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    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-06
    摘要 #1'q'f:7 &  
    0O`Rh"O  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 q5e(~@(z<`  
    HLPRTta.  
    6z U  
    概述 A9BoH[is7  
    ,ESli/6  
    g{}<ptx]  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 Y(7&3+'K  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 gtMR/P:S  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 ~v2(sRJ  
    &M?b 08  
    LZ_VLW9w E  
    61kSCu  
    衍射级次的效率和偏振
    -9{N7H  
    @Drl5C}+  
    %4!^AA%  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 d<j`=QH  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 _dk[k@5W{'  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 BE@(| U  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 Ff/Ap&0+  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 Posz|u<x  
    >e6OlIW  
    de W1>yh^_  
    光栅结构参数 Aj cKz  
    RDDA^U7y#  
    R~a9}&  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 KQ]sUNH  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 |A*4Fuc&  
    •因此,选择以下光栅参数: bskoi;)u  
    - 光栅周期:250 nm nrev!h  
    - 填充系数:0.5 %zGv+H?  
    - 光栅高度:200 nm 1ds4C:M+<  
    - 材料n1:熔融石英 `x _(EZ  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) I(R%j]LX&  
    |33t5}we  
    JGvhw,g  
    d]sqj\Q57  
    偏振状态分析 .gC.T`/m  
    9Xg7=(#  
    GP4!t~"1  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 k6(</uRj  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 dYD;Z<l  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 uQ_C<ii"W  
    %b*N.v1+  
    jcj8w  
    n5"oXpcIx  
    产生的极化状态 +zche  
    Wm-$l  
    -DHzBq=H  
    #3_g8ni5X  
    00i MU  
    其他例子 &':C"_|&r  
    yN`hW&K  
    qVfn(rZ  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 D%3$"4M7!  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 64U|]g d$  
    D ON.)F  
    g9 ^\Q Yh!  
    3]kM&lK5\  
    光栅结构参数 5%9Uh'y#  
    UVl B=  
    rAHP5dx:  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 U'F}k0h?\'  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 V]J"v#!{  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 7)<Ib j<M  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 q 6UZ`9&z  
    u(1m#xr8$  
    Jy}~ZY  
    光栅#1 R2~y<^.V`Y  
    3t+{~{Dj  
    m_Ed[h/I  
    q j21#q .  
    c3l(,5DtH  
    •仅考虑此光栅。 m4OnRZYlw  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 dpS@:  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 WGA&Lr  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 {9Qc\Ij  
    bf.+Ewb(  
    /f?;,CyI  
    假设光栅参数: \9p.I?=  
    •光栅周期:250 nm (@*|[wN  
    •光栅高度:660 nm zP0<4E$M`  
    •填充系数:0.75(底部) "zNS6I?rzE  
    •侧壁角度:±6° 0$`pYW]  
    •n1:1.46 lU Zj  
    •n2:2.08 NVkYm+J#  
    ZMMx)}hS  
    光栅#1结果 S_Nm?;P  
    f2gh|p`  
    nT=%3_.  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 %KO8 i)n  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 ~u1~%  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    |7,$.MK-@  
    }O crA/  
    p@Os  
    H(n fHp.3  
    光栅#2 "Y^Fn,c  
     Rh6CV  
    Q`J U[nY  
    j^b &Q  
    :I";&7C  
    •同样,只考虑此光栅。 @qcUxu4  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 AFsieJ  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 K'8?%&IQ  
    假设光栅参数: .yUD\ZGJ u  
    •光栅周期:250 nm %2D'NZS  
    •光栅高度:490 nm qOpwl*?x+  
    •填充因子:0.5 6v:L8 t$"  
    •n1:1.46 )cQ KR4x0^  
    •n2:2.08
    !p\ @1?  
    aDz% %%:r  
    光栅#2结果 |QbCFihn  
    S`mB1(h  
    R$}Hv  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 D6e?J.  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 [8tpU&J  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 RjP]8tH&  
    7?k3jDK  
    U<XfO'XJ  
    文件信息 aW|=|K  
    9b-4BON{P  
    %CQa8<q  
    nw*a?$S3  
    tD}{/`{_t  
    QQ:2987619807 c+Z dfdR  
     
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