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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 $7DW-TA g,EDE6`8 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) dB[4NT [UZr|F
所需工具:Grating Toolbox Basic cI\[)5& =dDPQZEin 相关Tutorials:G.001; G.014 o>,r< 建模任务 \8QOZjy k%cE8c}R;A 理想平面波照射 dGBjV #bNT Y06^M?} JOY&YA$U G@`F{l ~>u|7M$( [QgP6f]= 镀膜倾斜光栅 目标平面 |_TI/i>?' SK'h!Ye5Z 周期:10um mXp#6'a 厚度:10um O%\cRn8m 倾斜角度:20度 bc'IoD/ I@ueeDY 光栅的参数 {sC Ni G5/A{1sz& —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 >jAFt_ —填充因子 2—后面的介质 zFExYYd
—膜层厚度 3—膜层材料 #\lvzMjCC —光栅厚度 \(j*K6# "x=\mA#` J@I>m N1\ Tt)z[^)% 3 Vc}Q'&Y 0d_)C>gcF 设置层数和转折点 6(`N!]e*L FHr)xqo=~ )dhR&@r*w 2 设置层数和转折点以确定膜层 Qs,\P^n hXjZ>n`` -/JEKwc 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 05FGfnq.8 #! R>`l(S ct3i^,i 实现可编程光栅 H **tMq !t23
_b0 Yn~fnI{ ``WTg4C(Y cWkg.ri-x 6AAvsu: 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) H:~p5t V@`b7GM bu _ @>`S 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 2 L4[~> N ^rpPq larv6ncV hc|A:v)] @ar%`+_ f1_; da 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) eA!Z7 ' kBR=a%kG 8IlUbj 2 双击Data Series Diagram /(BS<A |:R\j0t 采样结果 o&1mX VAL?
Z 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. #AGO~#aK crIF5^3Yby QQ:2284816954 备注:光学
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