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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 5'-9?-S" WblV`"~ e 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 6:z&ukq E #:zPpMAl 所需工具：Grating Toolbox Basic Ng39D#_) 0S7I sk2W 相关Tutorials：G.001; G.014 Jc?ssm\% 建模任务 2 _\|>g| 2,Dc ]oj 理想平面波照射 }R5&[hxh4t uv!qE1z@': bNU^tL3QZ  yaYt/?| 5XUI7Q % L "I HyUW 镀膜倾斜光栅 目标平面 r8?Lr-; ~JP zjE 周期：10um \ g(#)f 厚度：10um wP1VQUL 倾斜角度：20度 c@B%`6kF =<h=">}5' 光栅的参数 9S1V! Jp *AQbXw]w —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 gpvj'Ri7V —填充因子 2—后面的介质 HbSx}bM_9 —膜层厚度 3—膜层材料 /)4r2 x —光栅厚度 :{uUc ?8}jJw2 H SW'KYzn  q;Pz B4#
c qyh#uWe k$_]b0D{4 设置层数和转折点 G&3<rT3Ib x2wWp-Z
NS;8&  2 设置层数和转折点以确定膜层 2=M!lB
* V\hct$ 7Vm s? #lhI 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ^v5hr>m )9Ojvp=#r:
DkKD~ 实现可编程光栅 }jgAV )II,HT-LY F|Ihq^q  <ijmkNVS
W3rvKqdw5 ve^MqW &S 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 2 U{RA' s  P`9A?aG.Z KptLeb:Om 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） J vsB^F.4 v[3sg2. +[[gU;U"v (U XB#I~ 
H,~In2Z 0^Cx`xdX: 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #7ZB bq3 =  UQPE )G LXV6Ew5E 2 双击Data Series Diagram 7Z3 q aXPH k8V0-.UL} 采样结果 RR=l&uT  o2jB~}VMl
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. lM,:c.R ] #.# ]}=
QQ：2284816954 备注：光学
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