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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 t2)S61Vr 's.%rre% 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） L0\97AF DA)mkp 所需工具：Grating Toolbox Basic a1lF8; [ 9[<,49 相关Tutorials：G.001; G.014 }co v "o 建模任务 i GG; cVHv>nd# 理想平面波照射 YzTmXwuA5 GfEg] [f ';g]! XsY)  35}{dr mTG v*=l QLx]%E\ 镀膜倾斜光栅 目标平面 }yde9b?F
de.!~%D 周期：10um K 8,fw-S% 厚度：10um nJ !`^X5I 倾斜角度：20度 U% 2[,c_ Z)RoFD1]C 光栅的参数 FX+;azE7 .8[Db1W —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 {VWX?Mm —填充因子 2—后面的介质 NXQdy g, —膜层厚度 3—膜层材料 PCxv_Svf —光栅厚度
'g<0MOq{ obUX7N B^W 0Ik`m  9(.P2yO
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)u\A &|t*9 D 设置层数和转折点 -p|@En n l56 D?E8 9UD~$_<\  2 设置层数和转折点以确定膜层 Gy *6I)l Y b57Xu P{
AJH1 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 `WDN T0@ M 0E9LZOw4T G813NoS o 实现可编程光栅 wO6`Ap
t1: : b^\O ({/@=e x*  B dHLow
MjIp~?* bAIo5lr 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） a0y7a/@c  'Wv=mBEf Z =Z
^= 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） '5V2{k$4U 2=pVX cwK 6$Ax =;(w Bj  R8
1z|+c|_ \M4/? <g 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 4%#C _pE9  b<UZD y N~ PxENLQ3a= 2 双击Data Series Diagram I 2JE@? T7E9l 采样结果 ejYJOTT{^  1 n7tmRl
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. Xz`?b4i qp>V\h\
QQ：2284816954 备注：光学
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