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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Q;M\fBQO}& \br!77 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） }F`|_8L*v) bO '\QtW9 所需工具：Grating Toolbox Basic Sj9fq* aeqz~z2~8s 相关Tutorials：G.001; G.014 m,l/ =M 建模任务 d2k-MZuT6 9t`;~)o 理想平面波照射 K,b
M9>} YeH!v, > ?jx]%n fV  2*#|t: (c @Nu2
:~JO 7 Cgi& 镀膜倾斜光栅 目标平面 Gp"GTPT{ % fS9F^AK 周期：10um \}j MC 厚度：10um @MW@mP)# 倾斜角度：20度 ui 8 Q2{z v2T2/y % 光栅的参数 3h:j .8Z FpoH m%+ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ]hl*6 —填充因子 2—后面的介质 36d nS>4 —膜层厚度 3—膜层材料 ]9@:7d6 —光栅厚度 & |y LTx @AyteHK
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D  .;#T<S "
\kA Dh?phV +pofN-*% 设置层数和转折点 L/3A g*
] |tXA$}"L8 K$E3RB_F  2 设置层数和转折点以确定膜层 TBlSZZ-55] q"2QNF' 9&mSF0q 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 "c^! LV N0`9/l r| J-W9B amx 实现可编程光栅 1.hWgW DP @gUp9ZwtH m</m9h8  V<ESj K8
b3(* /KgK )"?4d[ 5 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） c*USA
eP  XS<>0YM Ufr@j` * 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ! _I1=yi d;i|s[6ds` 0K!3Ny9( lE xQp2E  \#sD`O 2"/MM2s 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 1gI7$y+?  JWVV?~1 HC`0Ni1 2 双击Data Series Diagram 8%rD/b 6` `Rq=:6U;3 采样结果 9QZaa(vN  R2bq hSlF
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. fN vQ.; oFk2y ^>u
QQ：2284816954 备注：光学
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