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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 cT\I[9! ) %0Y=WYUH> 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） FW"^99mrnb \u&_sBLKV 所需工具：Grating Toolbox Basic
4^< 6r* r",]Voibd 相关Tutorials：G.001; G.014 $x6$* K(F 建模任务 Od?qz1 oDcKtB+2 理想平面波照射 *G UAO){' ^;c 16 +w 8R!jdA  CU7F5@+ j|tC@0A R<x'l=,D( 镀膜倾斜光栅 目标平面 -TZ p
FT" 2Dd|~{% 周期：10um *UW=Mdt 厚度：10um 2m>-dqg 倾斜角度：20度 N0>0z]4;q }oJAB1'k 光栅的参数 FWC5&tM bJ_cId8+ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 wDwH.~3! —填充因子 2—后面的介质 CB~Q%QLG —膜层厚度 3—膜层材料 tD Dy]==E —光栅厚度 hAj1{pA, 4Z*U}w) TPE:e)GO  z>R#H/h+
_ W3Y\cs,- g=T/_ 设置层数和转折点 d `d0 N5\ 1p'Le! e h R{X7J  2 设置层数和转折点以确定膜层 an2AX% u Dr;iQ kGP
tvd0 R$5} 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 h O
emt E| :!Q8"%w Z X~
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实现可编程光栅 6x=YQwn~ LEE C W_: abxD B  x7T + >
O--7<Q\ c<#<k}y 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） k
n8N,,+
 [Vf}NF ^zEE6i 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） A -CUv[pM tZ2e!<C oPKXZU(c U/;]zdP.K  j<"nO( %i)B*9k 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 69#8Z+dw7  `B8tmW# ;3C:%!CdA] 2 双击Data Series Diagram +rWZ|&r% +CM7C%U
采样结果 !MQ N H  x?D/.vrOY
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. > NV=LOO z1, tJH0
QQ：2284816954 备注：光学
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