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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 d <ES zBTxM 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） -u~:Gd*l0 ~yXDN4s 所需工具：Grating Toolbox Basic (K6vXq.;\\ D?Ol)aj? 相关Tutorials：G.001; G.014 Y=s v
建模任务 nw*a?$S 3 q2B'R 理想平面波照射 ueW/i TGG =9a]m ?en-_'}~a  ?^-fivzS> .u7grC C 4>Ht _B<< 镀膜倾斜光栅 目标平面 Gl{2"!mt= (mi=I3A( 周期：10um Gz\wmH&rVz 厚度：10um )knK 'H ( 倾斜角度：20度 KTo}xLT
*hFJI9G 光栅的参数 .{;RJ:O ]x& R=)P —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 (Y&gse1}! —填充因子 2—后面的介质 gQhYM7NP{5 —膜层厚度 3—膜层材料 2 WKIO|' —光栅厚度 2}P{7flDY _ !"[Zr h>xB"E|.  HC ktgL:E=
rWM5& M /NPx9cLW^ 设置层数和转折点 bS|h~B]rd
's"aPqF? E'+z.~+
 2 设置层数和转折点以确定膜层 )WE OqaR] 0Iyb} = =KDr 0|G 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 a(-t"OL\ SZxnYVY NS x-~) 实现可编程光栅 Ho%%voJBS qw|B-lT{: iy8Ln,4z(  *gwo.s
&u2m6 r>W .)t*!$5=N 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） $G /p[JG6-  z+_d* \ +WxD=|p; 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） sA"B/C|(g ^|h.B$_F, oC !z+< ncR ]@8  77]Fp(uI PC,I"l 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 1B{u4w7S4e  BQ gK< _ + I.{y 2 双击Data Series Diagram o8A(Cg} "GxQ9=Z 采样结果 tg2+Z\0)4g  -OgC. 6
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. !|,djo!N eN TKX
QQ：2284816954 备注：光学
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