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摘要 #1'q'f:7& 0O`Rh"O 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 q5e(~@(z<` HLPRTta. 6z U 概述 A9BoH[is7 ,ESli/6 g{}<ptx] •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 Y(7&3+'K •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 g tMR/P:S •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 ~v2(sRJ &M?b08
LZ_VLW9wE 61kSCu 衍射级次的效率和偏振 -9{N7H @Drl5C}+ %4!^AA% •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 d<j`=QH •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 _dk[k@5W{' •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 BE@(| U •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 Ff/Ap&0+ •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 Posz|u<x
>e6 OlIW de W1>yh^_ 光栅结构参数
AjcKz RDDA^U7y# R~a9}& •此处探讨的是矩形光栅结构。 KQ]sUNH •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 |A*4Fuc& •因此,选择以下光栅参数: bskoi;)u - 光栅周期:250 nm nrev!h - 填充系数:0.5 %zGv+H? - 光栅高度:200 nm 1ds4C:M+< - 材料n1:熔融石英 `x
_(EZ - 材料n2:TiO2(来自目录) I(R%j]LX& |33t 5}we JGvhw,g d]sqj\Q57 偏振状态分析 .gC.T`/m 9Xg7=(# GP4!t~"1 •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 k6(</uRj •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 dYD;Z<l •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 uQ_C<ii"W %b*N.v1+
jcj8w n5"oXpcIx 产生的极化状态 +zch e Wm-$l
-DHzBq=H #3_g8ni5X 00i MU 其他例子 &':C"_|&r yN`hW&K qVfn(rZ •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 D%3$"4M7! •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 64U|]gd$ D
ON.)F g9^\QYh! 3]kM&lK5\ 光栅结构参数 5%9Uh'y# UVlB= rAHP5dx: •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 U'F}k0h?\' •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 V]J"v#!{ •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 7)<Ib
j<M •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 q
6UZ`9&z
u(1m#xr8$ Jy}~ZY 光栅#1 R2~y<^.V`Y 3t+{~{Dj
m_Ed[h/I q
j21#q
. c3l(,5DtH •仅考虑此光栅。 m4OnRZYlw •假设侧壁表现出线性斜率。 dpS@: •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 WG A&Lr •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 {9Qc\Ij bf.+Ewb( /f?;,CyI 假设光栅参数: \9p.I?= •光栅周期:250 nm (@*|[wN •光栅高度:660 nm zP0<4E$M` •填充系数:0.75(底部) "zNS6I?rzE •侧壁角度:±6° 0$`pYW] •n1:1.46 lU
Zj •n2:2.08 NVkYm+J# ZMMx)}hS 光栅#1结果 S_Nm?;P f2gh|p` nT=%3_. •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 %KO8i)n •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 ~ u1~% •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 |7,$.MK-@ }OcrA/ p@Os H(n
fHp.3 光栅#2 "Y^Fn,c Rh6CV
Q`J U[nY j^b&Q : I";&7C •同样,只考虑此光栅。 @qcUxu 4 •假设光栅有一个矩形的形状。 AFsieJ •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 K'8?%&IQ 假设光栅参数: .yUD\ZGJu •光栅周期:250 nm %2D'NZS •光栅高度:490 nm qOpwl*?x+ •填充因子:0.5 6v:L8t$" •n1:1.46 )cQ KR4x0^ •n2:2.08 !p\
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光栅#2结果 |QbCFihn S`mB1(h R$}Hv •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 D6e?J. •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 [8tpU&J •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 RjP]8tH& 7?k3jDK
U<XfO'XJ 文件信息 aW|=|K 9b-4BON{P
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