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在完成教程1、2和3后,你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序: bYh9sO/l • 生成材料 _#qe# • 插入波导和输入平面 TL)O- • 编辑波导和输入平面的参数 L$Z(+6m5 • 运行仿真 yNJAWM7 • 选择输出数据文件 eE/%6g • 运行仿真 C@HD(..# • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 NyI;v= 8h?X!2Nq 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上,对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息,可参阅之前课程中提供的操作。 #DP7SO ^,2c- 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2:创建一个简单多模干涉星型(下文简称为MMI)耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下: dNVv4{S • 定义MMI星型耦合器的材料 0%)5.=6 • 定义布局设置 ]s|lxqP • 创建MMI星形耦合器 CYB=Uq, • 运行模拟 +~|AT+|iI • 查看最大值 >e8JK*Blz • 绘制输出波导 s5Fr)q// ! • 为输出波导分配路径 }w!ps{* • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 T2Z[AvNXFk • 添加输出波导并查看新的仿真结果 n'64;J5 • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 A1,4kqmE 1. 定义MMI星型耦合器的材料 J/4y|8T/y 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 c%YDt` 步骤 操作 5&4F,v[zp 1) 创建一个介电材料: ~2N-k1'-' 名称:guide
'=TTa 相对折射率(Re):3.3 U
%:c],Fk 2) 创建第二个介电材料 gB CC 名称: cladding hBCR]='] 相对折射率(Re):3.27 Ww87 3) 点击保存来存储材料 T=?
bdIl 4) 创建以下通道: u"F;OT\>g 名称:channel *=^[VV! 二维剖面定义材料: guide ,e ELRzjl 5 点击保存来存储材料。 cy:;)E>/ owMuT^x? 2. 定义布局设置 Rx.
rj~ 要定义布局设置,请执行以下步骤。 C/+nSe. 步骤 操作 fJ :jk6@ 1) 键入以下设置。 f0F#Yi{fw a. Waveguide属性: 2v|qLfe1 宽度:2.8 ur xqek 配置文件:channel 9c5!\m1 b. Wafer尺寸: FYeEG 长度:1420 ;2W2MZ!TF 宽度:60 mahi7eU
P c. 2D晶圆属性: Fi{mr*} 材质:cladding w:tGPort 2) 点击OK,将此设置应用到布局中。 $wXih#7 ],V
kp 3. 创建一个MMI星型耦合器 >DmRP7v
由于MMI星形耦合器中有四个输出通道,因此需要找到在教程2(教程2:创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述,这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 aT/KT,! 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度,请执行以下步骤。 v =+k"gm6 步骤 操作 !`h~`-]O 1) 绘制和编辑第一个波导 I;iR(Hf)?q a. 起始偏移量: .5k^f5a 水平:0 Y_shy6"KH 垂直:0 g Np-f b. 终止偏移: B=x~L 水平:100 sRil>6QR 垂直:0 }Ch[|D=Wd6 2) 绘制和编辑第二个波导 xf UhSt a. 起始偏移量: ks^|> 水平:100 i~AJ.@
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垂直:0 o;'4c b. 终止偏移: K-Y*T}? 水平:1420 E#~2wqK 垂直:0 QW:Z[?39^ c. 宽:48 HU.1":.; 3) 单击OK,应用这些设置。 3 \9][S-B I9s$bRbT RQJ9MGw 4. 插入输入平面 ?ZM^%]/+ 要插入输入平面,请执行以下步骤。 Lj-{t% } 步骤 操作 Ty iU1, oO 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 qSCTFJ0 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 gNi}EP5> 输入平面出现。 VG#$fRrZ 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 n
K0hTQ 出现“输入平面属性”对话框(参见图1)。 iqlVlm>E 4) 确保在“全局数据”选项卡中,Z位置:偏移量,值为2.000。图1.输入平面属性对话框 oYGUjI Cg?I'1]o6 5. 运行仿真 m>+A*M8 要运行仿真,请执行以下步骤。 i!ds {`d 步骤 操作 t-a`.y 1) 从“模拟”菜单中,选择“计算2D各向同性仿真”。 GHqBnE{B 将显示“模拟参数”对话框。 A< |