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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ~Q5]?ZNX KTwP.!<v 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 9<kMxtk$ Vv+ oq5hf 所需工具：Grating Toolbox Basic K3h"oVn Tt=;o f{ 相关Tutorials：G.001; G.014 +;=>&XR0m 建模任务 1&vR7z]* Z,"YMUl' 理想平面波照射 0k4XVd+Nv +}Mm5^6* B?Rkz  B\qy:nr j nc1?c1s,f <fA}_BH%] 镀膜倾斜光栅 目标平面 3+q-yP#X jhBfy|Ftu 周期：10um UMT}2d% 厚度：10um Ndyo)11z 倾斜角度：20度 ^(@]5$^Z {xOzxLB; 光栅的参数 Ps;4 ]=c 4W<[& )7 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 PO^#G @ —填充因子 2—后面的介质 qT &zg @m —膜层厚度 3—膜层材料 ]24]id —光栅厚度 E>O@Bv @;KvUR/+FE s
OLjT34  25r3[gX9`
?_ v_*+b_ jj]| }G 设置层数和转折点 D9hq$? IWI$@dng6 z46Sh&+  2 设置层数和转折点以确定膜层 WM4,\$ Xg\u nUHa %?F$3YN, 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 6&L;Sw#Dg $vn )(zn+ y{~tMpo< 实现可编程光栅 6E(..fo:" JNP6qM VW;E14  +Fh,! `
"$ISun=8 = H} x 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ,f<J4U:Y  {<#b@=G
8-cuaa 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） u D[T l H\a \xCP3 j0 w@ \gO< N^k&
8  ikb77 ? . tx Qr|\4k 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） .CNwuN \  W1ndb: @RL 'pKab9 2 双击Data Series Diagram }r;=<mc,O %c%`< y<~L 采样结果 pRUQMPn (  SwaPRAF
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 'q RQO(9&m q!~DCv df
QQ：2284816954 备注：光学
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