^. oakm{I|k} 堆栈编辑器 %1]Lc=[j •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 pK2n'4
C •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 obIYC {7q +3f <
w~9=6|_ POUD*(DqNK 矩形光栅界面 _RzcMX |a Ht6F •一种可能的界面是矩形光栅界面。
1(U\vMb •此类界面适用于简单二元结构的配置。 [W,maTM" •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 ~dqEUu!C •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 ODqWXw# •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 G@n%P~ W%7m3/d
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OQ(oyT U5wO;MA 矩形光栅界面 t[L'}ig!q •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 n\y%5J+ •所选界面在视图中以红色突出显示。 PizPsJ|&
[HhdeLOX •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 DPsf] •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 6|:]2S @=[SsS •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 mM7S9^<UH •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 rj].bGQ,+ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 4 p(KdYc
M e 6,|)%~VUm :3Z"Qk$uR
SW%d'1ya bP 2IX 矩形光栅界面参数 L~jKx)S% •矩形光栅界面由以下参数定义 f[/E $r99J - 狭缝宽度(绝对或相对) 3E361?ubM - 光栅周期 .ZrQ{~t - 调制深度 ^CwzAB •可以选择设置横向移位和旋转。 <4Jo1 }A"%YDrNbG
^\<1Y'' x+9aTsZ 高级选项和信息 0: (@Y •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 tXTa>Q •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 <3>Ou(F •可以设置总级次数或衰逝波级次数 *lIK?" mo (evanescent orders)。 JtU/%s •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 oY{r83h{ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 ZIx,?E+eJ 9c1n 5xHl6T+ @3K 4,s •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 !f\y3p*j •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 |vnfY;
;z1 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 g9;}?h •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 .;n<k Ee##:I[z &k?Mt#J iCIu]6 过渡点列表界面 ~J6c1jG •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 dO e|uQXyD •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ?K/z`E!xhN •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 rK2*DuE Cj}1 )qWq ?'h<yxu]u0 过渡点列表参数 c]W]m`: •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 %97IXrE •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 9 frS!AQ c)M_&?J!5 SD6xi\8 xU^Flw,4 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 @M"h_Z1# •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 928szUo: •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 K{HRjNda# -iS\3P.
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