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在完成教程1、2和3后,你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序: Hr^3`@}#1 • 生成材料 cj$d=k~ • 插入波导和输入平面 , jU5|2 • 编辑波导和输入平面的参数 ]{GDS! ) • 运行仿真 dg_G s>?2 • 选择输出数据文件 p*20-!{A • 运行仿真 j.%K_h?V5 • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 vUesV%9hq ++jAz<46 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上,对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息,可参阅之前课程中提供的操作。 tU:EN;H kXrlSaIc 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2:创建一个简单多模干涉星型(下文简称为MMI)耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下: y >+mc7n • 定义MMI星型耦合器的材料 mbxbEqz • 定义布局设置 ba@ctkCW • 创建MMI星形耦合器 KzV 2MO-$ • 运行模拟 oM1Qh? • 查看最大值 NxA)@9Q • 绘制输出波导 _S`o1^Ad • 为输出波导分配路径 S1S;F9F • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 e<cM[6H'D • 添加输出波导并查看新的仿真结果 u0Nm.--;_3 • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 Ig6T g ? 1. 定义MMI星型耦合器的材料 @~ETj26U' 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 U;q];e:,=} 步骤 操作 AUe# RP 1) 创建一个介电材料: 5d\q-d 名称:guide ~*W!mlg 相对折射率(Re):3.3 ye}p~& 2) 创建第二个介电材料 D5,P)[ 名称: cladding c>"cX& 相对折射率(Re):3.27 7 msAhz 3) 点击保存来存储材料 %9oYw9H! 4) 创建以下通道: o*rQP!8,oy 名称:channel "vZ!vt#'Y 二维剖面定义材料: guide pmWr]G3,* 5 点击保存来存储材料。 OTDg5:> }Gyqq6Aeb 2. 定义布局设置 y|wlq3o 要定义布局设置,请执行以下步骤。 67SV~L#%O 步骤 操作 `n5"0QRd 1) 键入以下设置。 uocHa5J a. Waveguide属性: :Bu2,EL*O 宽度:2.8 f"1>bW>R+ 配置文件:channel e]=lKxFh&l b. Wafer尺寸: jz58E} 长度:1420
Q6'x\ 宽度:60 03E4cYxt5 c. 2D晶圆属性: \;u@ " 材质:cladding ,Uhb 2) 点击OK,将此设置应用到布局中。 V'*~L\;pU l>*"mh 3. 创建一个MMI星型耦合器 fjk\L\1 由于MMI星形耦合器中有四个输出通道,因此需要找到在教程2(教程2:创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述,这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 :+Om]#`Vls 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度,请执行以下步骤。 D^%^xq)E 步骤 操作 *}k;L74| 1) 绘制和编辑第一个波导 YW u cvw& a. 起始偏移量: $Iv2j">3) 水平:0 ,1OyN]f3 垂直:0 w}Uhd, b. 终止偏移: Mj[f~ 水平:100 Mi'8
~J 垂直:0 EnOU?D 2) 绘制和编辑第二个波导 MUfG?r\t a. 起始偏移量: mKo C.J 水平:100 !aO` AC=5u 垂直:0 b4^`DHRu6 b. 终止偏移: ;qH O OT 水平:1420 7qTE('zt 垂直:0 hW!)w c. 宽:48 ZaNQpH. 3) 单击OK,应用这些设置。 T^J >ZDA -'~LjA( ,|&9M^ 4. 插入输入平面 x#Sqn# 要插入输入平面,请执行以下步骤。 ]Oq[gBL"A 步骤 操作 ]?*I9 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 S[WG$ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 C8z{XSo 输入平面出现。 23~Sjr
3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 [JF150zr 出现“输入平面属性”对话框(参见图1)。 xhcK~5C 4) 确保在“全局数据”选项卡中,Z位置:偏移量,值为2.000。图1.输入平面属性对话框 sc,Xw:YO _h}kp\sps 5. 运行仿真 e=O,B8)_ 要运行仿真,请执行以下步骤。 "
Hd|7F'u= 步骤 操作 x?&$ ci 1) 从“模拟”菜单中,选择“计算2D各向同性仿真”。 xyI}y(CN1 将显示“模拟参数”对话框。 "etPT@gF 2) 在“全局数据”选项卡上,在“显示数量”中键入250。 O)vp~@| 3) 单击2D选项卡,确保选择了以下设置(参见图3)。 w*R$o eq UME 偏振:TE F_CYYGZ 网格-点数= 600 !"Oh36 BPM求解器:Padé(1,1) o"*AtGR+" 引擎:有限差分 t. ;LnrY 方案参数:0.5 r?/'!!4 传播步长:1.55 i-6Z"b{ 边界条件:TBC Qjb:WC7he 注意:有关仿真参数的更多信息,请参阅OptiBPM用户指南。 p|! 9Q"'"b*?z ...... <)3u6Vky9 kBffF@{
QQ:2987619807 @ta7"6p-i@
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