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摘要 OABMIgX 3!H&bOF 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 e}u68|\EC S#^2k!(|G
b:M1P&R 3tjF4C>h| 本用例展示了...... :< d. •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 0'QX*xfa> - 矩形光栅界面 GI[TD?s - 过渡点列表界面 9Ev<t\B - 锯齿光栅界面 nc2=S^Fqu - 正弦光栅界面 2I|`j^ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 l+vD`aJ 3 t4P`#,:8 光栅工具箱初始化 7'~Oai~r •初始化 I""zg^Rq - 开始 Pss$[ % 光栅 IW{}l=D/ 通用光栅光路图 X7g@.Oy` •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, I,lX;~xb 可直接选择特定的光路图。 Lhz*o6) rsaN<6#_^Q
+v.<Fw2k# h]>QGX[kC 光栅结构设置 %4QpDt •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 {O=PVW2S
=]
+owl2 •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 Ct<]('Hm( •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 B4Fuvi (6crWw{3
l"rX'g? M/mm2?4 •例如,选择第一个界面上的堆栈。 LsI8T
uv nf0]<x2 堆栈编辑器 Q;xJ/4 Z" •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 }`~n$OVx •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 +Zg@X.z *yZ `aKfH
4~K%,K+Du xjy(f~' 矩形光栅界面 rk-GQ#SKU sW,JnR •一种可能的界面是矩形光栅界面。 w$DHMpW' •此类界面适用于简单二元结构的配置。 mz|p=[lR| •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 KjNA PfL •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 vk4Q2P •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 G`Df'Yy |Zk2]eUO+
nCS" l5 3`TD>6rs 矩形光栅界面 6Qk[TL)t •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 @GWJq
3e •所选界面在视图中以红色突出显示。 ^m/7TwD
fgoLN\ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 .]e_je_ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 QnA~,z/.w T jE'X2/ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 mIZ6[ ? •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 f#kT?!sP •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 mKBO<l{S )*XD"-9 pft-.1py c;Gf$9?iC
GO)5R, |->CI 矩形光栅界面参数 D&{CC •矩形光栅界面由以下参数定义 1Ror1%Q"? - 狭缝宽度(绝对或相对) ALQ-aXJ - 光栅周期 G*f\
/ - 调制深度 b_X&>^4Dkl •可以选择设置横向移位和旋转。 .1+I8qj FeZ*c~q
dmWCNeja. );zLgNx, 高级选项和信息 j5wfqi •在传播菜单中,有几个高级选项可用。
LS$zA>: •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 unih"};ou •可以设置总级次数或衰逝波级次数 M-Ek(K3SRf (evanescent orders)。 ?t5<S]'r$ •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 KM+[1Ze$ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 fx-8mf3 S Rk%BJ? ~ ? G`6}NP K)9Rw2-AJ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 UM/!dt}DnF •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 2EOx],(| •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 @,j,GE% •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 osl\j]U8 .1}1e;f- 3RanAT.nu: wX5q=I 过渡点列表界面 Z5p
[*LMO •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 T 5F) •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 ('{aOiSH •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 Sn0kJIb
} Cv@)tb >C19Kie72 过渡点列表参数 VEp cCK •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 <D P8a<{{ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 zn>+\ q^:VF()d_z +4
h!;i *NG\3%}%|@ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 r6nnRN/S= •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 e_|Z& •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 'zbvg0 T |;7mDhj=
qvLh7]sbK: r^a:s] 高级选项及信息 LRg]'? •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 t>AOF\ [}M!ez
@TQ/Z$y F(#?-MCs 正弦光栅界面 S@Rd>4 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 l^d' 8n •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 0>8w On •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: /`l;u7RD - 脊的材料:基板的材料 YVwpqOE.= - 凹槽材料:光栅前面的材料 araXE~Ac zPc"r$'0U x\U[5d eZ+6U`^t 正弦光栅界面参数 pr,,E[ - 正弦光栅界面也由以下参数定义: hHhDs>tB •光栅周期 E*u*LMm •调制深度 v7SYWO# - 可以选择设置横向移位和旋转。 p0WUF\" - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 &92/qRh7 N[e,%heR D;NL*4zt ZMb+sUK 高级选项和信息 [8a(4]4 •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 W} i6{Vh p<=Lh47 =
4`,7tj =aZ d>{Y 高级选项及信息 D>[Sib/@ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 2t9UJu4 k9f|R*LM 7;o:r$08&} 锯齿光栅界面 *qm|A{FQR •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 ewU*5|*[ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 jkx>o?s)z •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: Lo%vG{yTr - 脊的材料:基板的材料 YD'gyP4 - 凹槽材料:光栅前面的材料 <@"rI>= Rey+3*zUb
XZb=;tYo 7%i'F=LzT 锯齿光栅界面参数 B`Z3e%g# •锯齿光栅界面也由以下参数定义: Tc/^h4xH - 光栅周期 }[;ZZm? - 调制深度 ea"X$<s>- •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 n2bhCd]j<b •可以选择设置横向移位和旋转。 6X*vCylI •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 IQ@9S Q-'j131[ ywAvqT, 1H-Y3G>jN 高级选项和信息 Q38+`EhLA •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 T0tX%_6` PGJh>[s 探测器位置的注释 \{ @m 关于探测器位置的注释 'z;(Y*jb •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 <"5l<E •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 =U3S"W % •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 ZLT?G •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 zsXgpnlHT •可以避免这些干涉效应的不良影响。 %NrH\v{7Q \R<MQ#
x uaF-3 文件信息 ,Q-,#C" iAk:CJ{
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