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摘要
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=^ IFfB3{J 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 -N~eb^3[c }10ZPaHjl+ nYbI =_- HHcWyu 光栅详细说明 mcqLN5 IMtfi(Y%F 4J${gcju \4 5%K|
•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 X[r\ Qa •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 7t~12m8x QkU6eE<M* 光栅阶次分析器设置 E[2>je %kSpMj| •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 &h_do8R •可以指定各种输出选项。 6< O|,7=_ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 fA{t\ aq-R#q h<I C
d'! gOL-b9W 常规设置 Q8> }G53" LZF%bJv O|I)HpG; •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 !aQQq[ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 v3]mZ}W$ lPO+dm 单个阶次设置 \6WVs>z }{S
f* AaX][2y8 W&`{3L •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 c|KN@)A •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 |';oIYs|$ )E>nr
Z 单个阶次设置 MR`lF-|a| |p\vH#6y+ [ 30ta<- U1 ;<NUg Bt[Wh@ %&Q9WMo 探测器标签页中的输出 OuuN~yC 8k|&&3_[?
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_(1Shm •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 @4xV3Xkf&C •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 &&$,BFY4 9_ru*j\ 极坐标图中的输出 2vh@KnNU {#C)S&o)6 f<;w1sM\ Y6w7sr_R •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 =
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*g •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 rGIf/=G^r )p!.V(, 极坐标图设置 3[;fO_ R vzH"O=
A\:u5( ]21`x •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 "eG@F •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 6i`Y]\X~# $LOwuvu> 阶次汇集输出 _-c1" Kl %|AXVv7IN> M,we9];N •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 up==g •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 [
@ASAhV^+ V7(-<})8 阶次汇集设置 Or3GrZ!H -50Qy[0. " =;A>1g$ Bj*\)lG<
WNo7`)Kx 6QM$aLLP? 阶次汇集设置 P1qQ)-J f(UB$^4 PP& |