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摘要 V"z0]DP5~ : nn'> 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 #:X:~T N[%IrN3
Spb'jAKj' c_i;' 光栅详细说明 G5Nub9_*X Y2fs$emv
01b0;| 5Dd;?T> •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 qIl@,8T •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 m"5gzH g|Cnj 光栅阶次分析器设置 &+p07 `CB TZG09 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 =6hf'lP •可以指定各种输出选项。 Yi3DoaS;" •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 60m1
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wrWWXOZ4 43YusUv 常规设置 fQ@["b DBRTZES
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Zc;.jJ •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 6[i-Tl •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 "Y6f.rB sSxra!tv4 单个阶次设置 6 [IiJhVL {chl+au*l
H"sey +- &j$k58mX •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 UaB!,vs3st •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 L))(g][; S;
>_9 单个阶次设置 < |