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在完成教程1、2和3后,你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序: qlz( W • 生成材料 *!._Ais,\ • 插入波导和输入平面 99\{! W • 编辑波导和输入平面的参数 r~8D\_=s • 运行仿真 %M|Z}2qv • 选择输出数据文件 AM>Yj • 运行仿真 lc\>DH\n6 • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 i}.{m Et 5W*7qD[m 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上,对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息,可参阅之前课程中提供的操作。 17J} uXA <m?GJuQ' 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2:创建一个简单多模干涉星型(下文简称为MMI)耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下: 1~["{u • 定义MMI星型耦合器的材料 #JK;&Dg! • 定义布局设置 F?*Dr • 创建MMI星形耦合器 E"Ya-8d= • 运行模拟 nAQyxP% • 查看最大值 v p"%IW • 绘制输出波导 A8=e?% • 为输出波导分配路径 .OVW4svX • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 L9E;Uii0 • 添加输出波导并查看新的仿真结果 1{SrHdD= • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 _myg._[ 1. 定义MMI星型耦合器的材料 >2l13^Y 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 !!?+M @ 步骤 操作 b&\3ps 1) 创建一个介电材料: W&fW5af9 名称:guide Ss"|1]acP 相对折射率(Re):3.3 [@,OG-"& 2) 创建第二个介电材料 FRl3\ZDqrb 名称: cladding ^CowJ(y( 相对折射率(Re):3.27 GM)\)\kNF 3) 点击保存来存储材料 6F|Hg2tpz 4) 创建以下通道: P<j4\zJ 名称:channel c!'A)JD@ 二维剖面定义材料: guide 37j\D1Y 5 点击保存来存储材料。 an*]62 l @<@R=aqE 2. 定义布局设置 Wrf^O2 要定义布局设置,请执行以下步骤。 Tf&f`/ 步骤 操作 5}.,"Fbr 1) 键入以下设置。 bE7(L
$UF a. Waveguide属性: n/9 LRZD|w 宽度:2.8 jMm_A#V>p 配置文件:channel Ns+)Y^(5 b. Wafer尺寸: ^4xlZouCb 长度:1420 SR&(HH$ 宽度:60 kPx]u\ c. 2D晶圆属性: _aXP
;kFMi 材质:cladding 1kB'sc3N! 2) 点击OK,将此设置应用到布局中。 {pcf;1^t H(5S Kv5 3. 创建一个MMI星型耦合器 #}[Sj-Vp 由于MMI星形耦合器中有四个输出通道,因此需要找到在教程2(教程2:创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述,这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 >,w\lf9 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度,请执行以下步骤。 T[Z <bW~0 步骤 操作 rd&*j^? 1) 绘制和编辑第一个波导 nZ2mEt a. 起始偏移量: /t$+Af,} 水平:0 W%Y.SP$Y 垂直:0 f"5lOzj`C b. 终止偏移: v7{ P].M 水平:100 D-TNFYYy2 垂直:0 "VT{1(]t 2) 绘制和编辑第二个波导 Z/V`Z* fy a. 起始偏移量: .RQ Xxw
水平:100 .G5NGB 垂直:0 rQd1Ch b. 终止偏移: tMD^$E"C 水平:1420 2- Npw%; 垂直:0 p?Z+z c. 宽:48 ;w>3,ub(0 3) 单击OK,应用这些设置。 hQg,#r(JE4 ~cO?S2!W %KabyvOl) 4. 插入输入平面 )[y!m9Vn 要插入输入平面,请执行以下步骤。 mC{!8WC@k 步骤 操作 dyQ<UT 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 |!4BWt 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 z. _C*c 输入平面出现。 :)A.E}G 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 ~# h E&nq 出现“输入平面属性”对话框(参见图1)。 1}n)J6m 4) 确保在“全局数据”选项卡中,Z位置:偏移量,值为2.000。图1.输入平面属性对话框 q_9N+-?{7 >0g`U 5. 运行仿真 {|Mxvp*Hg 要运行仿真,请执行以下步骤。 0]:*v? 步骤 操作 @}zS/LO 1) 从“模拟”菜单中,选择“计算2D各向同性仿真”。 MQ9M%> 将显示“模拟参数”对话框。 7)8rc(58 2) 在“全局数据”选项卡上,在“显示数量”中键入250。 QN2*]+/h 3) 单击2D选项卡,确保选择了以下设置(参见图3)。 ;i-D~Np| &geOFe}R 偏振:TE -tK;RQYax 网格-点数= 600 32iWYN BPM求解器:Padé(1,1) xvdnEaWe$ 引擎:有限差分 By"^ Z`EP4 方案参数:0.5 G(7\<x: 传播步长:1.55 (zM+7tJH 边界条件:TBC #RLch 注意:有关仿真参数的更多信息,请参阅OptiBPM用户指南。 TeGLAt
4Rrw8Bw ...... 3-9J"d! HAI1%F236 QQ:2987619807 1v[#::Bs
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