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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 QcX&q%*0 ' <'5BeU 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） :w)9 (5 g ;X K3R 所需工具：Grating Toolbox Basic g?*D )W U u9 5D0S 相关Tutorials：G.001; G.014 !_oR/) 建模任务 >_$_f B 3QF[@8EH{ 理想平面波照射 bdEI vf7 }PM7CZSq a'd=szt  uo(LZUjPbN nWh f "p+JME( 镀膜倾斜光栅 目标平面 }}bMq.Q' qnq S^K,': 周期：10um FF0 ~i+5 厚度：10um wFjQ1<s= 倾斜角度：20度 ~ _IQ:]k /2MZH 光栅的参数 ; P$ _:-C -$49l —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 ;= 1[D
—填充因子 2—后面的介质 ~Q5]?ZNX —膜层厚度 3—膜层材料 F!w|5,) —光栅厚度 &wN}<G e6 D(WV
k p*Yx1er1  `?f<hIJoz
{,? Gj@$ nB]mj _)R^ 设置层数和转折点 l}k'ZX 4 8VuLL<\| Dg hqSL ^s  2 设置层数和转折点以确定膜层 IRTWmT
jT \j &&o fwh/#V-i 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 t~BWN l3/Cj^o4 RD ;A 实现可编程光栅 Z`|\%D% q(4Ny<=,'K Mm1>g~o  (f~}5O<
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PrrUo 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） PYzTKjw
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. *i!t& s @X9T"
QQ：2284816954 备注：光学
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