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摘要 O?0`QMY {R?VB!dR 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 KM/c^a4V Qn}M
4VhKV JX T@d4NF# 本用例展示了...... f1|&umJ$ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ?@QcKQ@ - 矩形光栅界面 hVh,\d&2t - 过渡点列表界面 [y"Yi PK - 锯齿光栅界面 NXOcsdcZu - 正弦光栅界面 *d:$vaL •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 '^(qlCI
6t3Zi:=I 光栅工具箱初始化 T=':$(t •初始化 W!JEl|] - 开始 ] -%B4lT 光栅 Tr,
zV 通用光栅光路图 {/i&o •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, =nv/
r 可直接选择特定的光路图。 0F 6~S 8Fv4\dr
yeA]j[ # 95Q^7oI 光栅结构设置 ]3uj~la •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 ~-'-<-
>XW-W •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 r ?z}TtDp •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 ~'N+O K f&
Vx`oj
"Rn@yZV AsR}qqG •例如,选择第一个界面上的堆栈。 Kf`/ Gc! w@H@[x 堆栈编辑器 xW58B •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 *S'?u_Y7 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 AI-ZZ6lzR ps33&
X39%O' j|@8VxZ 矩形光栅界面 +1c[!;' #)4p,H •一种可能的界面是矩形光栅界面。 E5\>mf
,;u •此类界面适用于简单二元结构的配置。 Z8Tb43? •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 N!<X%Ym •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 {"O-/*
f+( •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 .Dy2O*` 79B+8= K
lDVgW}o@ yF-`f
_ 矩形光栅界面 :0p$r
pJP •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 >RrG&Wv59 •所选界面在视图中以红色突出显示。 4wx{i6
RY\0dv> •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ek d[|g •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 jVna;o) 9TEAM<b; •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 Q)5V3Q]@^ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 0Y8Cz /$ •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 ;8b!T
-K 9Z DbZc b]*OGp4]5 +y\o^w4sT
xF*i+'2 !:v7SRUXb 矩形光栅界面参数 :g{ybTSEe •矩形光栅界面由以下参数定义 {gzVbZ# - 狭缝宽度(绝对或相对) %0'7J@W - 光栅周期 zX6Q7Bc - 调制深度
|{MXDx •可以选择设置横向移位和旋转。 9}+X#ma.Nc |<%v`*
u[nLrEnD 'f8'|o) 高级选项和信息 ^b
3nEcQn •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 [EK@f,iM •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 gP>W* ]0r1 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 N;4wbUPL7h (evanescent orders)。 g"\JiBb5 •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 #X0Xc2}{f •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 c GyBml1 h+Y>\Cxg o
^ 08< D'#,%4P,e\ •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 &w:0ad| •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 )5u#'5I> •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 +`!>lo{X •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 $"va8, Y Azj>c& x@D>JG GGUwS 过渡点列表界面 PGuPw'2;[ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 R_"6E8N •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 gLlA'`! •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 s.a @uR^ Ox@$ } tH:?aP*2 过渡点列表参数 U*XdFH}vV •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 ),$^h7[n •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 "V5_B^Gzb]
iF_u/# >y$*|V}k !uA'0U?ky •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 R<^E?FI
•此处,可以定义x方向和y方向的周期。 Z{2QDjAI; •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 Wxgs66 TN/&^/
bPMf='F{r C;ME"4,( 高级选项及信息 J ayax]u7J •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 [hqat'Vj, )iZhE"?z
|BO5<`&I ES#q/yab5 正弦光栅界面 K3&k+~$ •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 xscR Bx •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 @JOsG-VW~ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: QwuSo{G - 脊的材料:基板的材料 *48LQzc - 凹槽材料:光栅前面的材料 TC
;Aj|)N ;cb='s RG/P]
)
urUaE 正弦光栅界面参数 YP{mzGdE& |