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摘要 trlZ vO8CT-) 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 iM~qSRb#mJ $;j{?dvm.
}M &hcw< 8)="Ee 光栅详细说明 .|GnTC q 0[1/#0$
rXVRX#Lh ]
jycg@=B •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 TJs ~}&L •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 **F-#", ,m;G:3}48 光栅阶次分析器设置 Q`BB@E #fxdZm, •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 ,<fs+oi •可以指定各种输出选项。 hc]5f3Z •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 H'x_}y 8s>OO&
V0y_c^x eI+p 常规设置 cTLW}4m%g <ugy-vSv
~4M?[E& =p&uQ6.i+ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 rG{,8* •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 [+b&)jN*2 Sxcp
[g; 单个阶次设置 }N@+bNh~ `,)%<}
mxl"Y&l2< idNg&' •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 e%KCcU •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 +EM^ Ia-nA|LBxI 单个阶次设置 J;Veza `yrJ }f \(ju0qFqH vp`s< ;CA
h2vD*W B q7Qbj 探测器标签页中的输出 YbuS[l8 "SU
O2-Gj
dU#}Tk <@+{EK'`q •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 =Y-mc#{8 •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 "ac$S9@~ '<&rMn 极坐标图中的输出 N
m@UM*D h3P ^W(=& O
718s\# `h$^=84 •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 NSQ#\:3:S •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 a
VIh|v Wh1'?# 极坐标图设置 OLyl.#J #~6au6LMC
| gP%8nh'C 1ika' •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 td(4Fw||1y •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 'klYGp #>O>=#Q 阶次汇集输出 yIma7H@=L 0R}F(tjw U t.#h=" •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 `*--vSi •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 b1-'q^M zfm#yDf 阶次汇集设置 /@+[D{_Fw ?eri6D,86w
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