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在完成教程1、2和3后，你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序： k . CHMl] • 生成材料 B\ a#Vtyut • 插入波导和输入平面 BlvNBB1^ • 编辑波导和输入平面的参数 M[ZuXH} • 运行仿真 DUK.-| a7 • 选择输出数据文件 BA+:}81&<q • 运行仿真 r]vD] • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 G$HLta sw@* N 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上，对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息，可参阅之前课程中提供的操作。 Y)X58_En r
, ,A% 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2：创建一个简单多模干涉星型（下文简称为MMI）耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下： &J w 4^ob • 定义MMI星型耦合器的材料 M B,P#7| • 定义布局设置 hrr ;=q$ • 创建MMI星形耦合器 k^PqB+P! • 运行模拟
YErn50L • 查看最大值 8E!I9z • 绘制输出波导 T6ZJ SKM • 为输出波导分配路径 l C|{{?m • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ]Zf@ NY • 添加输出波导并查看新的仿真结果 Eh)VU_D • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果
K{00 V# 1. 定义MMI星型耦合器的材料 i#~1|2 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 #2!M+ S 步骤 操作 D|D1`CIM 1) 创建一个介电材料： cMEM}Qh
T 名称：guide J}.y+b>8\ 相对折射率(Re)：3.3 ptmPO4f 2) 创建第二个介电材料 = *A_{u;E 名称： cladding g loo] .z 相对折射率(Re)：3.27 =c8U:\0 3) 点击保存来存储材料 )LYj,do 4) 创建以下通道： $ u4esg 名称：channel ,b@0Qa" 二维剖面定义材料: guide g/q$;cB 5 点击保存来存储材料。 0OMyE9jJJ
dM wVgc: 2. 定义布局设置 V6d*O`
要定义布局设置，请执行以下步骤。 ~j\/3;^s
步骤 操作 XfxNyZsy&> 1) 键入以下设置。 @$79$:q N a. Waveguide属性： Ffm Q$>S 宽度：2.8 '}5}wCLA 配置文件：channel Sg<''pUh b. Wafer尺寸： #1zWzt|DW 长度：1420 !+M H ?A 宽度：60 K (plzQ3 c. 2D晶圆属性： NG_O I*|~ 材质：cladding ANCgch\ 2) 点击OK，将此设置应用到布局中。 ' U)~|(\i
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c]f o 3. 创建一个MMI星型耦合器 |"P5%k#6^> 由于MMI星形耦合器中有四个输出通道，因此需要找到在教程2(教程2：创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述，这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 *k'9 %'< 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度，请执行以下步骤。 7@Di nA! 步骤 操作 T"Q4vk,3*J 1) 绘制和编辑第一个波导 BsB}noN } a. 起始偏移量： ,oP-:q!PC 水平：0 ;8g#"p*& 垂直：0 va; d[D,
b. 终止偏移： wrn[q{dX 水平：100 _jZDSz|Y b 垂直：0 X5U! 25d] 2) 绘制和编辑第二个波导 y::;e#. a. 起始偏移量： SQ5*?u\ 水平：100 D 2!ww{t 垂直：0 fV} \ b. 终止偏移： =10t3nA1$ 水平：1420 x el&8 ` 垂直：0 @-b}iP<T c. 宽：48 jd2Fh) :q 3) 单击OK，应用这些设置。 V6$v@Zq [1nI%/</>
5Cy)#Z{
4. 插入输入平面 <tF]>(|M
要插入输入平面，请执行以下步骤。 v,|;uc+
步骤 操作 (I[o;0w
1) 从绘制菜单中选择输入平面。 LwGcy1F.
2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 ;5Sr<W\:;
输入平面出现。 *qb `wg
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 74Q?%X
出现“输入平面属性”对话框（参见图1）。 (Z,,H1L
4) 确保在“全局数据”选项卡中，Z位置：偏移量，值为2.000。图1.输入平面属性对话框 D}"GrY 5
e('c 9 Y
5. 运行仿真 { J0^S
要运行仿真，请执行以下步骤。 ZTmdS
步骤 操作 RPiCXpJv&
1) 从“模拟”菜单中，选择“计算2D各向同性仿真”。 sa#"@j)
将显示“模拟参数”对话框。 KFV]2mFN
2) 在“全局数据”选项卡上，在“显示数量”中键入250。 ~ !A,I 9
3) 单击2D选项卡，确保选择了以下设置（参见图3）。 Pucf 0 #
9i`LOl:;
偏振：TE `P z !H
网格-点数= 600 <
