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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 H:@hCO[a r }lGcG) 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） pR$(V4> {1)A"lQu 所需工具：Grating Toolbox Basic rW)h ? , b ,B[j{sE 相关Tutorials：G.001; G.014 -B;# pTG 建模任务 I.n,TJoz4J q#tUDxf(| 理想平面波照射 bZ\R0[0 mux/\TII eR$ @Q  qD{1X 25O XVqOiv ) HU'Mi8xxy 镀膜倾斜光栅 目标平面 `gX|q3K\s ,X.[37 周期：10um iApq!u, 厚度：10um m\56B P-AM 倾斜角度：20度 ( zWBrCX uzBQK 光栅的参数 C^L+R 7 krUtOV I —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 xqt?z n —填充因子 2—后面的介质 w"v!+~/ 9 —膜层厚度 3—膜层材料 *%Rmdyn —光栅厚度 !;eE7xn & $ln8Cpbca $-}&RW9  J8 q FdNK
(`1i o
)0VL$A 设置层数和转折点 iH8we, s' 4>d4g\Z0 L geme_  2 设置层数和转折点以确定膜层 1&| ]8=pG7 UzxL" `^7 PVI Oe}N 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 UxGu1a )9hqd JO J.79CT 实现可编程光栅 WXy8<?s `HX:U3/ iXDG-_K  ~CNB3r 5R
L7$ f01* I L*B@E8 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Tqt-zX|>  danPy2 ?()*"+N(ck 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ,"EaZ/Bl/ > Vm}u`x TxJk.c _4by3?<c  q3x"9i
` !D=! 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Nx 42k|8
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EvRm vNSUrf,r 2 双击Data Series Diagram 0>28o. ^B<-.(F 采样结果 2P"643tz  Z>g72I%X
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. V'kBF2} |5^
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QQ：2284816954 备注：光学
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