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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 .Tq8Qdl A s}L=2 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) _6r[msH" %g@\SR. 所需工具:Grating Toolbox Basic ISFNP&&K c^pQitPv 相关Tutorials:G.001; G.014 qGMU>J.;c 建模任务 {,h_T0D^j 'Q :%s 理想平面波照射 jN*wbqL jXALL8[c -qaO$M^Q 4:a ~Wlp[ a:UkVK]MP =p=/@ FN 镀膜倾斜光栅 目标平面 Tsb}\ \#Jq%nd 周期:10um `L7^f! 厚度:10um \z FCph4 倾斜角度:20度 >4kQ9lXL ED79a: 光栅的参数 fiA8W AA=rjB9 —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 u pUJF`3 —填充因子 2—后面的介质 j
nSZ@u —膜层厚度 3—膜层材料 G/#<d-}_ —光栅厚度 z;?jKE p X@tA+ U>.5vK.+ "9aFA(H6w -=8f*K[W
8J$1N*J| 设置层数和转折点 YlG#sBzl aZ\Z7( %5KK#w " 2 设置层数和转折点以确定膜层 @d|Sv1d% SSE,G!@ u?MhK#Mr 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 j#P4& W% Lrp{ VWK/(>TP 实现可编程光栅 F}meKc?a qM26:kB{ N5=}0s]e ts@$* ;R2A>f~ ?f'`b<o 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) \_R<Q?D+ zZRLFfz<9 K8BlEF` 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Ti0kfjhX7 W|rAn2H U"Bge\6x= y&8`NS#_p? V/"RCqY4 eX"Ecl{ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) V?x&\<;, <[}zw!z 4h--x~ @ 2 双击Data Series Diagram h@ ZC{B x$ TLj 采样结果 Sw-2vnSdM <_eEpG}9 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. 0k?]~f XfMUodV-OZ QQ:2284816954 备注:光学
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