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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 9 QN(Wq@ a~`,zQ -@ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） s Qa9M ltmD=-]G_ 所需工具：Grating Toolbox Basic :j%
B(@b E&|EokSyN 相关Tutorials：G.001; G.014 v7D3aWoe 建模任务 O:[@?l >tV:QP]Y 理想平面波照射 1?#Wg>7' q&EwD(k 'J#uD|9)  -<gQ>`(0 3-
4jSN\ 5~SBZYI
镀膜倾斜光栅 目标平面 O9MBQNwjA 4 !M6 RL8{ 周期：10um )mRKIM}*W 厚度：10um Kl+4A} Uo 倾斜角度：20度 4f dO Ow ;F>I+ l_X 光栅的参数 4S,/Z{ J. ,koG* sn —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 |#(g 8ua7 —填充因子 2—后面的介质 %Wb$qpa —膜层厚度 3—膜层材料 $*dY f —光栅厚度 t)*A# ("j*! Dsd O6r .q&U  :N w7!fd
Ix|^c268o< @NJJ 设置层数和转折点 <<9Y=%C+ b 'y W+ 7)v`l1  2 设置层数和转折点以确定膜层
5v-o2 Jl^THoEL u:O6MO9^ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 z`rW2UO#a` gT4H?
#UB
`_H^k !^ 实现可编程光栅 .FAuM~_99b cK+y3`.0 O\qY? )  KdTna6nY
834dsl +U +S>}<OE 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） }x}JzA +2  7u7 <"?v= r<L>~S>yb 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） k34!*(`q U?Icyn3q0 T~'9p `IW W&(98}oT  K=C) .5=U Lg4I6 G 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） {^n\
r^5  *Ad7GG1/u ` m Tc 2 双击Data Series Diagram 6
bnuC mh8~w~/[ 采样结果 b/Z 0{38  |K6hY-uC
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. a0ze7F<( R] {AJ "p
QQ：2284816954 备注：光学
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