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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 [_,as 0!T`.UMI 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） |A8@r& \^x{NV@v42 所需工具：Grating Toolbox Basic =p+y$ &mwd 0%4 相关Tutorials：G.001; G.014 8xAV[i 建模任务 ZK5nN9` .%zc m 理想平面波照射 \N,ox(f?gW l~c[} wv C=: <[_m`  c-a,__c?hx }LzBo \ 0 j.K?]f)h 镀膜倾斜光栅 目标平面 (_T{Z>C/J Yj %]|E- 周期：10um jD:
N)(( 厚度：10um %6UF%dbYH` 倾斜角度：20度 :xd ;=;q5 y&/IJst&aq 光栅的参数 a t: li d1b] +A G4 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 =>jp \A —填充因子 2—后面的介质 H_+n_r* —膜层厚度 3—膜层材料 / ^.|m3 —光栅厚度 *l2`- gbE +P/ kfY"
g^ AQBF  %TB(E<p`
Ih nBp 6p9 (]|h6aI'} 设置层数和转折点 8Zv``t61 RBX<>* ([>ecS@eO  2 设置层数和转折点以确定膜层 ] lB zp D B`*,L\LZ* %opBJ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 zM'eqo>!c> } M#e\neii ZN[<=w&(cB 实现可编程光栅 I \:WD" Q ;h.}N8W bO '\QtW9  Sj9fq*
aeqz~z2~8s "M I';6 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 9&6j u L  NvR{S /Z SN{z)q
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） jL VJ+mu >I5:@6
Z [$N_YcN? aSL`yuXu  HU3:6R& N8<J'7% 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） PwY / VGT  9}573M &w@]\7L,: 2 双击Data Series Diagram h$cm:uks ua\ t5M5 采样结果 S-Uod y  eA!o#O.
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. %!aU{E|@_ *$f=`sj
QQ：2284816954 备注：光学
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