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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 "9X1T] Jbn^G7vH<6 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) q&2L@l3A 8/<+p? 3p> 所需工具:Grating Toolbox Basic ENy$sS6[D vcC" 相关Tutorials:G.001; G.014 ~~3*o 建模任务 GmH`ipi 9Cs/B*3 )b 理想平面波照射 'Ll'8 ps nyL$z-I) *Ksk1T+> @:}l a +xS<^;
K SJ Ko 镀膜倾斜光栅 目标平面 -_M': Gc_KS'K@$ 周期:10um >eWORf>7 厚度:10um Z^c\M\`7 倾斜角度:20度 k'NP+N<M aA]wFZ 光栅的参数 Pa'N)s< jdkqJ4&i —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 >avkiT2 —填充因子 2—后面的介质 f\?1oMO\ —膜层厚度 3—膜层材料 oDWNOw —光栅厚度 9
^=kt 2[ 0j2mTF(C BP@V:z %<|cWYM="z #~4;yY\$I PPde!}T$ 设置层数和转折点 sJMpF8
^O& y;5 1'H!S%fS 2 设置层数和转折点以确定膜层 uR.`8s| X o[GD`t 5cb8=W- 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 -b)3+#f s@p:XO 6]mAtA`Y 实现可编程光栅 w~3z); U#%+FLX@w o1k+dJUd (
j:eky eH~T PH 2t?Vl%< 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) lQv(5hIm ,hZ?]P& ]TN/n%\ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) o*3\xg yH9&HFDp $wbIe"| !b$]D?=} wRZS+^hx /]of@
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Wiyiq )^ q.j$]?PQ L\R(//V 2 双击Data Series Diagram 1@9M[_<n5 >*\yEH9" 采样结果 ZiRCiQ/? x`I"%pG 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. ND/oKM+? cqT%6Si QQ:2284816954 备注:光学
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