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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 EUS^Gtc { 'cdi` 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Qm4cuV-0{ 1~vv<`- 所需工具：Grating Toolbox Basic ^9XAWj" h([qq<Lzs 相关Tutorials：G.001; G.014 A/.z. K 建模任务 'Me(qpsq Y^gIvX 理想平面波照射 V,eH E5C uKo4nXVtp 'h 7n}  9\i^.2& jyC>~}? #J%Fi).^) 镀膜倾斜光栅 目标平面 z_a7HCG2 Rr >"" 周期：10um %j ?7O00 @ 厚度：10um ,J'@e+jV 倾斜角度：20度 2hT H #DcK{|ty 光栅的参数 T7Yg^ -" (ce"ED`1 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 yj9 Ad*. —填充因子 2—后面的介质 LY!.u?D`P —膜层厚度 3—膜层材料 6
i]B8Ziq{ —光栅厚度 >{j uw& Uu j,#R? Ig =eG:Scoug?  RQ[6svfP
SZD@<3 Nb K|-RAjE 设置层数和转折点 xiQ;lE
)nUTux0K\ P3V }cGZ  2 设置层数和转折点以确定膜层 _1P8rc"Dx uJ/ &!q<3 y&+Sp/6BYA 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 X3rvM8 gNzamorv[ Mhze !! 实现可编程光栅 G7H'OB
& CEp @-R fHwr6"DJ  L\X 2Olfz1
a]_e SU@ w97B )Kn6 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 1\+d 5Q0  !R wOU Ck
(.B+U'6 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） B" :u5_B 4PAuEM/z Lj03Mx.2S 6,;7iA]  @^kt[$X; DG"Z: ^`* 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 3F6=/  u|]`gsFZ\ }H<87zH 2 双击Data Series Diagram o>Jr6: D( YX:[],FP 采样结果 -Lbi eS%  w>ap8><4
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 2k$~Mv@L BTu_$ 5F
QQ：2284816954 备注：光学
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