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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ( Y[Q, yLvDMPj 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ~g]Vw4pv .5_ 2zat0H 所需工具：Grating Toolbox Basic T4U ev*A JYI,N 相关Tutorials：G.001; G.014 lfow1WRF 建模任务 y'.p&QH'` g
wRZ%.Cn 理想平面波照射 pI\]6U W aRw05r W' VslZG  6P l<'3& B6D YZ+7A -=Q*Ml#I 镀膜倾斜光栅 目标平面 m.rmM ` q6luUx,@m 周期：10um N#_H6 TfMG 厚度：10um (mpNcOY<D 倾斜角度：20度 $ bR~+C Dcg o%F- W 光栅的参数 Dw.J2>uj }j)e6>K]) —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 194)QeoFw —填充因子 2—后面的介质 Ax7[;| 2 —膜层厚度 3—膜层材料 ""G'rN_=Bi —光栅厚度 K($Npuu] :P~6~
K um JX;G<lev  W SB 0~+
`*R:gE= n b?l TX~ 设置层数和转折点 *i%.;Z" Xc-'Y"}|`t kgP0x-Ap  2 设置层数和转折点以确定膜层 45c $nuZ UB@+c k 4Z&lYLq; 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 FcU SE 7Ovi{xd@ \ ~$#1D1f 实现可编程光栅 8Fu(Ft^9 ea
'D td yR{3!{r3(  { 4Cmu;u
:DNY 7TvZ *. t 7G 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @RKr yY)  ;?p>e' VY4yS*y 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ( Erc3Ac8 p_%Rt"! n Dxz~8 YN F k  BQMpHSJ_ on `3&0,. 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ) 3EY;  n/:33DAB !Wnb|=j 2 双击Data Series Diagram vA8nvoi OQJ6e:BGt 采样结果 S.NPZ39}ZE  }K|oicpUg
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. LZY"3Jn[nQ /a4{?? #e
QQ：2284816954 备注：光学
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