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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 $|N6I aZOn01v;!& 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） |&; ^?M 2}hJe+#v 所需工具：Grating Toolbox Basic De?VZ2o9" AkhG~L 相关Tutorials：G.001; G.014 T+kV~ w{ 建模任务 I Dohv[# J]F&4 O 理想平面波照射 Npp YUY xe@1H\ 7: ul~ux$a  .ZTvOm'mB^ {w@qFE' b 3:)z+#Uk6 镀膜倾斜光栅 目标平面 )GD7 rsC`< u,^CFws_ 周期：10um ` 2lS@ 厚度：10um F Y1iY/\Cn 倾斜角度：20度 sPH 2KwEv b9b Ivjm_ 光栅的参数 HI.*xkBXl& u#0s nw~)/ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 J=g)rd[` —填充因子 2—后面的介质 acd[rjeT —膜层厚度 3—膜层材料 M(%H —光栅厚度 [9m3@Yd' {v ?Q9
;tOs A #  yW_yHSx;
u` pTFy %yR XOt2( 设置层数和转折点 WtT;y|W dWAt#xII c;l!i-  2 设置层数和转折点以确定膜层 8&<mg;H, 70'OS:J=\ ~ao:9 ynY 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ?uWUs )9 1"h"(d A cgnNO& 实现可编程光栅 J'44j ;5& a<cwrDZ o! a,r3  d0El2Ct8
G m~([Ln{ M0V<Ay\%O 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7^ L  0At0`Q# (3Db}Hnn 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） f ULt4 !T 6R[ o Pe|Gfv\G ~?Zib1f)  'e M0i[E+` 2]!@)fio` 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） %a%xUce&-X  RvzZg %) WAu>p3
2 双击Data Series Diagram c -w #` j G8;p4 1 采样结果 CPz<iU  /% @;t@BK4
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. /jv/qk3i \"lz,bT
QQ：2284816954 备注：光学
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