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在完成教程1、2和3后,你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序: A=8%2UwI • 生成材料 _Q XC5i • 插入波导和输入平面 Msj(>U&}+ • 编辑波导和输入平面的参数 h`Ld%iN\ • 运行仿真 6! `^}4 • 选择输出数据文件 >1luLp/,$ • 运行仿真 ndW]S 7 • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 {vCB$@/o pjG/` 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上,对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息,可参阅之前课程中提供的操作。 cV8Bl="gqe ~4-:;8a 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2:创建一个简单多模干涉星型(下文简称为MMI)耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下: t5t!-w\M$+ • 定义MMI星型耦合器的材料 B?M&j • 定义布局设置 a6Zg~>vX • 创建MMI星形耦合器 \N3A2L)l • 运行模拟 >+}yI}W;e • 查看最大值 )>-94xx| • 绘制输出波导 :c03"jvYE • 为输出波导分配路径 =(]yl_ • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 :{7gZ+*
• 添加输出波导并查看新的仿真结果 vG X
L'k • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 _m0B6?KJ 1. 定义MMI星型耦合器的材料 dV/ ^@[ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 faTp|T`nY 步骤 操作 `IC2}IiF 1) 创建一个介电材料: Go;fQ yG 名称:guide Ec2?'*s 相对折射率(Re):3.3 <D}yqq@| 2) 创建第二个介电材料 Uw!N;QsC 名称: cladding qnO>F^itF 相对折射率(Re):3.27 qS|ns'[ 3) 点击保存来存储材料 WR:I2-1 4) 创建以下通道: bX*>Zm 名称:channel X0FTD':f 二维剖面定义材料: guide p)&Yr 5 点击保存来存储材料。 ^uCZO a8w/#!^34 2. 定义布局设置 Al}D~6MD 要定义布局设置,请执行以下步骤。 TmEJ!)* 步骤 操作 >U7{EfUJdx 1) 键入以下设置。 Bjc<d,]
a. Waveguide属性: Ns2<wl- 宽度:2.8 'lWgHmE 配置文件:channel {e]ktj#+{ b. Wafer尺寸: j3t,Cx 长度:1420 k`(Cwp{Oc 宽度:60 ORDVyb_x c. 2D晶圆属性: %mF Z!( 材质:cladding Fo.p}j+> 2) 点击OK,将此设置应用到布局中。 ][?@)) (qyT,K8 3. 创建一个MMI星型耦合器 ^.gBHZ 由于MMI星形耦合器中有四个输出通道,因此需要找到在教程2(教程2:创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述,这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 07
E9[U[ 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度,请执行以下步骤。
>{1 i8 b@ 步骤 操作 jt?DogYx 1) 绘制和编辑第一个波导 ,^n5UA`PK a. 起始偏移量: !+o`,K TYp 水平:0 xf|vz|J?y 垂直:0 nhImO@Q: b. 终止偏移: ;
8B)J<y 水平:100 :jHDeF.A 垂直:0 _C4N6YdU 2) 绘制和编辑第二个波导 s2kom) a. 起始偏移量: lHI?GiB@ 水平:100 T*1 `MIkv 垂直:0 -qs
R,H b. 终止偏移: +@mgb4_ 水平:1420 ]!'}{[1} 垂直:0 qe_qag9 c. 宽:48 .~Gt=F+`s 3) 单击OK,应用这些设置。 o |"iW" + $ISx0l~ fN_Ilg)t?5 4. 插入输入平面 6` 4, 要插入输入平面,请执行以下步骤。 ?'/#Gt` 步骤 操作 u"5
hlccH 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 /oC@:7 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 #>_5PdO 输入平面出现。 j21>\K!p 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 p%#=OtkC 出现“输入平面属性”对话框(参见图1)。 Sau?Y 4) 确保在“全局数据”选项卡中,Z位置:偏移量,值为2.000。图1.输入平面属性对话框 @!KG;d:l h=o%\F4 5. 运行仿真 *wl&Zzx 要运行仿真,请执行以下步骤。 $,8}3R5} 步骤 操作 >k9W+mk 1) 从“模拟”菜单中,选择“计算2D各向同性仿真”。 +@BjQ|UZ 将显示“模拟参数”对话框。 ojbms>a 2) 在“全局数据”选项卡上,在“显示数量”中键入250。 q c DJ 3) 单击2D选项卡,确保选择了以下设置(参见图3)。 ]&_z@Z.i <7*d2 偏振:TE *}RV)0mif 网格-点数= 600 9?I?;l{ BPM求解器:Padé(1,1) Xmv^O 引擎:有限差分 EY}*}- 3 方案参数:0.5 f5P@PG]{ 传播步长:1.55 ?F^O7\rw 边界条件:TBC 'q7&MM'oS^ 注意:有关仿真参数的更多信息,请参阅OptiBPM用户指南。 ;.I,R NM {1L{ ...... <o: O<p@6 +L-(Lz[p QQ:2987619807 W.7XShwd*2
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