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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Vx7Dl{?{' UVoLHd 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 3>@qQ_8%~ x JF6l!` 所需工具：Grating Toolbox Basic faL^=CAe n[MIa]dK 相关Tutorials：G.001; G.014 MRVz:g\mi 建模任务 g_Dt} !A\B # iqhm,u7D 理想平面波照射 %9 -#` F)<G]i8n~ (fk, 80  yZ(Nv $[5 9^
*ZH1 eM1;Nl 镀膜倾斜光栅 目标平面 +{Vwz ixJ20A 7 周期：10um }r<@o3t 厚度：10um SU#P.y18% 倾斜角度：20度 ?C>VB+X}y n.8A
Ka6 光栅的参数 oN6*WN t J M-qxD"VtV= —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 W|-N>,G —填充因子 2—后面的介质 X^_+% U —膜层厚度 3—膜层材料 Bg+]_:<U —光栅厚度 L ugk`NUvF j@?[vi kO`3ENN  (.XDf3
+q_lYGTiO v[yTk[zd0 设置层数和转折点 w<F;&' ;@h lTO M/^L m5; [ , He  2 设置层数和转折点以确定膜层 5N3!!FFE SeJFZ0p xP/1@6]_Je 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ':R3._tw\ ?D^,K`wY=B [sY1|eX 实现可编程光栅 =* >4 Gh
i 7%"\DLA :_YG/0%I  gc8PA_bFz
Y /ac}q g
/ @yK 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） _d=&9d#=\  d_7Xlp@ zQj%ds: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） !%\To (r[ H{A| ~V) 't%%hw-m} w3bH|VnU8;  <%#y^_ [.Wt,zrE 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） * =0r>]  #M9D"
<pn} dVG UhXN 6 2 双击Data Series Diagram S{)n0/_ Am?Hkh2 采样结果 NU nc"@  z &vms
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. #`L}. >/`c mNmb
QQ：2284816954 备注：光学
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