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在完成教程1、2和3后,你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序: RB[/q: • 生成材料 teAukE=} • 插入波导和输入平面 :<H8'4> • 编辑波导和输入平面的参数 8fh4%#,C% • 运行仿真 Pubv$u2 • 选择输出数据文件 >VP5vkv= • 运行仿真 6x/s|RWL1 • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 9p4y>3 Hs$'0: 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上,对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息,可参阅之前课程中提供的操作。 0'`S, a$}NW. 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2:创建一个简单多模干涉星型(下文简称为MMI)耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下: tF^g<)S;t • 定义MMI星型耦合器的材料 W!91tzs: • 定义布局设置 ET. dI.R8 • 创建MMI星形耦合器 myIe_k,F • 运行模拟 xz8G}Ku • 查看最大值 0\Y1}C • 绘制输出波导 nM8[ • 为输出波导分配路径 pw\P<9e= • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 gqfDacDJL • 添加输出波导并查看新的仿真结果 a ~opE!|m • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 N'QqJe7Z 1. 定义MMI星型耦合器的材料 ,5{$+ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 FAw1o 步骤 操作 {~_Y _- 1) 创建一个介电材料: &n>7Ir 名称:guide /OG zt 相对折射率(Re):3.3 gfN2/TDC]P 2) 创建第二个介电材料 t"|DWC* 名称: cladding 45<y{8 相对折射率(Re):3.27 9 I{/zKq 3) 点击保存来存储材料 G>K@AW# 4) 创建以下通道: e>AXXUEf 名称:channel D:9
2\l 二维剖面定义材料: guide 8I.VJ3Q
5 点击保存来存储材料。 Us=eq "eu kAo.C Nj7 2. 定义布局设置 Xb,T{.3@ 要定义布局设置,请执行以下步骤。
oL-2qtv 步骤 操作 {$33B'wk 1) 键入以下设置。 Q|c|2byb a. Waveguide属性: to> 宽度:2.8 4-^[%&>} 配置文件:channel v+6e;xl8 b. Wafer尺寸: 2+Yb
7 uI, 长度:1420 |##GIIv;i 宽度:60 cU8x Upq c. 2D晶圆属性: )/>A6A: 材质:cladding
^2C>L} 2) 点击OK,将此设置应用到布局中。 S-c ^eLzQ g`[$XiR 3. 创建一个MMI星型耦合器 J#
EP% 由于MMI星形耦合器中有四个输出通道,因此需要找到在教程2(教程2:创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述,这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 #]Y*0Wzpfn 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度,请执行以下步骤。 snC/H G7 步骤 操作 {v,)G)obWw 1) 绘制和编辑第一个波导 |<c
WllN a. 起始偏移量: 9 <\`nm 水平:0 h/m6)m.D 垂直:0 [>Fm[5x b. 终止偏移: pW|u P8# 水平:100 Zh'&-c_J 垂直:0 r4Q|5kT*i 2) 绘制和编辑第二个波导 L'E^c,-x~ a. 起始偏移量: f<=Fe:1. 水平:100 BC7 7<R!E) 垂直:0 ej^3YNh& b. 终止偏移: Q2QY* A 水平:1420 Gu;OVLR| 垂直:0 7lA:)a_!] c. 宽:48 v~=\H 3) 单击OK,应用这些设置。 r,NgG!zq< fk{0d Dl,`\b@Fw3 4. 插入输入平面 N+g@8Q2s;5 要插入输入平面,请执行以下步骤。 [po "To 步骤 操作 fY W|p<Q0 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 ."6[:MF 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 5o0Ch 输入平面出现。 SSA W52xC 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 z]@6fM[ 出现“输入平面属性”对话框(参见图1)。 Vw~\H Gs/~ 4) 确保在“全局数据”选项卡中,Z位置:偏移量,值为2.000。图1.输入平面属性对话框 {y-^~Q"z -t-tn22 5. 运行仿真 ^4pto$#@O: 要运行仿真,请执行以下步骤。 @S3f:s0~D 步骤 操作 $>q@SJ1q 1) 从“模拟”菜单中,选择“计算2D各向同性仿真”。 a`c:`v2o 将显示“模拟参数”对话框。 j-b* C2l 2) 在“全局数据”选项卡上,在“显示数量”中键入250。 D1T@R)j 3) 单击2D选项卡,确保选择了以下设置(参见图3)。 ^jSsa l"pN90B4 偏振:TE ;_+uSalt 网格-点数= 600 l=={pb BPM求解器:Padé(1,1) MesRa( 引擎:有限差分 lpmJLH.F 方案参数:0.5 #wR;|pN 传播步长:1.55 8e2?tmWM 边界条件:TBC A :e;k{J 注意:有关仿真参数的更多信息,请参阅OptiBPM用户指南。 j*R,m1e8 J/x2qQ$9 ...... {?8B,G2r z`3( ,V QQ:2987619807 MMQ;mw=^]
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